Dieser hochreine Quarzring ist eine große Ringform, die für Präzisionsgeräte hergestellt wird, die thermische Stabilität, elektrische Isolierung, chemische Beständigkeit,und geringe MaterialkontaminationDas Produkt zeichnet sich durch einen breiten kreisförmigen Körper, eine große offene Mitte, einen erhöhten Innenrand, ein abgestuftes äußeres Profil und mehrere um den Umfang verteilte Ortungsmerkmale aus.

Anstatt ein einfacher flacher Quarzring zu sein, enthält die Komponente mehrere bearbeitete Ebenen, die die Installationsfreiheit, die mechanische Positionierung, die Trennung der Komponenten,oder gesteuerte Stütze innerhalb einer AusrüstungsanlageDie breite ringförmige Oberfläche bietet eine stabile Berührungsfläche, während der erhöhte Innenabschnitt bei der Zentrierung eines anderen Teils oder bei der Aufrechterhaltung einer definierten Lücke um einen internen Prozessbereich helfen kann.

Die Außenkante umfaßt mehrere mechanische Unterbrechungen oder Ortungsstellen, die so konstruiert sein können, daß sie den entsprechenden Befestigungen entsprechen, eine Rotation verhindern, die Ausrichtung der Montage festlegen,oder einen Abstand zu benachbarten Komponenten bieten. Ihre Menge, Form, Position, Tiefe und Breite können nach der technischen Zeichnung des Kunden angepasst werden.

Dieser Quarzring eignet sich für kundenspezifische Halbleitergeräte, Vakuumsysteme, Hochtemperaturinstrumente, Laborprozesskammern, optische Baugruppen,und andere industrielle Systeme, in denen herkömmliche Metall- oder Polymerringe eine Kontamination verursachen können, elektrische Leitfähigkeit oder thermische Expansion.

Technische Spezifikation

Große ringförmige Quarzkonstruktion

Das Produkt hat eine große kreisförmige Öffnung durch die Mitte, wodurch ein breiter ringförmiger Körper entsteht.Heizgerät, optischer Weg oder sonstiger interner Ausrüstungsteil, ohne den zentralen Arbeitsbereich zu blockieren.

Die Ringform kann für verschiedene Funktionen angepasst werden, darunter:

• Mechanische Unterstützung;
• Komponentenbindung;
• Ausrichtung der Ausrüstung
• thermische Trennung;
• Elektrische Isolierung;
• Schutz des Prozessbereichs;
• Abstand zwischen den Kammern;
• Peripherische Abschirmung;
• Montage und Positionierung.

Die genaue Funktion des Bauteils hängt von seiner Montageposition und den Abmessungen der umgebenden Ausrüstung ab.Quarzstützring, Quarzkammerring, Quarz Abstandring oder Quarzflanschring.

Schrittweise innere und äußere Profile

Ein wichtiges Merkmal des Bauteils ist sein schrittweise Querschnitt. Der innere Umfang umfasst einen erhöhten Rand oder eine Schulter, während der äußere Abschnitt zusätzliche Höhen- und Dickeänderungen enthält.

Diese Stufenkonstruktion kann Folgendes bieten:

• eine kontrollierte Montageoberfläche;
• eine Zentrierungsschnittstelle;
• eine definierte Komponentenlücke;
• Zusätzliche Strukturdicke;
• Abstand zu Dichtungen oder umgebenden Teilen;
• Verbesserte Kompatibilität mit einem bestehenden Kammerprofil;
• Trennung zwischen funktionalen Oberflächen.

Der innere hochgehobene Rand kann mit einer gemahlenen, polierten oder feuerfertigen Oberfläche versehen werden, je nachdem, ob er für Positionierung, Kontakt, visuellen Zugang oder Partikelkontrolle verwendet wird.

Der Übergang zwischen verschiedenen Ebenen kann mit geraden Schultern, Radiuswinkeln, Schrägen oder kundenspezifischen Konturen erfolgen.Scharfe innere Ecken werden möglichst vermieden, da sorgfältig gestaltete Übergänge die lokale Spannungskonzentration in brüchigen Quarzkomponenten reduzieren können.

Genaue Ortungsmerkmale

Entlang des äußeren Umfangs sind mehrere gleichmäßig verteilte Merkmale zu sehen, darunter flache Rillen, Relief-Abschnitte, Ausrichtungsschnitte oder Ortungsschlitze.

