| Markenbezeichnung: | zmsh |
SiC-Wafer des Typs HPSI (High-Purity Semi-Isolating Silicon Carbide) sind zentrale optische Materialien in KI- und AR-Gläsern. Mit einem hohen Brechungsindex (2.6 - 2.7 @ 400 - 800 nm) und niedrige optische Absorptionsmerkmale, lösen sie Probleme wie "Regenbogen-Effekte" und unzureichende Lichtdurchlässigkeit, die bei herkömmlichen Glas- oder Harzmaterialien für AR-Wellenleitungen üblich sind.Die Orion AR-Brille von Meta verwendet HPSI SiC-Wellenleitlinsen, mit einem ultraweiten Sichtfeld (FOV) von 70° - 80° mit einer Einlagelinse mit einer Dicke von nur 0,55 mm und einem Gewicht von 2,7 g, was den Trägerkomfort und das Eintauchen erheblich verbessert.
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| Parameter | Zulassung | 4-Zoll-Substrat | 6-Zoll-Substrat |
|---|---|---|---|
| Durchmesser | Z-Klasse / D-Klasse | 99.5 mm - 100.0 mm | 149.5 mm - 150,0 mm |
| mit einer Breite von nicht mehr als 20 mm | Z-Klasse / D-Klasse | 4H | 4H |
| Stärke | Z-Klasse | 500 μm ± 15 μm | 500 μm ± 15 μm |
| D-Klasse | 500 μm ± 25 μm | 500 μm ± 25 μm | |
| Waferorientierung | Z-Klasse / D-Klasse | Auf der Achse: <0001> ± 0,5° | Auf der Achse: <0001> ± 0,5° |
| Mikropipendichte | Z-Klasse | ≤ 1 cm2 | ≤ 1 cm2 |
| D-Klasse | ≤ 15 cm2 | ≤ 15 cm2 | |
| Widerstand | Z-Klasse | ≥ 1E10 Ω·cm | ≥ 1E10 Ω·cm |
| D-Klasse | ≥ 1E5 Ω·cm | ≥ 1E5 Ω·cm | |
| Primäre flache Orientierung | Z-Klasse / D-Klasse | (10-10) ± 5,0° | (10-10) ± 5,0° |
| Primärflächige Länge | Z-Klasse / D-Klasse | 32.5 mm ± 2,0 mm | Schnitzel |
| Sekundäre flache Länge | Z-Klasse / D-Klasse | 18.0 mm ± 2,0 mm | - |
| Grenze ausgeschlossen | Z-Klasse / D-Klasse | 3 mm | 3 mm |
| LTV / TTV / Bug / Warp | Z-Klasse | ≤ 2,5 μm / ≤ 5 μm / ≤ 15 μm / ≤ 30 μm | ≤ 2,5 μm / ≤ 6 μm / ≤ 25 μm / ≤ 35 μm |
| D-Klasse | Der Wert der Verbrennungsmenge ist zu messen, sofern die Verbrennungsmenge nicht überschritten ist. | ≤ 5 μm / ≤ 15 μm / ≤ 40 μm / ≤ 80 μm | |
| Grobheit | Z-Klasse | Polnischer Ra ≤ 1 nm / CMP Ra ≤ 0,2 nm | Polnischer Ra ≤ 1 nm / CMP Ra ≤ 0,2 nm |
| D-Klasse | Polnischer Ra ≤ 1 nm / CMP Ra ≤ 0,2 nm | Polnischer Ra ≤ 1 nm / CMP Ra ≤ 0,5 nm | |
| Ränder Risse | D-Klasse | Kumulative Fläche ≤ 0,1% | Gesamtlänge ≤ 20 mm, Einzellänge ≤ 2 mm |
| Polytypische Gebiete | D-Klasse | Kumulative Fläche ≤ 0,3% | Kumulative Fläche ≤ 3% |
| Sichtbare Kohlenstoffinklusionen | Z-Klasse | Kumulative Fläche ≤ 0,05% | Kumulative Fläche ≤ 0,05% |
| D-Klasse | Kumulative Fläche ≤ 0,3% | Kumulative Fläche ≤ 3% | |
| Silikon-Flächenkratzungen | D-Klasse | 5 zulässig, jeweils ≤ 1 mm | Gesamtlänge ≤ 1 x Durchmesser |
| Frühlingschips | Z-Klasse | Keine zulässig (Breite und Tiefe ≥ 0,2 mm) | Keine zulässig (Breite und Tiefe ≥ 0,2 mm) |
| D-Klasse | 7 zulässig, jeweils ≤ 1 mm | 7 zulässig, jeweils ≤ 1 mm | |
| Schraubschraubentwicklung | Z-Klasse | - | ≤ 500 cm2 |
| Verpackung | Z-Klasse / D-Klasse | Multifaktor-Kassette oder Einfachwaferbehälter | Multifaktor-Kassette oder Einfachwaferbehälter |
Als integrierte Produktions- und Handelsgesellschaft liefert ZMSH End-to-End-Lösungen für SiC-Produkte:
Die eigenen Kristallwachstumsöfen produzieren 4H-N, 4H-HPSI, 6H-P und 3C-N-Wafer (2 - 12 Zoll) mit anpassbaren Parametern (z. B. Dopingkonzentration, Biegefestigkeit).
F1: Warum ist HPSI SiC Wafer für AR-Brillen von entscheidender Bedeutung?
A1: Der hohe Brechungsindex des HPSI SiC Wafers (2,6 - 2,7) und die geringe optische Absorption eliminieren Regenbogen-Effekte in AR-Displays und ermöglichen dabei ultradünne Wellenleitungen (z. B. Meta Orions 0,55mm-Objektive).
F2: Wie unterscheidet sich HPSI SiC von herkömmlichem Glas in der AR-Optik?
A2: HPSI SiC bietet den doppelten Brechungsindex von Glas (~ 2,0), was eine größere FOV und einlagige Wellenleitungen sowie eine Wärmeleitfähigkeit von 490 W/m·K ermöglicht, um die Wärme von Micro-LEDs zu verwalten.
F3: Ist HPSI SiC mit anderen Halbleitermaterialien kompatibel?
A3: Ja, es integriert sich mit GaN und Silizium in hybriden Systemen, aber seine thermische Stabilität und seine dielektrischen Eigenschaften machen es für Hochleistungs-AR-Optiken überlegen.
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