Horizontale Wafer-Pod 4"5"6"8"12" PP-Material Wafer-Transporter mit Schaumkissen

Horizontal Wafer Pod – 4"/5"/6"/8"/12" PP Wafer Transporter mit Schaumstoffpolster

DerHorizontal Wafer Pod Serie stellt einen bedeutenden Fortschritt im sicheren Transport von Halbleiterwafern dar und wurde speziell entwickelt, um den strengen Anforderungen von Forschung & Entwicklung und Kleinserienproduktionsumgebungen gerecht zu werden. Diese Pods sind sorgfältig konstruiert, um Wafergrößen von 4 Zoll bis 12 Zoll aufzunehmen, wobei medizinisches Polypropylen (PP) in Kombination mit einem kundenspezifischen, mehrschichtigen Schaumstoffpolstersystem für maximalen Schutz verwendet wird.

Dieser dreifache Schutzansatz gewährleistet beispiellose Sicherheit und schützt Wafer vor:

✔ Mechanischen Stößen: Absorptionskapazität von bis zu 50G Stößen, die empfindliche Strukturen während der Handhabung und des Transports schützen.

✔ Partikelkontamination: Behält ein branchenführendes Reinheitsniveau mit <5 Addierern @ 0,3μm bei, wodurch das Kontaminationsrisiko in kritischen Prozessen erheblich reduziert wird.

✔ Elektrostatische Entladung (ESD): Bietet zuverlässige statische Ableitung mit einem Oberflächenwiderstand von 10⁶–10⁹Ω, vollständig konform mit ESD-Kontrollstandards.

Ideal für Transfers von Reinraum zu Reinraum und die Langzeitlagerung von Wafern, bieten diese Wafer Pods SEMI E1.9-Konformität, wodurch die Kompatibilität in globalen Halbleiteranlagen gewährleistet wird. Jeder Pod wurde für den wiederholten Gebrauch entwickelt und getestet, um eine gleichbleibende Leistung für 500+ Betriebszyklen ohne jegliche Beeinträchtigung aufrechtzuerhalten, was zu einer außergewöhnlichen langfristigen Wirtschaftlichkeit führt.

Das innovative farbcodierte Schaumstoffeinsatzsystem vereinfacht die Wafergrößenidentifizierung und minimiert die Wahrscheinlichkeit von Fehlbeladungen, was die betriebliche Effizienz und Genauigkeit in schnelllebigen Labor- und Fabrikumgebungen unterstützt.

Hauptmerkmale & Innovationen

Fortschrittliche Schutzstruktur

• 3D-geformte PE-Schaumstoffpolster bieten maßgeschneiderte Unterstützung für jeden Wafer und betten sie mit gleichmäßiger Druckverteilung ein.

• ​Mehrstufiges Stoßdämpfungssystem:

• Außenschale: 3 mm dickes, druckfestes PP-Gehäuse absorbiert den ersten Aufprall.

• Mittlere Schichten: Schaumstoffschichten mit abgestufter Dichte verteilen Stoßkräfte progressiv und reduzieren die Übertragung auf den Wafer.

• Innenauskleidung: Antistatische Vliesschicht verhindert Mikrokratzer und bildet eine zusätzliche Barriere gegen Partikelbildung.

Intelligentes Wafer-Management

• Lasergeätzte Kapazitätsmarkierungen auf jedem Pod gewährleisten eine klare Bestandsverwaltung und Kapazitätsverfolgung.

• ​​Stapelbares Design mit Präzisionsausrichtungsstiften verhindert seitliche Bewegungen und ermöglicht eine sichere und platzsparende Lagerung.

Reinraum-optimiertes Design

• Nahtlose einteilige Konstruktion eliminiert Verbindungen und Lücken, wodurch potenzielle Partikelfallen reduziert und die Reinigungsprotokolle vereinfacht werden.

Optionen für kundenspezifische Konfigurationen

• Wafergrößenvarianten: Von 4" bis 12" (einschließlich 150 mm, 200 mm und 300 mm Formate).

• Schaumstoffarten: Leitfähig, schwer entflammbar oder emissionsarm, zugeschnitten auf spezifische Prozess- und regulatorische Anforderungen.

• Spezielle Versionen: Optionen umfassen vakuumkompatible Modelle für Hochvakuumumgebungen und Hochfeuchtigkeitsversionen für anspruchsvolle Lagerbedingungen.

Technische Daten

Anwendungen

Forschung & Entwicklung

• Universitäts- und Firmenlabore: Sichere Transfers zwischen Reinraummodulen.

• Prozessentwicklung: Zuverlässige Waferlagerung für Prototyp- und Pilotprozesse.

• Materialcharakterisierung: Schutz vibrationssensibler Proben während des Transports.

Kleinserienproduktion

• MEMS-Fertigung: Sichere Handhabung fragiler MEMS-Strukturen.

• Optoelektronik: Schutz für GaAs- und GaN-Wafer in optoelektronischen Anwendungen.

• Solarzellen-F&E: Sicherer Transfer großer 12" Wafer-Substrate für experimentelle Solarzellen.

Wartung & Kalibrierung von Geräten

• Tool-Qualifizierung: Robuste Lagerung für Gold- und Referenzwafer.

• Messtechnik: Schutz von Kalibrierwafern während des Transports.

• Kontrollierte Umgebungen: Transport von feuchtigkeitsempfindlichen oder hygroskopischen Geräten.

Lieferkettenlogistik

• Fab-to-Fab-Transfers: Zertifiziert für robuste Handhabung (MIL-STD-810G-Konformität).

• Internationale Sendungen: IATA-Gefahrgut-Zertifizierung gewährleistet sicheren globalen Transport.

• Langzeitarchivierung: Bewährte 10-jährige Materialstabilität für archivierte Wafer-Chargen.

Fragen & Antworten

F1: Was macht Ihr Schaumstoffpolstersystem den Standard-Polyethylenschaum überlegen?
A1: Unser proprietäres dreischichtiges Schaumstoffsystem bietet:

• Obere Schicht: Ultrafeine Porengröße von 0,2 mm, die 99,9 % Partikelfiltration für Reinraumsicherheit liefert.

• Mittlere Schicht: Viskoelastischer Memory-Schaum mit 30 % Rückprallrate, der sowohl Stoßabsorption als auch Formwiederherstellung für den erweiterten Gebrauch bietet.

• Basisschicht: Leitfähiger, kohlenstoffinfundierter Schaumstoff mit einem Oberflächenwiderstand von <100 Ω/sq, um eine schnelle elektrostatische Ableitung zu gewährleisten.

F2: Wie gewährleisten Sie den ESD-Schutz während der Wafertransfers?
A2: Unsere Pods integrieren:

• Oberflächenwiderstand von 10⁶–10⁹Ω, gemäß den Richtlinien von ANSI/ESD S20.20.

• Kontinuierlicher Erdungspfad über integrierte Griffkontakte zur Echtzeit-Ladungsneutralisierung.

• Optionale IoT-ESD-Sensoren zur Live-Überwachung und datengesteuerten ESD-Risikomanagement.