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Einzelheiten zu den Produkten

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Sic Substrat
Created with Pixso. 4 Zoll 6 Zoll 8 Zoll SICOI Wafer 4H-SiC auf Isolator 100 bis 150 mm SiC-Film AUF Silizium

4 Zoll 6 Zoll 8 Zoll SICOI Wafer 4H-SiC auf Isolator 100 bis 150 mm SiC-Film AUF Silizium

Markenbezeichnung: ZMSH
Modellnummer: SICOI Wafers
MOQ: 25
Preis: by case
Lieferzeit: 2-4weeks
Zahlungsbedingungen: T/T
Einzelheiten
Place of Origin:
CHINA
Zertifizierung:
rohs
Größe:
4inch/6 Zoll/8 Zoll
Oberflächenrauheit:
Ra <0,5 nm
Bruchzähigkeit:
3,5 MPa · m¹/²
CTE (4H-SIC):
4,2 × 10⁻⁶/k
Widerstand (SI):
> 1 × 10⁶ ω · cm
Anwendungen:
Hochleistungselektronik, RF-Geräte
Packaging Details:
package in 100-grade cleaning room
Hervorheben:

4H-SiC Wafer auf Isolator

,

SICOI Wafer 100-150mm

,

SiC-Film AUF Silizium Substrat

Produkt-Beschreibung

SICOI-Waferübersicht




4 Zoll 6 Zoll 8 Zoll SICOI Wafer 4H-SiC auf Isolator 100 bis 150 mm sic Film ON Silizium



SICOI (Silicon Carbide on Insulator) wafers represent a high-performance semiconductor substrate material that combines the exceptional physical properties of silicon carbide (SiC) with the electrical isolation advantages of an insulating layer (such as SiO₂ or Si₃N₄)Die SICOI-Struktur besteht typischerweise aus einer SiC-Einkristallschicht, einer Isolationsschicht und einem Trägersubstrat (z. B. Si oder SiC).Diese Konfiguration findet große Anwendungen in Hochleistungs-, Hochfrequenz- und Hochtemperatur-elektronische Geräte sowie in RF- (Radiofrequenz-) und MEMS-Sensorenfeldern.

4 Zoll 6 Zoll 8 Zoll SICOI Wafer 4H-SiC auf Isolator 100 bis 150 mm SiC-Film AUF Silizium



Verglichen mit herkömmlichen SiC-Wafern reduzieren SICOI-Wafer durch die Einbindung einer Isolationsschicht die parasitäre Kapazität und den Leckstrom erheblich,Auf diese Weise wird die Betriebsfrequenz und Energieeffizienz der Geräte erhöht.Diese Technologie eignet sich besonders für Anwendungen, die einen hohen Spannungswiderstand, geringe Verluste und eine überlegene thermische Leistung erfordern, wie z. B. Elektrofahrzeuge, 5G-Kommunikation,und Luft- und Raumfahrttechnik.

4 Zoll 6 Zoll 8 Zoll SICOI Wafer 4H-SiC auf Isolator 100 bis 150 mm SiC-Film AUF Silizium





Wesentliche Merkmale der SICOI-Wafer



Eigenschaftsgruppe

Spezifische Parameter/Leistung

Technische Vorteile

Materialstruktur


SiC-Einkristallschicht (4H/6H-SiC) + Isolationsschicht (SiO2/Si3N4) + Trägersubstrat (Si/SiC)


Ermöglicht elektrische Isolierung und verringert parasitäre Wirkungen


Elektrische Leistung


Hohe Abbruchfeldstärke (> 3 MV/cm), geringer Dielektrverlust


Ideal für Hochfrequenz- und Hochspannungsgeräte


Wärmeeffizienz


Hohe Wärmeleitfähigkeit (4,9 W/cm·K), Hochtemperaturbeständigkeit (> 500°C)


Ausgezeichnete Wärmeablösung, geeignet für hochtemperaturen Umgebungen


Mechanische Leistung


Hohe Härte (Härte von Mohs 9,5), niedriger Wärmeausdehnungskoeffizient


Widerstand gegen mechanische Belastungen und erhöht die Zuverlässigkeit der Geräte


