Diese hochreine 4H-N-Siliziumkarbid (4H-N SiC) -Wafer ist ein Einzelkristall-Substrat, das für die Herstellung von Leistungshalbleitergeräten hergestellt wird, die eine hohe Abbruchspannung erfordern,hohe WärmeleitfähigkeitDas Produkt zeichnet sich durch einen kreisförmigen Einzelkristallkörper, eine präzise Dickenkontrolle, eine epi-bereite polierte Oberfläche,mit einer elektrischen Spannung von mehr als 10 W, und eine sorgfältig geformte Waferkante.
Anstatt eine einfache Flachscheibe zu sein, enthält die Wafer mehrere präzise gesteuerte Materialparameter, die ein konsistentes epitaxielles Wachstum, zuverlässige Geräteleistung,einheitliche elektrische EigenschaftenDie Epi-Ready-Oberfläche bietet eine defektarme Basis für die anschließende epitaxielle Ablagerung.während die kontrollierte Achsenorientierung beim Wachstum des Stufenflusses helfen und die definierte kristalline Qualität im gesamten Bereich des aktiven Geräts aufrechterhalten kann.
Die Wafer-Spezifikation umfasst mehrere anpassbare Parameter und Toleranzkontrollen, die so konzipiert werden können, dass sie den entsprechenden Fertigungsprozessen, den Anforderungen an das epitaxiale Wachstum, den Anforderungen an die Verarbeitung und die Verarbeitung von Geräten entsprechen.Standards für Lithographie-AusrüstungDurchmesser, Dicke, Winkel außerhalb der Achse, Widerstandsbereich, Dopingkonzentration, Oberflächenveredelung, Randprofil, Flachheit (TTV),und Bogen / Warp können alle nach den technischen Spezifikationen des Kunden angepasst werden.
Diese 4H-N SiC-Wafer eignet sich für Leistungs-MOSFETs, Schottky-Barrieredioden, IGBTs, bipolare Verbindungstransistoren und andere Leistungs-Halbleitergeräte, die in Traktionsumrichtern von Elektrofahrzeugen verwendet werden,Umwandler für erneuerbare Energien (Solar und Wind), industrielle Antriebe, ununterbrochene Stromversorgungen, Hochspannungsschaltsystemen,und Hochtemperatur-elektronische Anwendungen, bei denen herkömmliche Siliziumsubstrate auf Abbruchspannung stoßen können, Wärmeleitfähigkeit oder Schaltfrequenzbeschränkungen.
Technische Spezifikation
Artikel
Spezifikation
Erzeugnis
4H-N SiC Substrat / Wafer
Material
4H N-Siliziumkarbid Einzelkristall
Wachstumsmethode
Physischer Dampftransport (PVT)
Kristallstruktur
Hexagonal (4H-SiC-Polytyp)
Durchmesser
4" / 6" / 8" oder angepasst
Stärke
Zusammengestellte (z. B. 350 μm ± 1000 μm)
Orientierung
(0001) Si-Gesicht / C-Gesicht, anpassbarer Winkel außerhalb der Achse (typischerweise 4° / 8° in Richtung <11-20>)
Scratch-Dig pro SEMI-Standard (z. B. 40/20, 20/10)
TTV (Gesamtdickenvariation)
≤ 5 μm (oder je Kundenanforderung)
Bogen / Warp
Poliert: ≤ 0,2 nm / Lapped: ≤ 0,5 μm
Rauheit (Ra)
Poliert: ≤ 0,2 nm / Lapped: ≤ 0,5 μm
Typ der Kante
Nach Bedarf abgerundet
Flachlänge
Individuell (nach SEMI-Standard oder Zeichnung des Kunden)
Randprofil
Nach Bedarf abgerundet
Dopant / Reinheit
mit Stickstoff bestückt, N-Typ, hochreiner Einzelkristall
Beschichtung
Nicht beschichtet / Funktionsbeschichtung auf Anfrage erhältlich
Anwendung
Leistungs-MOSFET, SBD, EV-Traktionsumrichter, Umrichter für erneuerbare Energien, industrielle Stromversorgung, Hochtemperaturelektronik
Warum 4H-N SiC-Substrate für Leistungshalbleiteranwendungen wählen?
