Doppelseitig polierte SiC-Spiegel mit hoher Reinheit, optische Komponente für MEMS-Mikrospiegel

1. Ultraleicht & Miniaturisierung​​:

• Das ​​kompakte Design (z. B. 20–50 mm Durchmesser)​​ in Kombination mit der ​​geringen Dichte von SiC (~3,1 g/cm³)​​ erzielt ein ​​extrem geringes Gewicht​​ und eine ​​kompakte Struktur​​, was es ideal für raum- und gewichtsempfindliche integrierte Geräte macht.

2. ​​Überlegene Stabilität & Umweltbeständigkeit​​:

• Der ​​geringe Wärmeausdehnungskoeffizient (~4,5×10⁻⁶/℃)​​ und der ​​hohe Elastizitätsmodul (>400 GPa)​​ gewährleisten eine ​​außergewöhnliche Dimensions- und Oberflächenstabilität​​ bei Temperaturschwankungen und mechanischen Vibrationen, mit hoher Verformungsbeständigkeit.

3. ​​Hervorragendes Wärmemanagement​​:

• ​​Hohe Wärmeleitfähigkeit (~120–200 W/m·K)​​ erleichtert eine schnelle und gleichmäßige Wärmeableitung, verhindert lokale Hotspots und gewährleistet eine stabile Leistung und Zuverlässigkeit von optischen Systemen unter Hochtemperatur- oder Hochleistungsbedingungen.

4. ​​Erstklassige optische Oberflächenqualität​​:

• Durch ​​doppelseitige Poliertechnologie​​ erreicht es ​​Oberflächenglätte im Nanobereich (Ra ≤ 0,5 nm) auf beiden Seiten​​ und ​​ultrahohe Ebenheit/Parallelität​​, wodurch Lichtstreuung und -verluste minimiert und gleichzeitig eine hohe Bildqualität gewährleistet werden.

5. ​​Hervorragende Haltbarkeit & chemische Inertheit​​:

• ​Hohe Härte (Mohs 9,5)​​ bietet Verschleiß- und Kratzfestigkeit, und ​​Beständigkeit gegen Säuren, Laugen und Plasmaerosion​​ gewährleistet eine langfristige Leistung in rauen Umgebungen und verlängert die Lebensdauer.

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​AR/MR-Brillen-Optiksysteme​​:

Als ​​diffraktive Wellenleiterlinsen, Prismen oder Reflektoren​​ zur Führung und Anzeige von Lichtwegen. Ihr ​​hoher Brechungsindex (~2,65), ihr geringes Gewicht und ihre geringe Größe​​ sind der Schlüssel zur Erzielung eines ​​schlanken Brillendesigns, eines großen Sichtfelds (FOV) und der Eliminierung von Regenbogenmustern​​.

• ​​Halbleiterlithographie & Präzisionsinspektionsgeräte​​:

Als ​​Reflektoren oder Linsensubstrate​​ in den Beleuchtungssystemen von ​​Lithographiemaschinen​​ oder Sensoren von ​​Wafer-Inspektionsgeräten​​. Ihre ​​hohe thermische Stabilität und Ebenheit​​ sind entscheidend für die Aufrechterhaltung der ​​Nano-Overlay-Genauigkeit und Inspektionspräzision​​.

• ​​High-End-Laser-Optiksysteme​​:

Verwendet in ​​Lasergalvanometern, Laserinterferometern​​ oder als ​​Reflektoren/Fensterspiegel in Hochleistungslasern​​. Ihre ​​hohe Schadensschwelle, hohe Wärmeleitfähigkeit und Stabilität​​ gewährleisten eine ​​präzise Laserstrahlführung und einen langfristig stabilen Systembetrieb​​.

• ​​MEMS- & Mikrooptik-Bereiche​​:

Als ​​Substratmaterialien für MEMS-Mikrospiegel​​ oder ​​Substrate für mikrooptische Geräte​​, eingesetzt in LiDAR, Projektoren usw., die strenge Anforderungen an ​​Hochfrequenzreaktion, hohe Stabilität und Miniaturisierung​​ erfüllen.

ZMSH's SiC-Keramikprodukte

2. SiC-Keramik-Vakuumspannfutter ​​Flip-Chip-Bonding, spiegelpoliert, hohe Steifigkeit​​