SiC-Keramik-Bootträger für Wafer-Handling

angepasster SiC-Keramik-Bootträger für Wafer-Handling

Der Customized Silicon Carbide (SiC) Ceramic Boat Carrier ist eine leistungsstarke Wafer-Handling-Lösung für Halbleiter-, Photovoltaik- und LED-Herstellungsprozesse.Konzipiert für hochtemperaturstabilität, chemische Beständigkeit und ultra-niedrige Kontamination, sorgt dieser Träger für einen sicheren und effizienten Wafertransport in anspruchsvollen Umgebungen wie CVD, Diffusionsöfen und Oxidationskammern.

Hauptvorteile von SiC-Keramikbooten

Hohe thermische Stabilität ️ Widerstandsfähigkeit bei Temperaturen bis 1.600°C ohne Verformung.

Chemische Trägheit ️ Widerstand gegen Säuren, Alkalien und Plasmaerosion, was eine langfristige Haltbarkeit gewährleistet.

Niedrige Partikelgenerierung Minimiert die Kontamination in EUV und die fortschrittliche Knotenfertigung.

Anpassbares Design ️ Maßgeschneidert auf Wafergröße, Schlitze und Handhabungsanforderungen

Ideal für Halbleiterfabriken, MEMS-Produktion und Verarbeitung von Halbleitern

Spezifikation

Anwendungen von SiC-Keramikboot

1. Halbleiterherstellung
✔ Diffusions- und Glühöfen
- Hochtemperaturstabilität
- Niedrige thermische Ausdehnung (4,3×10−6/K) Verhindert Waferverformung bei schneller thermischer Verarbeitung (RTP).

✔ Herz-Kreislauf-Krankheiten und Epitaxie (SiC/GaN-Wachstum)
- Korrosionsbeständigkeit gegenüber Gasen Inert gegenüber SiH4, NH3, HCl und anderen aggressiven Vorläufern.
- Partikelfreie Oberfläche Poleriert (Ra < 0,2 μm) für eine defektfreie epitaxiale Ablagerung.

✔ Ionenimplantation
- Strahlungsgehärtet ∙ Kein Abbau durch hochenergetische Ionenbombardierung.

2. Leistungselektronik (SiC/GaN-Geräte)
✔ SiC-Waferverarbeitung
- CTE Matching (4.3×10−6/K)
- Hohe Wärmeleitfähigkeit (160 W/m·K)

✔ Geräte mit GaN-on-SiC
- Nicht kontaminierend. Keine Freisetzung von Metallionen im Vergleich zu Graphitbooten.

3. Produktion von Photovoltaik (Solarzellen)
✔ PERC & TOPCon Solarzellen
- Diffusionsbeständigkeit von POCl3
- Lange Lebensdauer: 5-10 Jahre im Vergleich zu 1-2 Jahren für Quarzboote.

✔ Dünnschicht-Solar (CIGS/CdTe)
- Korrosionsbeständigkeit ­ Stabil bei H2Se- und CdS-Abscheidungen.

4. LED und Optoelektronik
✔ Mini/Mikro-LED-Epitaxy
- Präzisionsschlitzdesign
- Kompatibel mit Reinräumen. Er erfüllt die Partikelnormen SEMI F57.

5Forschung und spezielle Anwendungen
✔ Synthese von Material mit hoher Temperatur
- Sintermittel (z. B. B4C, AlN) Chemischerweise inert bei 2000°C +.
- Kristallwachstum (z.B. Al2O3, ZnSe)

Häufig gestellte Fragen

F1:Welche Wafergrößen werden unterstützt?

Standard: 150mm (6"), 200mm (8"), 300mm (12").

Q2: Wie lange dauert die Vorlaufzeit für kundenspezifische Designs?

- Standardmodelle: 4-6 Wochen.
- Vollständig angepasst: 8-12 Wochen (je nach Komplexität).