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Einzelheiten zu den Produkten

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Halbleiter-Ausrüstung
Created with Pixso. Mehrdraht-Diamantsägemaschine für SiC/Saphir/ultraharte spröde Materialien

Mehrdraht-Diamantsägemaschine für SiC/Saphir/ultraharte spröde Materialien

Markenbezeichnung: ZMSH
Modellnummer: Multi-Wire Diamond Saw Cutting Machine
MOQ: 3
Preis: by case
Lieferzeit: 3-6 months
Zahlungsbedingungen: T/T
Einzelheiten
Place of Origin:
CHINA
Zertifizierung:
rohs
Lift speed:
225mm
Running speed:
1500m/min
Storage:
300L
Main drive motor:
17.8kw×2
Material Processing:
SiC/Sapphire/Ultra-Hard Brittle
Packaging Details:
package in 100-grade cleaning room
Hervorheben:

Diamantsägemaschine für SiC

,

Saphir-Schneidemaschine mit Diamantdraht

,

Sägemaschine für ultraharte spröde Materialien

Produkt-Beschreibung

Mehrdraht-Diamantsäge-Schneidmaschine Übersicht

 

 

Mehrdraht-Diamantsäge-Schneidmaschine für SiC/Saphir/ultraharte spröde Materialien

 

 

 

Die Multi-Wire-Diamantsäge-Schneidmaschine ist eine hocheffiziente, präzise Schneidmaschine, die speziell für ultraharte und spröde Materialien entwickelt wurde.Es verwendet die Technologie des parallelen Schneidens mit mehreren mit Diamanten imprägnierten Drähten zur gleichzeitigen Verarbeitung mehrerer WerkstückeDiese Maschine wird hauptsächlich für das Hochgeschwindigkeits-, hocheffiziente und hochpräzise Multi-Wafer-Schneiden von Materialien wie Siliziumcarbid (SiC), Galliumnitrid (GaN), Saphir, Quarz,und Keramik, so dass es für die Massenproduktion in der Halbleiter-, Photovoltaik- und LED-Industrie ideal ist.

 

 

Im Vergleich zu Eindraht-Schneidmaschinen erhöht das Mehrdraht-System die Produktivität erheblich, da es Dutzende bis Hunderte von Scheiben pro Operation ermöglicht.bei gleichzeitiger Aufrechterhaltung einer außergewöhnlichen Schnittgenauigkeit (± 0.02 mm) und Oberflächenqualität (Ra < 0,5 μm).

 

 


 

Technische Angaben zur Maschine zum Schneiden von Diamantsägen mit mehreren Drähten

 

 

Artikel

 

Parameter

 

Artikel

 

Parameter

 

Maximale Werkgröße (quadratisches Material)

 

220 × 200 × 350 mm

 

Hauptantriebsmotor

 

17.8kw × 2

 

Maximale Werkgröße (kreisförmiges Material)

 

Φ205 × 350 mm)

 

Verkabelung / Funkmotor

 

11.86kw × 2

 

Abstand zwischen Spindeln ((Durchmesser × Länge × Menge)

 

Φ250 ± 10 × 370 × 2 Achsen (mm)

 

Motor für Arbeitsbühnenlifte

 

2.42kw × 1

 

Hauptachse

 

650 mm

 

Schwingmotor für Arbeitsstühle

 

0.8kw × 1

 

Fahrgeschwindigkeit

 

1500 m/min

 

Anordnungsmotor

 

0.45kw × 2

 

Diamantdrahtdurchmesser

 

Für die Berechnung der Leistungsfähigkeit

 

Spannungsmotor

 

4.15kw × 2

 

Aufzugsgeschwindigkeit

 

225 mm

 

Motor für Mörtel

 

7.5kw × 1

 

Höchstgeschwindigkeit der Arbeitsbank

 

± 12°

 

Aufbewahrung

 

300 L

 

Schwingwinkel

 

±3°

 

Durchflussrate

 

200 l/min

 

Schwingfrequenz

 

Ungefähr 30 Mal pro Minute

 

Genauigkeit der Temperaturregelung

 

±2°C

 

Aufbewahrung

 

0.01 9.99 mm/min

 

Leistungsspannung

 

3*35+2*10 (mm2)

 

Durchflussrate

 

00,01 ≈ 300 mm/min

 

Druckluftversorgung

 

0.4-0.6MPa

 

Größe

 

3550 × 2200 × 3000 mm

 

Gewicht

 

13500 kg

 

 

 


 

Arbeitsprinzip der Einzeilinienschneidmaschine für Diamantdraht

 

 

Zu den operativen Kernmechanismen gehören:

 

Mehrdraht-Diamantsägemaschine für SiC/Saphir/ultraharte spröde Materialien 0

1.Multi-Wire Synchronisiertes Bewegungssystem:

  • Dutzende bis Hunderte von Diamantdrahtläden laufen synchron mit Geschwindigkeiten von bis zu 1500 m/min, angetrieben von Führerrädern, wodurch das Material durch Diamantpartikel Abrieb geschnitten wird.
  • Einheitliche Spannungsregelung mit geschlossener Schleife (verstellbar zwischen 15 und 130 N) zur Gewährleistung einer gleichmäßigen Spannung des Drahtes und zur Verhinderung von Bruch oder Abweichung.