Oberflächenqualität


Atomisch flache Oberfläche (Ra < 0,2 nm)


Optimiert die Qualität des epitaxialen Wachstums und minimiert Defekte


Isolationsleistung


Hohe Dämmungsfestigkeit (> 1014 Ω·cm), geringer Leckstrom


Geeignet für Hochfrequenz- und Leistungseinrichtungen, die eine hohe Isolierung erfordern


Größe und Anpassung


Unterstützt 4/6/8-Zoll-Wafer mit anpassbarer Dicke (SiC-Schicht: 1-100 μm, Isolationsschicht: 0,1-10 μm)


Erfüllt verschiedene Anforderungen an die Anwendung






SICOI-Wafer Hauptanwendungen



Anwendungsbereich

Spezifische Szenarien

Hauptvorteile

Hochleistungselektronik


Elektrofahrzeugumrichter, Schnellladestationen, industrielle Energieanlagen

Hohe Spannungsbeständigkeit und geringer Verlust verbessern die Energieeffizienz

HF-Geräte


5G-Basisstations-Leistungsverstärker (PAs) für Millimeterwellen-HF-Frontends

Niedrige parasitäre Kapazität ermöglicht einen Hochfrequenzbetrieb mit minimalem Verlust

MEMS Sensoren


Hochtemperaturdrucksensoren, Trägheitsnavigationsgeräte

Widerstandsfähig gegen hohe Temperaturen und Strahlung, geeignet für raue Umgebungen

Luft- und Raumfahrt


Luftfahrzeugtriebwerke, Satellitenkommunikationsgeräte

Hohe Zuverlässigkeit und Temperaturbeständigkeit

Intelligentes Netz


Hochspannungsgleichstromübertragung, Festkörperbremser

Hohe Dämmungseigenschaften verringern Energieverluste

Optoelektronik


UV-LEDs, Laserdioden-Substrate

Eine hohe Gitter-Übereinstimmung verbessert die Leistung des Geräts





4 Zoll 6 Zoll 8 Zoll SICOI Wafer 4H-SiC auf Isolator 100 bis 150 mm SiC-Film AUF Silizium

Der Herstellungsprozess von 4H-SiCOI



Der Herstellungsprozess von 4H-SiCOI und der Mikroresonatoren mit hervorgehobenen Merkmalen.


  • ein Herstellungsprozess aus unberührter 4H-SiCOI-Materialplattform.
  • b Foto eines 4 Zoll großen 4H-SiCOI-Substrats im Wafermaßstab, hergestellt mit Bindungs- und Ausdünnungsverfahren, wobei die Fehlerregion gekennzeichnet ist.
  • c Gesamtdickenvariation des 4H-SiCOI-Substrats.
  • d Bild einer 4H-SiCOI-Die.
  • e Fließdiagramm für die Herstellung eines SiC-Mikrodiskresonators.
  • f Eine Scanning-Elektronenmikrographie (SEM) des gefertigten Mikrodiskresonators.
  • g Zoom-in-SEM-Bild der Seitenwand des Resonators. Einsatz, Atomkraftmikrographie (AFM) der oberen Oberfläche des Resonators (Skalaleiter = 1 μm).
  • h Seitenaufnahme SEM-Bild des hergestellten Resonators mit parabolförmiger Oberfläche.




4 Zoll 6 Zoll 8 Zoll SICOI Wafer 4H-SiC auf Isolator 100 bis 150 mm SiC-Film AUF Silizium





SICOI-WaffelnFragen und Antworten



1. F: Was ist SICOI Wafer?
A: SICOI (Silicon Carbide on Insulator) wafer is an advanced semiconductor substrate combining SiC's high-performance properties with an insulating layer for enhanced electrical isolation in power and RF devices.



2F: Welche Vorteile haben SICOI-Wafer?
A: SICOI-Wafer bieten eine geringere parasitäre Kapazität, eine höhere Abbruchspannung und ein besseres thermisches Management im Vergleich zu Standard-SiC-Wafern, ideal für 5G- und EV-Anwendungen.





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