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AR-Karbidwellenleitungsanalyse aus der Sicht des Wellenleitungsdesigns       01     Durch die Durchbrüche in den Materialien wird oft eine Industrie auf neue Höhen gebracht und der Menschheit sogar ein neuer wissenschaftlicher und technologischer Raum eröffnet.   Die Geburt des Siliziums startete die gesamte Ära der Halbleiter und Computer und wurde zur Grundlage für das auf Silizium basierende Leben.   Wird die Entstehung von Siliziumcarbid AR-Wellenleitungen auf neue Höhen bringen?   Schauen wir uns zunächst das Design des Wellenleiters an.     Nur wenn wir die Anforderungen auf Systemebene verstehen, können wir die Richtung der Materialoptimierung klären.   Die klassischste Architektur von AR-Wellenleitern stammt von dem ehemaligen Hololens Dr. Tapani Levola aus Finnland.die Pupillenregion erweitert, und der Ausgangspupillenbereich.   Die AR-Wellenleitung dieses Stücks, die Finnen sind die absolute Kerntriebkraft.     Von dem frühesten Nokia über die Hololens bis zum späteren Dispelix und so weiter.         (Tapanis klassisches Patent für AR-diffraktierte Wellenführer, das 2002 bei Nokia eingereicht wurde, ist 23 Jahre alt)         02     Die Eingangspupille des Wellenleiters verbindet die gesamte FOV von der optischen Maschine durch das Gitter in das Substrat, das Glas, Siliziumkarbid oder sogar Harz sein kann.   Das Funktionsprinzip ist ähnlich wie bei der Übertragung von Glasfasern, wenn der Einfallwinkel die Bedingung der Gesamtreflexion erfüllt.Das Licht wird an der Basis gebunden und durch totale Reflexion an den Pupillenvergrößerungsbereich übertragen..   In der erweiterten Pupillenregion wird das Licht in die X-Richtung repliziert und geht weiter zur Ausgangs-Pupillenregion.   In der Pupillenausgangsregion wird Licht in der Y-Richtung kopiert und schließlich mit dem menschlichen Auge verbunden.   Wird die Ausgangsschülerin der optischen Maschine (d. h. die Eingangsschülerin des Wellenleiters) mit einem "runden Kuchen" verglichen,dann ist die Essenz der AR-Wellenleiter ist, diesen "Kuchen" von der optischen Maschine in mehrere, z. B. 4x4, im Ausgangspupillenbereich.   Idealerweise sollen sich diese "Kuchen" überlappen, um eine glatte, gleichmäßige Helligkeits- und Farboberfläche zu bilden, so dass der Benutzer überall auf dieser Oberfläche das gleiche Bild sieht (hohe Einheitlichkeit).         Bei der Konstruktion eines AR-Wellenleiters müssen zunächst die Anforderungen an den FOV berücksichtigt werden, der die Größe des Bildes bestimmt, das der Benutzer sieht, und auch die Konstruktionsanforderungen der optischen Maschine beeinflusst.   Die zweite ist die Anforderung an die Eyebox, die bestimmt, ob der Benutzer innerhalb des Augenbewegungsbereichs das vollständige Bild sehen kann, was den Komfort beeinflusst.   Schließlich gibt es noch andere Indikatoren, wie die Helligkeitsgleichheit, die Farbgleichheit und die MTF.   Zusammenfassen Sie den Ablauf des AR-Wellenleitungsdesigns:     Festlegen des FOV und der Eyebox, Auswahl der Wellenleitungsarchitektur, Festlegung von Optimierungsvariablen und Zielfunktionen und dann kontinuierliche Optimierungsanpassungen.   Was hat das mit Siliziumkarbid zu tun?     Das wichtigste Diagramm im Wellenleitungsdesign ist das k-Vektor-Wellenvektordiagramm.     Einfach ausgedrückt kann das einfallende Licht (bei einer bestimmten Wellenlänge und einem bestimmten Winkel) als Vektor dargestellt werden.   