4H-N SiC-Substrate sind fortschrittliche Breitband-Kern-Grundmaterialien, die in der Leistungshalbleiter-Epitaxie, in der Herstellung von Hochspannungs-elektronischen Geräten,und neue Energiesysteme zur EnergieverarbeitungSie dienen als optimaler Träger für das Wachstum der epitaxialen Schichten von GaN und SiC und arbeiten in extremen Produktionsumgebungen mit ultrahoher Spannung, Hochfrequenzschaltung, starker Strombelastung,und langfristiger Hochtemperaturbetrieb.
Im Vergleich zu herkömmlichen Silizium-, Saphir- und gewöhnlichen keramischen Substratmaterialien bieten hochreine 4H-N-SiC-Einkristallsubstrate überlegene physikalische und elektrische Eigenschaften.sie unersetzlich machen für Hochleistungs-Halbleiter und neue Energie-IndustrieprozesseZu den wichtigsten Vorteilen gehören:
Extreme Hochtemperaturstabilität: Mit einem Schmelzpunkt von bis zu 2830°C hält es eine stabile Kristallstruktur und elektrische Leistung bei langfristiger Hochtemperatur-Epitaxie, Glühen und Gerätebetrieb,Wirksam zu vermeiden, dass das Substrat ausfällt und die Leistungsanlage thermisch ausläuft.
Ultrahohe Abbruchspannung: 4H-N SiC unterstützt mit einem 10x höheren Aufschlag elektrischen Feld als Siliziummaterialien Ultra-Hochspannungsgerätedesign, was die Chipdicke erheblich reduziert
und Miniaturisierung von Hochleistungsmodulen.
Überlegene Wärmeleitfähigkeit: Mit einer Wärmeleitfähigkeit, die das 3- bis 4-fache des Siliziums beträgt, löst es die Betriebswärme von Kraftgeräten rasch ab.Wirksam Senkung der Knotentemperatur und Verbesserung der Dauerstabilität der Anlagen.
Ausgezeichnete Hochfrequenzleistung: Niedrige Schaltverluste und geringe parasitäre Kapazität ermöglichen einen stabilen Betrieb unter Hochfrequenzschaltbedingungen, was die Energie wesentlich verbessert.
gy Umwandlungseffizienz für Hochleistungsgeräte.
Stabile Leitungseigenschaften des N-Typs: Einheitliche Stickstoffdoping bietet eine gleichbleibende Leitungskraft mit geringer Widerstandsfähigkeit und sorgt für eine hervorragende Stromleitung und Erdungsleistung für vertikale Antriebseinrichtungen.
Überlegene chemische und Plasmabeständigkeit: Es widersteht der Korrosion durch verschiedene Halbleiterprozessgase und starke Plasma-Ätzerumgebungen und behält einen ultra-stabilen Oberflächenzustand während der Epitaksi, Ätzung und Dünnschichtdeposition.
Langfristige Zuverlässigkeit und Strahlungsbeständigkeit: mit hervorragender Strukturstabilität und Strahlenschutzfähigkeit, an harte Arbeitsbedingungen von neuen Energiefahrzeugen, Luft- und Raumfahrt- und industriellen Hochleistungsgeräten angepasst,Verlängerung der Lebensdauer des Geräts.
Aus den vorstehenden Gründen sind 4H-N SiC-Substrate zum bevorzugten Hauptmaterial für MOSFETs, Schottky-Dioden, Photovoltaik-Wechselrichter, Energiespeichermodule,mit einer Breite von mehr als 20 mm, jedoch nicht mehr als 30 mm.