Sie können verwendet werden:

• Definition der Installationsrichtung;
• Anbindungspunkte der Streichanlagen;
• Verhindern Sie unerwünschte Drehung;
• Es muss eine Freiraumgrenze um die Klemmen herum gegeben werden.
• Der Quarzring wird mit einer anderen Komponente ausgerichtet.
• Erstellen Sie Referenzpunkte für die Montageinspektion.

Die Lokalisierungsfunktionen sind vollständig anpassbar. Die Kunden können die Anzahl der Schlitze, den Winkelabstand, die Abmessungen, den Winkelradius und die Beziehung zu anderen kritischen Oberflächen angeben.

Bei Ersatzteilen ist es wichtig, die Winkelposition jedes Ortungsmerkmals zu überprüfen.Falsch platzierte Schlitze können verhindern, dass das Bauteil an die Ausrüstung angebracht wird.

Schmelzquarz-Materialoptionen

Die Komponente kann aus verschiedenen Qualitäten von geschmolzenem Quarz oder geschmolzenem Kieselsäurewerk hergestellt werden.

Zu den verfügbaren Möglichkeiten gehören:

• Quarz für die allgemeine Industrie
• hochreine geschmolzenen Quarz;
• Quarz für Halbleiter;
• mit einer Breite von mehr als 20 mm,
• Silikon mit optischer Qualität;
• Niedrighydroxylgeschmolzenes Kieselsäure;
• Hochhydroxyl geschmolzenes Silizium.

Hochreiner Quarz wird üblicherweise für Geräte ausgewählt, bei denen Metallkontamination, Partikelbildung und chemische Kompatibilität kontrolliert werden müssen.

Wenn eine verbesserte optische Übertragung oder eine strengere Kontrolle der Materialkonsistenz erforderlich ist, kann man sich für synthetisches geschmolzenes Kieselsäurematerial entscheiden.,Anforderungen an Temperatur, Atmosphäre, Reinheit und Ausrüstung.

Thermische und chemische Leistung

Schmolzenes Quarz hat einen geringen Wärmeausdehnungskoeffizienten und kann die Dimensionsstabilität unter vielen hohen Temperaturbedingungen aufrechterhalten.Heizsysteme für Laborräume, Halbleiterwerkzeuge und Prozesskammern, die sich wiederholt erhitzen und kühlen lassen.

Die thermische Leistung hängt noch von mehreren praktischen Faktoren ab:

• Höchstbetriebstemperatur;
• Heiz- und Kühlrate;
• Temperaturgleichheit;
• Mechanische Einschränkung;
• Abmessungen der Ringe;
• Lokalisierter Kontaktdruck;
• Oberflächenzustand;
• Vorhandene interne Belastungen.

Eine ungleichmäßige Erwärmung oder eine starre Befestigung kann thermische Belastungen verursachen, so daß Ringe mit großem Durchmesser gleichmäßig gestützt und nicht in Baugruppen mit unzureichender Freiheit gezwungen werden sollten.

Quarz ist auch gegen viele Prozesschemikalien und Säuren beständig, allerdings nicht gegen alle Chemikalien.Hydrofluorsäure und bestimmte heiße alkalische Stoffe können Quarzoberflächen angreifen, muss die chemische Verträglichkeit vor der Anwendung überprüft werden.

Elektrische Isolierung

Schmelzkwarz ist ein elektrisch isolierendes Material, weshalb der Ring in Geräten eingesetzt werden kann, bei denen eine elektrische Isolierung zwischen leitfähigen Bauteilen erforderlich ist.

Potenzielle Anwendungsmöglichkeiten umfassen Baugruppen in der Nähe:

• Elektroden;
• Plasmaquellen;
• Heizungselemente;
• Elektrische Rückleitungen;
• Sensoren;
• Metallkammerkomponenten;
• Hochspannungsprozessbereiche.

Der breite Ringkörper kann je nach Endkonfiguration sowohl eine mechanische Trennung als auch eine elektrische Isolierung bieten.

Auswahl der Oberflächenveredelung

Das gezeigte Produkt hat eine halbtransparente oder frostierte Ringfläche, kombiniert mit klareren polierten Kanten.

Zu den verfügbaren Oberflächenoptionen gehören:

Endpunkt

Eine Bodenoberfläche liefert ein einheitliches mattes Erscheinungsbild und wird üblicherweise für nichtoptische Stützflächen verwendet.