Das quadratische Feld in der Mitte stellt die FOV-Größe des Zwischenbildes dar, und die Ringfläche stellt den FOV-Bereich dar, den das Wellenleitmaterial dieses Brechungsindex unterstützen kann,außerhalb dessen Licht im Wellenführer nicht existieren kann.         Je höher der Brechungsindex des Grundmaterials ist, desto größer ist der Kreis des äußeren Rings und desto größer ist die FOV, die getragen werden kann.   Jedes Mal, wenn das Gitter berührt wird, wird ein zusätzlicher Vektor auf das eingehende Licht überlagert.Die Größe des überlagerten Vektors des Gitters hängt mit der Wellenlänge des einfallenden Lichts zusammen.   Daher wird Licht verschiedener Farben, das in das Gitter gekoppelt ist, aufgrund verschiedener Rastervektoren in verschiedene Positionen im Ring (innerhalb des Wellenleiters) springen.   Daher kann ein einzelner Chip, um RGB drei Farben zu erreichen, viel weniger FOV als Monochrom unterstützen.       03     Um einen großen FOV zu erreichen, gibt es nicht nur einen Weg, den Brechungsindex der Basis zu erhöhen, sondern mindestens zwei Möglichkeiten.   Beispielsweise kann dies durch das Spleißen von FOV, wie die Hololens-Klassiker Butterfly-Architektur, erfolgen.   Das Gitter im Eingangsbereich schneidet die vorgefallene FOV in die Hälfte, überträgt sie von links und rechts zur erweiterten Pupillenregion und verbindet sie in der Ausgangspupillenregion.   Auf diese Weise können auch bei Materialien mit niedrigem Brechungsindex große FOV erreicht werden.     Mit dieser Architektur erreicht Hololens 2 eine FOV von mehr als 50 Grad auf Basis eines Glassubstrats mit einem Brechungsindex von weniger als 1.8.     (FOV Spliced Waveguide Classic Patent, eingereicht von Microsoft Hololens2 im Jahr 2016)       Es ist auch möglich, eine sehr große FOV durch eine architektonische Gestaltung von zweidimensionalen Rastern zu erreichen, die viele Details beinhaltet und unpraktisch zu erweitern ist.   Je höher der Brechungsindex der Basis ist, desto höher ist die Obergrenze des Systems.   Aus dieser Sicht stellt Siliziumkarbid eine höhere Obergrenze für das System dar.   Als Wellenleitungsdesigner mag ich Siliziumkarbid, weil es mir genügend Freiheit zum Entwerfen gibt.   Aber aus der Sicht des Benutzers spielt es keine Rolle, welche Basis man benutzt.     Solange es die Nachfrage, gute Leistung, niedrigen Preis und leichte Maschine erfüllen kann, ist es eine gute Wahl.   Daher sollte die Wahl von Siliziumcarbid oder anderen Substraten von der Produktgruppe eingehend geprüft werden.   Sie müssen unter Berücksichtigung des Anwendungsszenarios, der Preispositionierung, der Konstruktionsspezifikationen, der Reife der Industriekette und anderer Aspekte berücksichtigt werden.       04     Zusammenfassend:     1. Wenn man sich rein aus der Perspektive der FOV orientiert, erreicht das aktuelle Glas mit hohem Brechungsindex ohne Druck eine FOV von 50 Grad.   2. aber wenn Sie mehr als 60 Grad FOV erreichen wollen, ist Siliziumkarbid in der Tat eine gute Wahl.   Materialien sind eine Wahl auf Bauteil- und Architekturebene, und Architektur wiederum dient der Funktion des Systems und letztendlich durch das Produkt, um dem Benutzer zu dienen.     Dies ist ein Kompromissprozess, wir müssen aus mehreren Dimensionen wählen, wie z.B. Bühnenerfahrung, Produktform, Systemarchitektur, Komponenten und Materialien.       ZMSH SIC Substrat 4H/6H-N/Semi/3C/4H/6H-P-Typanzeige             * Bitte kontaktieren Sie uns bei Fragen zum Urheberrecht, und wir werden sie unverzüglich beantworten.      

