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Hochpräzision SIC Siliziumkarbid Keramik Chuck Keramik Element Vakuumsupper Anpassung

Produkt-Details

Place of Origin: CHINA

Markenname: ZMSH

Zertifizierung: rohs

Model Number: Silicon carbide ceramic chuck

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Hervorheben:

SIC-Karbid-Keramik-Rohr

,

Keramische Hochpräzisions-Rohre

,

Staubsauger

Item::
Silicon carbide ceramic chuck
Thermal Stability::
High Temperature Stability
Type::
Ceramic Plate
Max Use::
1800 ºC
Tolerance::
±0.001 mm or Custom
Size::
Customized
Specification::
Customize
Usage::
Photoelectric Lighting, Semiconductor
Item::
Silicon carbide ceramic chuck
Thermal Stability::
High Temperature Stability
Type::
Ceramic Plate
Max Use::
1800 ºC
Tolerance::
±0.001 mm or Custom
Size::
Customized
Specification::
Customize
Usage::
Photoelectric Lighting, Semiconductor
Hochpräzision SIC Siliziumkarbid Keramik Chuck Keramik Element Vakuumsupper Anpassung

Hochpräzision SIC Siliziumkarbid Keramik-Chuck Keramik-Element Vakuum-Sauger Anpassung

Hochpräzision SIC Siliziumkarbid Keramik Chuck Keramik Element Vakuumsupper Anpassung 0

 

Zusammenfassung des Produkts

 

 

 

Siliconcarbide-Keramik-Teller ist eine leistungsstarke Leuchte, die in der Halbleiter-, LED-, Photovoltaik- und anderen Präzisionsfertigung verwendet wird und hauptsächlich zur Befestigung und Beförderung von Wafern verwendet wird.SaphirsubstrateDas Kernmaterial ist Siliziumkarbid (SiC), das durch Präzisionsbearbeitung hergestellt wird, hat ausgezeichnete physikalische und chemische Eigenschaften,und kann den Verarbeitungsbedarf an hoher Präzision und hoher Stabilität erfüllen.


 


 

Produktparameter

 

 

(Materielles Eigentum) (Einheit) (ssic)
(SiC-Gehalt)   (Wt) % > 99
(Durchschnittliche Körngröße)   Mikron 4 bis 10
(Dichte)   Weigerung der Verwendung > 3 Jahre14
(Offenbar Porosität)   Vo1% < 05
(Vickers-Härte) HV 0.5 GPa 28
*()
Beugfestigkeit* (drei Punkte)
20 °C MPa 450
(Kompressionsfestigkeit) 20oC MPa 3900
(Elastischer Modul) 20 °C GPa 420
(Zähigkeit bei Bruch)   MPa/m'% 3.5
(Wärmeleitfähigkeit) 20°oC W/m*K 160
(Widerstandsfähigkeit) 20°oC Ohm.cm 106 bis 108

(Thermischer Expansionskoeffizient)
Das ist nicht wahr.80oC) K-1*10-6 4.3

(Grenztemperatur)
  ooC 1700

 

 


Hochpräzision SIC Siliziumkarbid Keramik Chuck Keramik Element Vakuumsupper Anpassung 1

Produktmerkmal

 

1.Ultra-hohe Härte und Verschleißfestigkeit: Siliziumkarbid-Härte nahe dem Diamant, ausgezeichnete Verschleißfestigkeit, kann langfristiger Hochfestigkeitsverarbeitung standhalten, verlängert die Lebensdauer erheblich.

 

2Ausgezeichnete thermische Leistung: high thermal conductivity and low thermal expansion coefficient to ensure rapid heat dissipation in high temperature environments and maintain dimensional stability to avoid deformation caused by thermal stress.

 

3. Ausgezeichnete chemische Stabilität: starke Korrosionsbeständigkeit, Beständigkeit gegen Säuren, Alkalien und verschiedene chemische Lösungsmittel, geeignet für raue Prozessumgebungen.

 

4. Hohe Flachheit und Oberflächenveredelung: Nach der Präzisionsbearbeitung ist die Oberflächenflachheit bis zum Mikronniveau, was eine hohe Präzision und geringe Verschmutzung während der Verarbeitung gewährleistet.

 

 


Hochpräzision SIC Siliziumkarbid Keramik Chuck Keramik Element Vakuumsupper Anpassung 2

Anwendung des Produkts

 

In der Halbleiterherstellung kann Siliziumkarbid-Keramik-Riegel für Waferschneiden, Polieren, Lithographie und andere Schlüsselprozesse verwendet werden, um eine hohe Präzision der Verarbeitung zu gewährleisten.Als Lagerplattform für die Verarbeitung von Saphirsubstraten in der LED-Produktion, unterstützt es das Schneiden, Schleifen und das Wachstum der Epitaxie.

 

 

Darüber hinaus werden Siliziumkarbid-Keramikschläuche als Trays in Hochtemperaturgeräten wie CVD und PVD verwendet.Verwendung von Hochtemperaturverfahren, um extremen Umgebungen standzuhalten und die Stabilität zu erhaltenIn der Photovoltaikindustrie wird es für das Schneiden von Siliziumwafer und die Herstellung von Dünnschicht-Solarzellen verwendet, um die Verarbeitungsleistung und den Ertrag zu verbessern.

 

 



Produktanzeige

 


Hochpräzision SIC Siliziumkarbid Keramik Chuck Keramik Element Vakuumsupper Anpassung 3Hochpräzision SIC Siliziumkarbid Keramik Chuck Keramik Element Vakuumsupper Anpassung 4

 

 


 

Produktfragen und Antworten

 

 

1.F: Was ist Siliziumkarbid-Keramik-Riegel?
A: Keramische Scheiben aus Siliziumkarbid sind eine hochleistungsfähige Vorrichtung für die Herstellung von Halbleitern, LEDs und Photovoltaik, die hauptsächlich zur Aufbewahrung und Beförderung von Wafern, Saphirsubstraten und anderen Materialien verwendet wird.mit hoher Härte, hohe Wärmeleitfähigkeit und ausgezeichnete chemische Stabilität.

 

 

2.F: Welche Vorteile hat der Keramikschlag aus Siliziumkarbid?
A: Zu den Hauptvorteilen von Keramikschlägern aus Siliziumkarbid gehören hohe Verschleißfestigkeit, hervorragende thermische Leistung, hohe Flachheit und Korrosionsbeständigkeit,mit einer Breite von mehr als 20 mm,.

 


 
Tag: #SIC, #Siliciumkarbid Keramik-Riegel, #keramisches Element, #Staubsauger-Anpassung, #Hochpräzision