Lapped Finish

Das Lapieren kann die Flachheit, die Parallelität und die Kontaktkonsistenz im Vergleich zum gewöhnlichen Schleifen verbessern.

Transparentes Polieren

Das Polieren kann die Transparenz erhöhen und eine glattere Oberfläche schaffen. Es kann für die visuelle Inspektion, optische Übertragung, reduzierte Rückstandsretention oder präzise Kontaktbereiche spezifiziert werden.

Feuerpolieren

Das Feuerpolieren kann ausgewählte Kanten glätten und scharfe Bearbeitungsspuren reduzieren.

Gefrorene Oberfläche

Eine kontrollierte glasierte Oberfläche kann verwendet werden, um die Blendung zu reduzieren oder eine einheitliche nichtoptische Oberfläche zu schaffen.

Die Oberfläche, die Unterfläche, die Innenwand, die Außenwand, die Stufen und die Ortungsschlitze können unterschiedlich veredelt werden.

Spezielle Produktionsparameter

Dieser Quarzring wird nach kundenspezifischen Abmessungen hergestellt.

• Gesamt Außendurchmesser
• Durchmesser der mittleren Öffnung;
• Gesamtdicke;
• Breite des Ringkörpers;
• Höhe des Innenrandes;
• Breite des Innenrandes;
• Abmessungen der Außenstapel;
• Anzahl der Lokalisierungsslots;
• Breite und Tiefe des Schlitzes;
• die Winkelposition des Schlitzes;
• Innen- und Außenkantenradius;
• Flachheit der Oberfläche;
• Oberflächenparallelismus;
• Innen- und Außenkonzentrizität;
• Rundheit;
• Oberflächenrauheit;
• mit einer Breite von mehr als 10 mm,
• Materialqualität;
• Reinigungsverfahren;
• Verpackungsmethode.

Eine vollständige Zeichnung sollte die Datenflächen und die kritischen Abmessungen eindeutig kennzeichnen.

Herstellungsprozess

Abhängig von den Abmessungen des Produkts und dem Rohstoff kann die Herstellung Folgendes umfassen:

• Quarz-Blank-Zubereitung;
• mit einem Durchmesser von mehr als 10 mm,
• Zentralöffnungsbearbeitung;
• Schleifen mit Innendiameter;
• Schleifen mit Außendurchmesser;
• Oberflächenschleifen;
• Schrittbearbeitung;
• Maschinen, Apparate und Geräte, für die Herstellung von Maschinen oder Geräten
• Schrägschneidende Kanten;
• Präzisionslappen;
• Lokalisiertes Polieren;
• Feuerbearbeitung;
• Reinigung;
• Abmessungskontrollen;
• Schutzverpackung.

Große Quarzkomponenten erfordern eine sorgfältige Handhabung während der gesamten Produktion, da eine übermäßige lokale Kraft Kantenbeschädigungen oder versteckte Risse verursachen kann.

Für besonders anspruchsvolle Anwendungen kann zunächst ein Prototyp hergestellt werden, um die Dimensionsausstattung und die Installationskompatibilität zu bestätigen.

Mögliche Anwendungen

Der Quarz-Rückhalterring in Stufenform kann für:

• Prozesskammern für Halbleiter;
• Ausrüstung zur Plasmaverarbeitung;
• mit einer Leistung von mehr als 10 W;
• Absetzgeräte;
• Einheit für Diffusionsöfen;
• Ausrüstung zur Oxidation;
• Werkzeuge zur Waferverarbeitung;
• Hochtemperaturlaboratorialsysteme;
• Vakuumkammern;
• Quarzreaktorbaugruppen;
• Wärmedämmungsstrukturen;
• optische Ausrüstung;
• Gasverarbeitungsgeräte;
• Sonderforschungsausrüstung;
• Industriemaschinen mit hoher Reinheit.

Sie kann als Stütze, Aufbewahrung, Ausrichtung, Trennung, Isolierung oder Schutzkomponente dienen.

Da die genaue Verwendung nicht allein durch das Aussehen bestätigt werden kann, sollten die Betriebsbedingungen und Montagezeichnungen vor der Endfertigung überprüft werden.

Hauptvorteile der Produkte

Zusammenstimmungsfähigkeit der individuellen Ausrüstung

Die vollständige Ringgeometrie kann mit den vorhandenen Ausrüstungsdimensionen und Montageoberflächen abgestimmt werden.

Niedrige thermische Expansion

Fusionsquarz bietet bei vielen Heiz- und Kühlprozessen eine gute Dimensionsstabilität.