Warum haben wir SiC gewählt?     Am 6. März veröffentlichte Meta (ehemals Facebook) einen Artikel auf seiner offiziellen Website:Beschreibung des Prozesses und der Vorteile der Wahl von Siliziumkarbid als Kernmaterial bei der Entwicklung der Wellenleittechnologie für AR-Gläser.   Das Meta-Team hat nicht nur wichtige Engpässe wie Sichtfeld, Gewicht und optische Artefakte von AR-Gläsern durch Siliziumkarbid-Wellenleitertechnologie gelöst, sondern sieht es auch als eine"Spielveränder"in der AR-Branche, die in Zukunft zu einem weit verbreiteten Material werden könnte:       Meta Orion Team erklärt: Warum SiC-Technologie gewählt       Im Jahr 2019 the Orion team prepared Meta founder and CEO Mark Zuckerberg for a pivotal demonstration of the potential waveguide technology for augmented reality glasses - the moment when theoretical calculations on paper became reality for the first time and revolutionized the trajectory of subsequent development.     Meta veröffentlichte AR-Brille - Orion     Pascual Rivera, ein Wissenschaftler für Metaoptik, erinnert sich: "Als ich eine Brille mit Glasgrundwellenleitern und mehreren Schichten trug, fühlte ich mich wie in einer Disco - überall waren Regenbogenflecken,Und die Störung war so stark, dass es unmöglich war, den AR-Inhalt zu sehen.Aber wenn man die Prototypenbrille mitmit einer Breite von mehr als 20 mm,, ist es sofort, als wäre man in einer Sinfoniehalle und höre ein ruhiges klassisches Musikstück, und die Aufmerksamkeit ist immer auf die komplette Erfahrung konzentriert, die wir aufgebaut haben.   Während die Wahl von Siliziumkarbid als Substrat heute offensichtlich erscheint, war sie jedoch bei weitem nicht selbstverständlich, als das Meta Orion-Team vor einem Jahrzehnt mit der Entwicklung von AR-Brillen begann:   Pascual Rivera erklärte, Siliziumkarbid sei oft stark mit Stickstoff bestückt, wodurch es grün oder sogar schwarz erscheine, wenn es dick genug sei.Ein solches Material kann einfach nicht zur Herstellung einer optischen Linse verwendet werden, es ist im Wesentlichen elektronisch., und seine Farbe hängt eng mit seinen elektronischen Eigenschaften zusammen.   Giuseppe Calafiore, Leiter der Wellenleittechnik bei Meta AR, fügt hinzu, dass Siliziumkarbid eine lange Geschichte als angewandtes Material hat, vor allem in der Hochleistungselektronik.Alle Elektroautos benötigen einen Chip, der extrem hoher Leistung standhält, um die Räder und die kompletten Fahrzeugsysteme anzutreibenTraditionelle Siliziumsubstrate können dieser Nachfrage nicht gerecht werden, und nur Materialien wie Siliziumkarbid, die einen hohen Strom und eine hohe Leistung durchlaufen lassen, können geeignet sein.   Vor der Erhöhung des Themas der erneuerbaren Energien in den letzten Jahren war der Markt für solche Hochleistungschips deutlich kleiner als für Chips für Unterhaltungselektronik.Der langfristige Preis für Siliziumkarbid ist hoch., aber aufgrund der geringen Substratmenge für Fahrzeugchips sind die Kosten immer noch akzeptabel und die Hersteller haben keine Motivation, die Preise zu senken.   Aber es stellt sich heraus, dass Siliziumkarbid auch die wichtigsten Eigenschaften hat, die fürWellenleitungen und Optik, und der Parameter, auf den sich das Meta Orion-Team am meisten konzentriert, ist der Brechungsindex.Der hohe Brechungsindex von Siliziumkarbid bedeutet, dass es riesige Mengen optischer Daten leiten und ausgeben kann - eine Analogie zur InternetbandbreiteDie Optik folgt derselben Logik: je höher der Brechungsindex eines Materials, desto größer ist seine optische Ausdehnung.und je größer die Menge der optischen Daten, die über diesen Kanal übertragen werden.   