Optische Silizium-Gläser mit geschmolzenem Silikon JGS1, JGS2, JGS3
Die JGS-Serie (JGS1, JGS2, JGS3) stellt Chinas integrierte Hauptströmung für die Herstellung und den Handel mit optisch geschmolzenen Kieselsäure-Materialien dar, die ultraviolette bis infrarote Spektralanwendungen abdecken.Diese Materialien erreichen eine volle Spektraldeckung durch optimierte Spektralmerkmale und thermo-mechanische BalanceDie Auswahl erfordert eine umfassende Berücksichtigung des Übertragungsfensters, der thermischen Stabilität und der mechanischen Festigkeit, wobei die Kostenbeschränkungen ein entscheidender Faktor sind.tiefe ultraviolette Lithographie setzt JGS1 mit antireflektiven Beschichtungen vorDie Quantenkommunikationssysteme müssen die Infrarot-Übertragung von JGS3 und die Laserschadensbeständigkeit ausgleichen.JGS-Materialien werden ihre Kernposition in ultrapräzisen optischen Systemen weiter festigen.
Vergleiche der Silikogläser JGS1, JGS2, JGS3
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- Ich weiß.Parameter
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JGS1
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JGS2
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JGS3
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Spektralbereich.
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185-2500 nm
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220-2500 nm
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260 bis 3500 nm
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OH Inhalt
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1200 ppm
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150 ppm
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5 ppm
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Birefringence
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2 bis 4 nm/cm
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4 bis 6 nm/cm
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4 bis 10 nm/cm
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Thermische Ausdehnung
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5.5×10−7/°C
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5.5×10−7/°C
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5.5×10−7/°C
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Erweichtungspunkt
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1683°C
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1650°C
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1620°C
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Laserschadensschwelle.
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1 J/cm2 (1064 nm)
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3 J/cm2 (1064 nm)
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0.5 J/cm2 (1064 nm)
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Defektdichte
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≤ 0,03 mm3/100 cm3 (ohne Partikel)
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≤ 0,1 mm3/100 cm3 (kleine Partikel)
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≤ 0,3 mm3/100 cm3 (Mikroblasen)
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Optische Rolle
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Tiefe UV-Fenster für die Lithographie
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mit einer Breite von mehr als 50 mm
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IR-Wärmebildfenster
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Fusionssilikoglas JGS1, JGS2, JGS3 Spezifikationsparameter
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Mechanische Eigenschaften
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Dichte (g/cm3)
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2.2
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Mohs-Härte
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6 bis 7
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Druckfestigkeit (MPa)
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1100
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Zugfestigkeit (MPa)
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50
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Beugenfestigkeit (MPa)
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65
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Torsionsfestigkeit (MPa)
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30
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Young-Modul (GPa)
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7.5 * 104
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Die Ration des Fischs
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0.17
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Architektonische Eigenschaften
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Dielektrische Konstante (10 GHz)
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3.74
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Verlustfaktor (10 GHz)
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0.0002
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Dielektrische Stärke (10 GHz)
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3.7 * 107V·m
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Widerstandsfähigkeit (20C) (.cm)
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1 * 1020Ω·m
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Widerstandsfähigkeit (1000°C)
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1 * 108Ω·m
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Thermische Eigenschaften
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Anspannungspunkt
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1080
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Aufheizpunkt
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1180
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Schließpunkt
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1630
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Wärmeleitfähigkeit (20°C)
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1.4
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Spezifische Wärme (J/Kg·K, 20°C)
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670
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Expansionskoeffizient (20°C; 30°C)
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5.5 * 10-7
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Fusionssilikogläser JGS1, JGS2, JGS3 Anwendungsspezifisch
1. JGS1: Ermöglichung von tief ultravioletten Systemen
- Halbleiterlithographie: dient als Optik für 193 nm ArF-Excimerlaser und erreicht eine Auflösung von < 10 nm für 7 nm Knotenchips.
- UV-Laserbearbeitung: Die geringe Doppelbrechung (λ/10) minimiert die Strahlverzerrung in UV-Schneidköpfen für das Präzisions-PCB-Bohren.
- Luft- und Raumfahrtsensorik: Erfasst UV-Signale (185 nm) für die Analyse der atmosphärischen Ionosphäre bei der Fernerkundung.
- Ich weiß.
2. JGS2: Ausgleich von UV und sichtbarer Leistung
- Industrielaser: Stabilisiert 1064 nm Laserstrahlen in Glasfaserlasern durch niedrige Zweibrüche (4-6 nm/cm).
- UV-Härtung: Eine hohe Durchlässigkeit (90% @ 220-400 nm) beschleunigt die UV-Härtung von Klebstoffen im 3D-Druck.
- Waferinspektion: Sorgt für die Einheitlichkeit von λ/20 im sichtbaren Licht (400-700 nm) zur Fehlererkennung.
- Ich weiß.
3. JGS3: Erweiterung der Infrarotkapazitäten
- Wärmebildgebung: > 85% Übertragung im 3- 5 μm-Band ermöglicht hochempfindliche FLIR-Systeme.
- Quantenkommunikation: Eliminiert Wasserabsorptionsspitzen (OH < 5 ppm) für optische Verbindungen mit niedrigem Verlust von 1550 nm.
- Laserfusion: Widerstandsfähig gegen Impulse von 10 kJ/cm2 in CO2-Laserfusionsreaktoren.
Fusionssilikogläser JGS1, JGS2, JGS3 Fragen und Antworten
F1: Was ist der Hauptunterschied zwischen JGS1, JGS2 und JGS3 geschmolzenem Silizium?
A1: JGS1 : Optimiert für tiefe UV-Strahlen (185 nm Übertragung > 90%) und verwendet in der Halbleiterlithographie.
JGS2 : Ausgeglichene UV-Sichtweite (220-2500 nm) mit moderatem OH-Gehalt, ideal für Laser und Aushärtungssysteme.
JGS3 : Hohe IR-Übertragung (>85% @3,5 μm) und ultra-niedriges OH (5 ppm), entscheidend für die Quantenkommunikation und Wärmebildgebung.
F2: Welches JGS-Material ist für Laseranwendungen am besten geeignet?
A2: JGS2 (220-2500 nm, 150 ppm OH) arbeitet mit 1064 nm-Lasern mit geringer Zweibriechbarkeit.
JGS3 (260-3500 nm, 5 ppm OH) wird aufgrund der geringen Fluoreszenz für Hochleistungs-CO2-Laser (10,6 μm) bevorzugt.
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