Herstellung von 4H-N-SiC-Substraten
Wir sind spezialisiert auf die individuelle und standardisierte Herstellung von 4H-N SiC-Substraten für Leistungshalbleiter und optoelektronische Geräte,mit Schwerpunkt auf hochpräzisen maßgeschneiderten Lösungen für die industrielle Massenproduktion und die Forschungs- und Entwicklungsarbeiten im LaborWir überwinden die Grenzen festgelegter Standardspezifikationen und passen SiC-Substrate vollständig an die tatsächlichen Epitaxiprozessparameter der Kunden an.Anforderungen an die Herstellung von Wafern und Konstruktionsnormen für Geräte.
Die umfassenden Anpassungsmöglichkeiten umfassen die Parameter des gesamten Prozesssubstrats und die Stützstrukturen:
4H-N SiC Substrat Kernparameter
Waferdurchmesser (2/4/6/8 Zoll und spezielle Maßgrößen)
Substratdicke
Kristallorientierung (Si-Gesicht / C-Gesicht, anpassbarer Winkel außerhalb der Achse 0°8°)
Widerstandsbereich und Stickstoffdopingkonzentration
Grenzform und Gelenkspezifikation
Flat/Notch-Positionierung
Oberflächenrauheit, Flachheit, TTV und Warp-/Bogenindikatoren
Ultra-reine Oberflächenbehandlung und Bearbeitung zur Belastungsentlastung
Entsprechende Strukturkomponenten
Anpassung der Waferträgergröße
Verarbeitung von Positionslöchern und Rillen
Metallvergleichsbasis und -hülle
Spezifikationen für die Montage und Befestigung von Schnittstellen
integrierte Montage von Substraten und Hilfsteilen
Wir können fertige integrierte Komponenten liefern, die mit 4H-N SiC-Substraten und passenden Metall-/Keramikteilen zusammengebaut sind, um den Bedürfnissen der Kunden für die direkte Installation und Verwendung gerecht zu werden.
Ersatz- und Umkehrtechnikdienst
für nicht mehr hergestellte 4H-N SiC-Substrate, schwer zu erhaltende Originalwafer und nicht standardmäßige kundenspezifische Substrate für spezielle HalbleiterprozessgeräteWir bieten professionelle Reverse Engineering und Ersatzteilherstellung DienstleistungenDie Kunden können folgende Informationen zur Bewertung und Angebotserstellung bereitstellen:
Nummer des Originalgeräteteils
Ausführliche technische Zeichnungen und Parameterbeschreibungen
Übersichtliche Produktfotos und physikalische Proben (neu/verwendet)
Kennmaß-, Kristall- und elektrische Parameterdaten
Unterstützendes Epitaksie-Gerätemodell und Chargeninformationen
Spezifische Anwendungsszenarien und Prozessumgebungsparameter
Unser professionelles Ingenieursteam wird eine umfassende Bewertung der Kristallqualität des Substrats, der elektrischen Leistung,Schwierigkeiten bei der Verarbeitung und Machbarkeit der Herstellung vor dem offiziellen AngebotAlle angepassten Ersatz-SiC-Substrate werden für die Epitaxykompatibilität und den Geräteertrag optimiert.Die endgültige Übereinstimmungsleistung ist nach den tatsächlichen Ausrüstungskonfigurations- und Produktionsprozessnormen der Kunden zu bestätigen, um einen Nullunterschied im Gebrauchseffekt zu gewährleisten..
Qualitätskontrolle
Wir führen eine vollständige Qualitätsprüfung für alle 4H-N SiC Substrate durch.und kann zielgerichtete Inspektionspunkte und vollständige Prüfberichte gemäß den Anforderungen des Kundenprojekts und den SEMI-Industriestandards bereitstellenZu den wichtigsten Kontrollinhalten gehören:
Messung der Kristallorientierung und der genauen Winkelgenauigkeit außerhalb der Achse
Prüfungen der Einheitlichkeit der Resistivität und der Dopingkonzentration
Prüfung der Oberflächenflachheit, der TTV, der Bogen-/Worp- und der Rauheit
Sichtfehlerkontrolle (Kratzer, Gruben, Risse, Einschlüsse von Polytypen)
Oberflächenreinheit und interne Belastungsmessung
Prüfung der Montagepräzision und der Abgleichstoleranzen
Professionelle Kontrollen der Kollisions- und Staubdichte-Waferverpackungen
Für die Überprüfung der von den Kunden eingehenden Materialien und die Rückverfolgbarkeit der Produktionsqualität können formelle Inspektionsberichte mit vollständigen Prüfdaten bereitgestellt werden.