Calafiore erklärte weiter, daß in unserem Anwendungsszenario der Kanal der Wellenführer ist und die größere optische Ausdehnung sich direkt in ein breiteres Sichtfeld übersetzt.Je höher der Brechungsindex des Materials, je größerdas Sichtfelddie das Display unterstützen kann.       SiC Brechungsindex bis zu 2.7: weit mehr als Glas, Lithiumniobat und andere Materialien       Als Calafiore 2016 zuerst bei Oculus Research (Metas Forschungs- und Entwicklungslabor) anfing, war der höchste Brechungsindex Glas, den sie hatten, nur 1.8 - mehrere Glasschichten mussten gestapelt werden, um das Zielfeld zu erreichenAbgesehen von den optischen Artefakten ist der Montageprozeß äußerst komplex: Die ersten beiden Wellenleitungen müssen perfekt ausgerichtet sein, und dann muss der gesamte Stapel perfekt mit dem dritten Wellenführer abgestimmt sein.   "Das ist nicht nur teuer, sondern es ist auch offensichtlich, dass man nicht in die Lage ist, drei Glasstücke in jede Linse zu stecken".und die Dicke war weit über die Grenzen der Ästhetik hinaus - niemand würde solche Produkte kaufenWir kehrten also zum Ausgangspunkt zurück: Wir versuchten, den Brechungsindex des Substratmaterials zu erhöhen und so die Anzahl der benötigten Glasplatten zu reduzieren".   Zu Beginn konzentrierte sich das Forschungsteam zunächst auf Lithiumniobat, das einen Brechungsindex von etwa 2 aufweist.3, deutlich höher als bei Glas 1.8.   Calafiore sagte, dass wir erkannten, dass wir einfach zwei Bretter stapeln könnten, oder vielleicht sogar das Sichtfeld mit einem Bretter bedecken könnten.Wir begannen, andere Materialien zu erforschen - weshalb wir eine ausgezeichnete Transparenz inmit einem Gehalt an Kohlenstoff von mehr als 10 GHTWir haben in unserer Arbeit mit Lieferanten im Jahr 2019 gezeigt, dass der Brechungsindex von SiliziumcarbidBis zu 2.7, die einen Rekord für optische Anwendungen setzt.         Für das Forschungsteam bedeutet dieser Wert, daß der Brechungsindex von Siliziumcarbid 17,4% höher ist als der von Lithiumniobat und 50% höher als der von Glas."Es ist möglich, durchsichtiges Siliziumcarbid mit nur einer kleinen Änderung der vorhandenen industriellen Ausrüstung herzustellenAlso haben wir den Prozess angepasst, um die Parameter streng zu kontrollieren - nicht mehr für elektronische Eigenschaften zu optimieren, sondern uns auf optische Eigenschaften zu konzentrieren:Kernmetriken wie Durchlässigkeit und Brechungsindexgleichheit."       Lösung von Problemen wie dem Geister- und Regenbogen-Effekt: SiC-Technologie hebt sich endlich ab     Damals versuchte das Team von Reality Labs als erstes, undurchsichtige Siliziumcarbidwafer in transparente Substrate umzuwandeln.Das Schneiden und Polieren muss mit Diamantwerkzeugen erfolgen., was zu extrem hohen Kosten für nicht wiederholtes Engineering und letztendlich zu teuren Substraten führt.     Obwohl es kostengünstigere Alternativen zu Siliziumkarbid-Substraten gibt, gibt es für jede Technologie Vor- und Nachteile, und Meta entschied sich schließlich für Siliziumkarbid.Siehe auch:Der wissenschaftliche Leiter von Meta Research erklärte, dass die Suche nach der idealen Lösung für Weitfeld-AR-Displays im Wesentlichen ein Spiel vonLeistung gegenüber Kosten, die komprimiert werden können, aber wenn die Leistung nicht auf dem Niveau ist, ist der Kostenvorteil bedeutungslos.   Gleichzeitig ist das Sichtfeld des Meta Orion bis zu 70 Grad und neue Probleme wieGeister und Regenbogen EffektBeginnen zu erscheinen: Ghost ist ein wiederholtes Bild des Hauptbildes, das auf dem Display projiziert wird, und Regenbogen-Effekt ist ein dynamisches Farbmuster, das durch die Reflexion von Umgebungslicht auf der Wellenleitfläche gebildet wird.   