​​Kundenspezifische Quarzglasplatten hoher Reinheit JGS1/JGS2/JGS3 Hohe Transmission​​

​​Kundenspezifische hochreine Quarzglasplatten JGS1/JGS2/JGS3 Hohe Transmission​​

Quarzglas ist ein amorphes Material, das durch Schmelzen von hochreinem Siliziumdioxid bei hohen Temperaturen und anschließender rascher Abkühlung entsteht. Es weist hervorragende optische Eigenschaften, thermische Stabilität und chemische Inertheit auf. Basierend auf Reinheitsgraden und UV-Transmission wird es in drei Qualitäten eingeteilt:JGS1, JGS2 und JGS3.

Klassifizierung nach optischer Leistung:

1. JGS1 (Fern-Ultraviolett-Quarzglas)

• Hergestellt unter Verwendung von SiCl₄ als Rohmaterial, geschmolzen in einer hochreinen Wasserstoff-Sauerstoff-Flamme. Enthält einen hohen Hydroxylgehalt (≈2000 ppm) und weist eine außergewöhnliche Ultraviolett-Transmission auf, insbesondere im kurzwelligen UV-Bereich. Die Transmission übersteigt 90 % bei 185 nm. Synthetisches Quarzglas weist eine starke Absorptionsspitze bei 2730 nm ohne granulare Struktur auf. Es ist ein ideales optisches Material für den Bereich von 185 bis 2500 nm.

2. JGS2 (Ultraviolett-Quarzglas)

• Hergestellt aus kristallinem Rohmaterial durch Gasreinigung. Enthält einige ppm Metallverunreinigungen. Verfügt über eine Absorptionsspitze bei 2730 nm (Hydroxylgehalt: 100–200 ppm) mit Schlieren und granularer Struktur. Es ist ein geeignetes Material für den Wellenlängenbereich von 220 bis 2500 nm.

3. JGS3 (Infrarot-Quarzglas)

• Hergestellt aus kristallinen oder hochreinen Quarzsand-Rohmaterialien unter Verwendung eines Vakuumdruckofens (elektrisches Schmelzverfahren). Enthält einige ppm Metallverunreinigungen. Gekennzeichnet durch minimale Blasen, feine granulare Struktur, Schlieren und vernachlässigbaren OH-Gehalt. Bietet eine hohe Infrarot-Transmission (>85 %). Anwendbar als optisches Material für den Bereich von 260 bis 3500 nm.

Quarzglas JGS1/JGS2/JGS3 Hauptanwendungsbereiche

1. Hochwertige optische Systeme

• JGS1: Linsen für DUV-Lithographiemaschinen, Weltraumteleskopspiegel, UV-Laser-Kollimationskomponenten.
• JGS2: Optische Verbrauchergeräte wie Kameralinsen, Projektorprismen, Mikroskopobjektive.
• JGS3: Fenster für Infrarot-Wärmebildkameras, Fokussierspiegel für CO₂-Laser.

2. Halbleiterherstellung

• Photomasken-Substrate: JGS1 ist ein Kernmaterial für EUV-Lithographie-Photomasken-Substrate aufgrund seines extrem niedrigen Wärmeausdehnungskoeffizienten (5,5×10⁻⁷/℃) und der hohen UV-Transmission.
• Wafer-Verarbeitungsträger: JGS2 wird für Hochtemperatur-Trägerkomponenten wie Halbleiter-Diffusionsrohrofenröhren und Boot-Halter verwendet.

3. Lasertechnologie

• Hochenergie-Lasersysteme: JGS1 wird zur Herstellung von Resonatorspiegeln für Nd:YAG-Laser verwendet (Laser-induzierte Schadensschwelle: 15 J/cm²).
• Infrarot-Laser-Transmission: JGS3 eignet sich für CO₂-Laser-Übertragungskabel bei einer Wellenlänge von 10,6 μm.

4. Luft- und Raumfahrt

• Raumschifffenster: JGS1 wird für strahlungsbeständige Fenster in optischen Fernsensoren von Satelliten verwendet (hält Weltraumstrahlung stand).
• Raketenkuppeln: JGS3 wird in Hyperschallfahrzeug-Infrarot-Suchköpfen aufgrund seiner hervorragenden Thermoschockbeständigkeit (ΔT > 1000°C) eingesetzt.

5. Spezialbeleuchtung

• UV-Lampen: Hochreine UV-Lampen aus JGS1 werden zur Wasseraufbereitung und medizinischen Sterilisation verwendet.
• Quecksilberlampengehäuse: JGS2 wird zur Herstellung von transparenten Gehäusen für Hochdruck-Quecksilberlampen verwendet, die beständig gegen Hochtemperaturschocks sind.

5. Wissenschaftliche Forschungsausrüstung

• Synchrotronstrahlungsanlagen: JGS1 wird für Strahlfenster und Monochromator-Komponenten verwendet.
• Teilchen-Detektoren: JGS2 dient als transparentes Medium für Tscherenkow-Strahler.

Quarzglas JGS1/JGS2/JGS3 Verarbeitungseigenschaften

• Präzisionsglühen:Mehrstufiges Gradienten-Glühen (bis zu 1300°C) eliminiert innere Spannungen und verhindert optische Verzerrungen.
• Oberflächenbehandlung:Magnetorheologisches Polieren (MRF) erreicht eine Oberflächenrauheit von Ra < 0,5 nm (geeignet für EUV-Lithographie).
• Beschichtungstechnologie:Anwendbare Beschichtungen umfassen Antireflexions- (AR), Hochreflexions- (HR) und korrosionsbeständige Beschichtungen (z. B. Magnesiumfluorid).

Quarzglas JGS1/JGS2/JGS3 Optische Eigenschaften

Quarzglas JGS1/JGS2/JGS3 Standardspezifikationen

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Q1: Was sind die Hauptunterschiede zwischen Quarzglas JGS1, JGS2 und JGS3?
A1: JGS1 bietet >90 % UV-Transmission (185 nm) mit 2000 ppm OH-Gehalt, JGS2 bietet 220-2500 nm Transmission mit 200 ppm OH, während JGS3 >85 % IR-Transmission mit nahezu null OH-Gehalt liefert.

Q2: Welche Quarzglasqualität eignet sich am besten für UV-Laseranwendungen?
A2: JGS1 ist aufgrund seiner 90 %+ Transmission bei 185 nm und einer Laser-Schadensschwelle von 15 J/cm² ideal für UV-Laser.

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