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Waferverbindungsanlage Raumtemperatur

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April 15, 2025
Kategorieverbindung: Halbleiter-Ausrüstung
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Dieses System ist eine High-End-Bindungsausrüstung, die speziell für die Herstellung von Siliziumkarbid (SiC) -Stromgeräten entwickelt wurde und 2 bis 12-Zoll-Wafer-Spezifikationen unterstützt.Das System beinhaltet fortschrittliche Technologien für die direkte Bindung bei Raumtemperatur und die oberflächenaktivierte Bindung, mit spezieller Optimierung für heterogene SiC-SiC- und SiC-Si-Bindungsverfahren.
Umbauten:
#4 Zoll SiC Ingot wachsenden Ofen #8 Zoll SiC Ingot wachsenden Ofen #6 Zoll SiC Ingot wachsenden Ofen
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