Silverstein erklärt zum Beispiel, wenn man nachts fährt und die Scheinwerfer sich wie Regenbogenstreifen um einen bewegen, oder Volleyball auf einem sonnigen Strand spielt,Der dynamische Regenbogen-Effekt kann dazu führen, dass Sie Ihren Schuss verpassen.Einer der magischen Eigenschaften von Siliziumcarbid ist, dass es diese Störungen vollständig beseitigen kann.WärmeleitfähigkeitPlastik ist ein schlechter Isolator, ebenso wie Glas und Lithiumniobat, aber Siliziumkarbid ist sowohl durchsichtig wie Glas als auch effizient bei der Wärmeleitung, was der üblichen Ansicht widerspricht.   Daher wählte das Meta-Orion-Team im Juli 2020 Siliziumkarbid anhand von drei Kernfaktoren aus:         Erstens:Formoptimierung: Einlagensubstrat und kleinere Trägerstruktur reduzieren das Volumen der Ausrüstung erheblich;   Zweitens:optische Vorteile: hoher Brechungsindex und anti-Regenbogen-Effekt verbessern die Bildqualität;   Das dritte istLeichtgewicht: im Vergleich zum Doppelglassystem ist das Gewicht deutlich reduziert.       Meta löst das Problem der Steigungsgrauberei: Wir hoffen, dass mehr Unternehmen an der Forschung und Entwicklung von SiC der optischen Qualität teilnehmen     Nachdem das Material identifiziert worden war, stellte sich die nächste Hürde der Herstellung von Wellenleitern - speziell einer unkonventionellen Gittertechnik, die sich Bevel-Etching nennt.   Calafiore erklärte: "Das Gitter ist die Nanostruktur, die für die Kopplung von Licht in und aus der Linse verantwortlich ist, und damit das Siliziumkarbid funktioniert, muss das Gitter mit einem Schräg geätzt werden.Die geätzten Linien sind nicht vertikal angeordnet, sind aber in einem schrägen Winkel verteilt.   Nihal Mohanty, Forschungsmanager bei Meta, fügte hinzu, dass sieDas erste Team der Welt.Die Anwendungsmöglichkeiten der Nano-Drucktechnologie sind in der Vergangenheit in der gesamten Industrie verbreitet gewesen, aber sie können nicht auf Substrate mit hohem Brechungsindex angewendet werden.Aus diesem Grund, hatte niemand die Siliziumkarbid-Option vorher in Betracht gezogen.   Im Jahr 2019 bauten Nihar Mohanty und seine Teampartner gemeinsam eine exklusive Produktionslinie, vor der, weil die Hang-Etsch-Technologie nicht reif ist,Die meisten Lieferanten von Halbleiterchips und Gießereien verfügen nicht über entsprechende AusrüstungDaher gab es zu dieser Zeit keine Anlage auf der Welt, die geätzte Siliziumcarbid-Wellenleitungen herstellen konnte, und es war unmöglich, die technische Machbarkeit außerhalb des Labors zu überprüfen.   Nihal Mohanty enthüllte weiter, dass es eine große Investition war und sie bautendie gesamte Produktionskette. The processing equipment was customized by the partners and the process was developed by Meta itself - initially the equipment was only up to research grade standards because there was no manufacturing grade system at the time, so arbeiteten sie dann mit den Produktionspartnern zusammen, um die Ausrüstung und das Verfahren für das Bevel-Etschen in Produktionsqualität zu entwickeln.   Jetzt, da das Potenzial von Siliziumkarbid bewiesen wurde, freut sich das Meta-Team darauf, dass der Rest der Industrie ihre eigenen Geräte entwickeln wird, denn je mehr Unternehmen inSiliziumcarbid der optischen Qualitätje stärker das Ökosystem der Industrie für AR-Verbraucherbrillen wird.       