Hohe Reinheit des Materials

Hochreine Sorten tragen dazu bei, das Kontaminationsrisiko in sensiblen Prozessumgebungen zu verringern.

Integrierte Ringform

Das Bauteil wird als einziger Ring hergestellt, wodurch Verbindungen zwischen mehreren zusammengebauten Teilen vermieden werden.

Genaue Positionierungsmerkmale

Außene Schlitze und Stufenflächen können zur Steuerung der Ausrichtung und der Montageposition beitragen.

Mehrere Oberflächenoptionen

Gemahlen, geschmiert, poliert, gefriert und mit Feuer gefertigt, können sie zu einem Bauteil zusammengefügt werden.

Geeignet für die Anpassung von Kleinserien

Die Anforderungen an den Prototyp, das Ersatzteil und die Serienproduktion können nach der Zeichnung bewertet werden.

Qualitätskontrolle

Die Prüfung kann anhand der genehmigten Zeichnung durchgeführt werden.

• Außendurchmesser
• Innerer Durchmesser;
• Gesamtdicke;
• Stufenhöhe;
• Schrittbreite;
• Anzahl der Schlitten;
• Abmessungen der Schlitze;
• die Winkelposition des Schlitzes;
• Flachheit;
• Parallelisierung;
• Rundheit;
• Konzentriertheit;
• Oberflächenrauheit;
• Oberflächenkratzungen;
• Grenzchips;
• Sichtbare Blasen;
• Einschlüsse;
• Sauberkeit;
• Verpackungszustand.

Die Messmethoden sollten im Voraus vereinbart werden, wenn sehr enge Toleranzen erforderlich sind, insbesondere für große Ringe, bei denen Temperatur und Stützbedingungen die Messwerte beeinflussen können.

Reinigungs- und Verpackungsmöglichkeiten

Zu den verfügbaren Reinigungs- und Verpackungsdienstleistungen gehören:

• Standardreinigung;
• Ultraschallreinigung;
• Abwasserspülung mit deionisiertem Wasser;
• chemische Reinigung mit hoher Reinheit;
• Handhabung für Reinräume;
• Einzelne Schutzverpackung;
• Doppelschichtversiegelte Säcke;
• Schuhe für die Positionierung;
• Steife Exportkisten.

Das Produkt sollte während des Transports auf einer breiten Fläche gestützt werden, wobei ein direkter Aufprall auf die Außenkante oder die innere Öffnung vermieden werden sollte.

Ansprüche an Zitate

Bitte geben Sie folgende Angaben an, um einen Angebot zu erhalten:

1. Außendurchmesser
2. Innenöffnungsdurchmesser;
3. Gesamtdicke;
4. Vollständige Abmessungen des stufenförmigen Querschnitts;
5. Anzahl und Lage der Lokalisierungs-Slots;
6. Anforderungen an die Flachheit;
7. Parallelitätsanforderung;
8. Konzentritätsanforderung;
9. Anforderungen an die Oberflächenveredelung;
10. Quarzmaterialqualität;
11. Betriebstemperatur;
12. Chemische oder Prozessgasbelastung;
13. Anwendung der Ausrüstung;
14. erforderliche Menge;
15. Zeichnung oder Originalprobe.

Für Ersatzteile kann die Bereitstellung sowohl der Originalzeichnung als auch mehrerer klarer Fotografien das Risiko von Dimensionsmissverständnissen verringern.

Häufig gestellte Fragen

Was ist der Unterschied zwischen diesem Quarzring und einem Standardquarzflansch?

Ein Standardquarzflansch ist häufig mit Rohrverbindungen, Dichtungsoberflächen oder Schraublochstrukturen verbunden.,Es kann aufgrund seiner großen stufenförmigen Ringgeometrie immer noch unter die Kategorie Quarzflansche fallen.

Kann der innere, aufgestellte Rand entfernt oder ausgetauscht werden?

Der Durchmesser, die Höhe, die Breite, der Winkelradius und die Oberflächenbeschichtung können entsprechend der Zeichnung geändert werden.

Können zusätzliche Löcher in den Ring gefertigt werden?

Es können Löcher, Schlitze, Reliefflächen und Positionierungsmerkmale ausgewertet werden. Die Machbarkeit hängt von ihren Abmessungen, Lage, Abstand von der Kante, Ringdicke und erforderlicher Festigkeit ab.