Hochreine SiC-beschichtete Trägerplatte für Waferbehandlung und -übertragung

Hochreine SiC-beschichtete Trägerplatte für Waferbehandlung und -übertragung

Die SiC-Trägerplatte (Silicon Carbide Carrier Plate) ist eine leistungsstarke keramische Komponente, die in fortschrittlichen Fertigungsbereichen wie Halbleitern, LEDs und Leistungselektronik weit verbreitet ist.Bekannt für seine außergewöhnliche WärmebeständigkeitZMSH bietet kundenspezifische SiC-Trägerplattenlösungen, die sich aus der Herstellung von SiC-Trägerplatten ergeben.einschließlich der Konstruktion, Herstellung, Prüfung und Nachverkaufsunterstützung, um eine optimale Leistung und Zuverlässigkeit für Wafer-Handling, epitaxial Wachstum und andere kritische Anwendungen zu gewährleisten.

Technische Spezifikation:

Hauptmerkmale derSiC-Trägerplatte

1.Widerstandsfähigkeit gegen extrem hohe Temperaturen- Stabiler Betrieb bis 1650°C, ideal für CVD, MOCVD und andere Hochtemperaturprozesse.

2.Überlegene thermische SteuerungDie Wärmeleitfähigkeit von 120-200 W/m·K sorgt für eine schnelle Wärmeableitung und minimiert die thermische Belastung.

3.Niedrige thermische Expansion(4.3×10−6/K) Aussergewöhnliche Dimensionsstabilität bei hohen Temperaturen, verhindert Fehlausrichtung oder Rissbildung der Wafer.

4.Hohe Härte und Verschleißfestigkeit️ Mohs-Härte von 9.2, weit über Quarz und Graphit hinaus, verlängert die Lebensdauer.

5.Chemische Trägheit¢ Beständig gegen Säuren, Alkalien und Plasmaerosion, geeignet für raue Umgebungen.

6.Hohe Reinheit und Kontaminationsfreiheit️ Metallverunreinigungswerte < 1 ppm, die den Reinheitsstandards für Halbleiter entsprechen.

Hauptanwendungen vonSiC-Trägerplatte

- Ich weiß.

• Halbleiterherstellung️ Wafer-Epitaxie (GaN/SiC), CVD-Reaktionskammerträger.

· LED-ProduktionUnterstützt Saphir-Substrate für einheitliches MOCVD-Wachstum.

· Leistungselektronik Hochtemperatur-Sinterträger für SiC/GaN-Leistungseinrichtungen.

· Erweiterte Verpackungen- Präzisionsplatzierung und Laserverarbeitung von Substraten.

Prozesskompatibilität, Materialien und Anwendungen

Produktbilder vonSiC-Trägerplatte

ZMSH bietet umfassende End-to-End-Lösungen für SiC-Trägerplatten mit maßgeschneiderten Abmessungen, Blendenmustern,und Oberflächenbehandlungen einschließlich Spiegelpolieren und speziellen Beschichtungen, Präzisionsfertigung unter Verwendung von CVD/RBSiC-Verfahren, die eine strenge Chargenkonsistenz innerhalb von ±0,05 mm Toleranzen beibehalten, strenge Qualitätskontrollprotokolle,Beschleunigte Lieferung des Prototyps mit 72-Stunden-Auflösung, und weltweiter technischer Support mit 24/7 Reaktionsfähigkeit, um sicherzustellen, dass Kunden hochleistungsfähige Produkte mit außergewöhnlicher Einheitlichkeit und Zuverlässigkeit für ihre kritischen Anwendungen erhalten.