SiC-Kostenreduktion und Effizienz ist klar: Er wird im Bereich der AR-Brille glänzen       Während das Meta-Team immer noch Alternativen untersucht, ist ein starker Konsens entstanden: Im richtigen Marktfenster arbeiten die richtigen Menschen zusammen, um dieauf Silizium-KohlenstoffbasisDie Revolution der AR-Brille.   Silverstein und Giuseppe Calafiore erklärten, dass alle Siliziumkarbidhersteller zuvor die Produktion erheblich erweitert hätten, um sich auf den erwarteten Elektrofahrzeugboom vorzubereiten.und die derzeitige Überkapazitätssituation bestand nicht, als Orion in der Entwicklung warAufgrund des Überangebots sind die Kosten für das Substrat gesunken.   Das Orion-Projekt hat die Lebensfähigkeit von Siliziumcarbid in AR-Gläsern bewiesen.LieferantenWir sind sehr aufgeregt über neue Möglichkeiten, optisch hochwertiges Siliziumcarbid herzustellen.und ihre vorhandenen technischen Fähigkeiten können problemlos in diesen Bereich übertragen werden, sie setzen auf diese Gelegenheit, Siliziumkarbid wird schließlich gewinnen.   Darüber hinaus gibt es bereits Hersteller, die von 6-Zoll- auf 8-Zoll-Substraten wechseln, und es gibt Pionierunternehmen, die hochmoderne Technologien für12 Zoll Substrate- die die Produktionskapazität für AR-Gläser exponentiell erhöhen wird.Das Bild der Zukunft wird immer klarer..   Calafiore glaubt, dass Menschen zu Beginn jeder neuen technologischen Revolution immer mehrere Wege ausprobieren werden, und die Fernsehtechnologie ist ein Beispiel:von der Kathodenröhre zum LED-PlasmabildschirmWir haben mehrere Iterationen der Technologiearchitektur durchlaufen.Aber es gibt immer ein paar Optionen, die wegen ihres großen Potenzials immer wieder ausgewählt werden.Wir sind noch nicht am Ende, und wir können nicht allein kämpfen, aber Siliziumkarbid ist zweifellos ein Wundermaterial, das es wert ist,starke Investitionen.   Silverstein kam zu dem Schluss, dass sie das Crossover-Potenzial von Siliziumcarbid in Elektronik und Photonik erfolgreich demonstriert haben und seine Zukunft in Bereichen wie Quantencomputing strahlen könnte.Gleichzeitig, ist die Möglichkeit einer erheblichen Senkung der Kosten für Siliziumkarbid aufgetreten, obwohl es noch viele Herausforderungen gibt, aber dierevolutionäre Energieist unermesslich.       ZMSH SIC Wafer 4H-N & Halbtyp:             * Bitte kontaktieren Sie uns bei Fragen zum Urheberrecht, und wir werden sie unverzüglich beantworten.          

Verbindung zwischen Waferplatte und Kerbe   Waferplatte und -notch sind wichtige Merkmale, die bei der Waferherstellung zur Bestimmung der Waferorientierung verwendet werden, und sie spielen eine entscheidende Rolle bei der Waferverarbeitung, Ausrichtung und Inspektion.   1. Wafer Flat   Platte Wafer bezieht sich auf den flachen Teil der Außenkante der Wafer,mit einer Breite von mehr als 30 mm,Denken Sie daran wie an einen Kompasszeiger, der die richtige Platzierung der Wafer im Gerät anzeigt.     Funktion und Wirkung:   Richtungsanzeige: Der Positionsrand zeigt in der Regel die spezifische Kristallflächenorientierung der Wafer.die Positionskante kann helfen, seine Hauptorientierung anzuzeigenDies liegt daran, daß sich Silizium-Kristallstrukturen mit unterschiedlichen Kristallorientierungen in physikalischen und elektrischen Eigenschaften unterscheiden.und die Rolle der Wafer-Positionierungskante besteht darin, sicherzustellen, dass die Kristallorientierung während der Waferverarbeitung korrekt ermittelt wird.   