Welche Informationen sollten Sie für ein Angebot senden?
Zur Gewährleistung eines genauen Angebots und Verkürzung des Lieferzyklus geben Sie bitte folgende detaillierte Angaben an
Informationen bei der Abfrage:
Vollständige technische Zeichnungen und Parameterblätter
Anforderungen an Durchmesser, Dicke und Toleranz des Substrats
Kristallorientierung, Winkel außerhalb der Achse und Widerstandsbereich
Oberflächenveredelung, Polierklasse und Reinheitsanforderungen
Parameter der passenden Hilfsbauteile (falls vorhanden)
Marke und Modell der Epitaxy-Ausrüstung und unterstützende Prozessbedingungen
Originalteilnummer des OEM, falls vorhanden
Notwendige Menge und Nachfrage nach Chargen
Spezifisches Antragsverfahren und extreme Umweltanforderungen
Wenn keine vollständigen technischen Zeichnungen vorliegen, stellen Sie bitte klare hochauflösende Fotos und physikalische Proben des SiC-Substrats zur Verfügung, damit unser Team Parameterprüfungen und Schemabewertungen durchführen kann.
Häufig gestellte Fragen
Wofür werden 4H-N SiC-Substrate hauptsächlich verwendet?
4H-N-SiC-Substrate sind Kernbreitbandträgermaterialien für die Herstellung von Leistungshalbleitern, die hauptsächlich in SiC-MOSFETs, Schottky-Schrankendioden, Hochspannungs-Leistungsmodulen,elektrische Steuerungssysteme für neue Energiefahrzeuge, Photovoltaik-Windkraftumrichter, industrielle Hochfrequenz-Stromversorgungen und Luftfahrt-Hochtemperatur-Elektronikgeräte, geeignet für Hochspannung,Hochfrequenz- und Hochwärmefluss-Epitaxy- und Chipfertigungsprozesse.
Können Sie maßgeschneiderte integrierte SiC-Substratbauteile liefern?
Zusätzlich zu einzelnen 4H-N SiC-Substrat-Wafern können wir verschiedene passende Wafer-Lösungen, Metallbasen,Positionierungskomponenten und fertige integrierte Baugruppen gemäß Zeichnungen und Musteranforderungen, um eine einheitliche Versorgung zu realisieren.
Können Sie Ersatz-SiC-Substrate für alte und spezielle Geräte herstellen?
Ja, wir unterstützen eine vollständige kundenspezifische Fertigung, einschließlich Zeichnungs- und Probe-Reverse Engineering.physische Proben und Ausrüstungsinformationen, und unser Team wird die Leistungsabgleichung und die alternative Fertigung abschließen.
Können alle Kernparameter von 4H-N SiC-Substraten angepasst werden?
Ja, alle wichtigen Parameter, einschließlich Wafergröße, Dicke, Kristallorientierung, Winkel außerhalb der Achse, Widerstand, Randverarbeitung,Oberflächenrauheit und Flachheit können vollständig nach den Anforderungen des Kunden-Epitaxy-Prozesses angepasst werden, um den individuellen F&E- und Massenproduktionsanforderungen gerecht zu werden.
Unterstützen Sie die Bestellung von Prototypen und Kleinserien?
Ja, wir unterstützen die Entwicklung von Prototypen, Labortests, den Ersatz von Geräten und die Massenproduktion.Wir bewerten das Produktionsschema und das Angebot nach den maßgeschneiderten Parametern und der Verarbeitungsschwierigkeit.