Ausrichtungszeichen: Bei der Waferfertigung müssen mehrfache Ausrichtungsvorgänge durchgeführt werden, wie z. B. lithographische Ausrichtung, Ätzer-Ausrichtung usw.Die Positionskante ist wie ein Koordinatenkennzeichen auf einer Karte, um dem Gerät zu helfen, die Position der Wafer auszurichten und die Verarbeitungsgenauigkeit zu gewährleisten.   Beispielanalogie: Die Positionierungskante einer Wafer kann mit den Indikatorlinien eines Puzzles verglichen werden, die uns sagen, wie die verschiedenen Teile richtig zusammengesetzt werden sollen.Wir könnten das Puzzle nicht richtig lösen..   2Wafer Notch   Eine Wafer-Einschnitte ist ein kleiner Schnitt oder eine Einschnitte am äußeren Rand einer Wafer. Diese Rille ähnelt der Positionskante und hat auch die Rolle, die Richtung der Wafer zu markieren,Aber seine Form und Funktion sind anders.In der Regel ist die Kerbe eine physikalische Kerbe, während die Positionierkante flach ist.     Funktion und Wirkung:   Genaue Positionierung: Die Kerbe wird häufig verwendet, um eine genauere Richtungserkennung zu gewährleisten, insbesondere bei größeren Wafern wie 300 mm Wafern.die Fertigungsanlagen können die Orientierung der Wafer leichter erkennen, um Ausrichtungsschäden durch Drehung oder leichte Bewegung der Wafer zu vermeiden.   Vermeidung von Ausrichtungsschäden: Die Kerben dienen als Markierungen, die der Automatisierungsausrüstung helfen, die Wafer während des gesamten Prozesses stabiler auszurichten.   Ein Beispiel: Sie können die Kerbe mit der Ventilposition eines Autoreifens vergleichen, obwohl sie die Rotation des Reifens nicht beeinflusst,aber es ist ein wichtiger Punkt der Position des Reifens, um sicherzustellen, dass der Reifen genau installiert werden kann.   3. Verbindung zwischen Waferplatte und Kerbe   Die Platten und Kerben des Wafers ergänzen sich während der Waferfertigung.Während die Kerben einen physikalischen Marker für eine weitere genaue Positionierung bietenBeide sind in den meisten Anwendungen vorhanden, insbesondere in großen Wafern (z. B. 300 mm Wafern).     Zusammenarbeit bei der Waferverarbeitung:   Die Fläche hilft, die allgemeine Ausrichtung der Wafer zu bestimmen und sorgt für die anfängliche Ausrichtung der Wafer;Die Kerbe bietet außerdem ein physisches Merkmal, das dem Gerät hilft, die Orientierung genauer zu identifizieren, um die Genauigkeit während des gesamten Herstellungsprozesses zu gewährleisten.   4- Hinweise auf praktische Anwendungen   Die Präzision der Fläche und der Kerbe ist für die Bearbeitungsgenauigkeit der gesamten Wafer von entscheidender Bedeutung.Es kann dazu führen, dass die elektrischen Eigenschaften der gesamten Wafer instabil sind.Daher ist es im Produktionsprozess sehr wichtig, die Genauigkeit dieser Merkmale zu gewährleisten.   Unterschiede bei den Kennzeichnungsmethoden: Verschiedene Waferlieferanten können verschiedene Kennzeichnungsmethoden verwenden, zum Beispiel können einige Wafer nur flach und keine Kerbe haben; Einige können der Fläche eine Kerbe hinzufügen.Bei der Gestaltung dieser Markierungen, müssen die Kompatibilität der Ausrüstung und die Anforderungen des Produktionsprozesses berücksichtigt werden.   5Schlussfolgerung.   Die Waferflächen und -notches haben unterschiedliches Aussehen, spielen jedoch zusammen eine wichtige Rolle bei der Markierung der Waferorientierung und der Gewährleistung der Ausrichtungsgenauigkeit.Sie helfen uns, die allgemeine Richtung zu bestimmen.Die Kerbe ist ein präziseres physikalisches Merkmal, das bei der Herstellung zur Gewährleistung der Konsistenz der Richtung beiträgt.vor allem bei der Herstellung von großen Wafern, die eine entscheidende Rolle spielen.     ZMSH-bezogene Produkte:     Danke, dass ihr zuschaut!