 

2.Präzisionszufuhr- und Positionierungssystem:

  • Die Arbeitsstückzufuhr wird durch hochpräzise Servomotoren mit linearen Führungen gesteuert und erreicht eine Positionierungsgenauigkeit von ±0,005 mm.
  • Optionale Ausrichtung der Sicht oder Einstellung des Laserwerkzeugs erhöht die Präzision des Schneidens komplexer Formen.

 

3Kühlung und Müllentsorgung:

  • Hochdruckkühlmittel (auf Wasser- oder Ölbasis) spült die Schneidzone ab, um thermische Auswirkungen zu reduzieren und Trümmer zu entfernen, wodurch die Splitterung der Kanten minimiert wird.
  • Ausgestattet mit mehrstufiger Filtration, um die Lebensdauer des Kühlmittels zu verlängern.

 

4Intelligentes Steuerungssystem:

  • B&R-Servoantriebe (Reaktionszeit < 1 ms) ermöglichen eine dynamische Echtzeit-Anpassung von Geschwindigkeit, Spannung und Zufuhrgeschwindigkeit.
  • Unterstützt Parameterspeicher/Rückruf und ein-Klick-Material-spezifische Modus-Überschaltung.

 

 


 

Schlüsselmerkmale der mehrdrahtigen Diamantsägenmaschine

 

Mehrdraht-Diamantsägemaschine für SiC/Saphir/ultraharte spröde Materialien 1

1. Hochleistungs-Multi-Wafer-Schnitt:

  • Maximale Drahtgeschwindigkeit von 1500 m/min mit 50-200 Scheiben pro Lauf (materialabhängig), was die Produktivität um das 5 bis 10-fache erhöht, verglichen mit Eindrahtsystemen.
  • Optimiert für SiC/GaN, mit <100 μm Kerfverlust und 40% höherer Materialnutzung.

 

2Präzisionssteuerung und Intelligenz:

  • Das B&R-Servosystem gewährleistet eine Spannungsgenauigkeit von ±0,5 N für ein stabiles Schneiden über die Materialhärte.
  • Der 10-Zoll-HMI zeigt Echtzeitparameter (Geschwindigkeit, Spannung, Temperatur) an und ermöglicht die Speicherung von Rezepten/Fernüberwachung.

 

3Modularer Ausbau:

  • Optionale robotergestützte Lade- und Entladesysteme für die unbemannte Produktion.
  • Unterstützt das Schalten des Drahtdurchmesser (φ0,12-0,45 mm) für die Vielseitigkeit der Roh- bis Fertigverarbeitung.

 

4- Industrielle Zuverlässigkeit:

  • Hochfeste Guss-/Schmiedungsrahmen mit einer Verformung von < 0,01 mm bei längerem Betrieb.
  • Keramikbeschichtete/Tungstenkarbid-Führräder und Spindeln (>8000 Stunden Lebensdauer).

 

 


 

Anwendungsbereiche der Mehrdraht-Diamantsägenmaschine

 

Mehrdraht-Diamantsägemaschine für SiC/Saphir/ultraharte spröde Materialien 2

1Halbleiterindustrie:

  • SiC-Wafer-Dickung: Für EV-Wechselrichter und Schnelllademodul-Substrate.
  • GaN-Epitaxialwaferschneiden: 5G-HF-Geräte und Mikrowellenchips.

 

2. Photovoltaik:

  • Mono/polycrystalline Silizium-Ingotschnitte: 1200 m/min Geschwindigkeit bei einer Dickenvariation von < ± 10 μm.

 

3. LED und Optik:

  • Schnitt mit Saphirsubstrat: LED-Epitaxialwafer und Kameraabdeckungen mit < 20 μm Randsplitter.

 

4Weiterentwickelte Keramik und FuE:

  • Aluminium/AlN-Keramik-Schnitt: Hochpräzisionsverarbeitung für thermische Komponenten der Luftfahrtindustrie.

 

 

 

Mehrdraht-Diamantsägemaschine für SiC/Saphir/ultraharte spröde Materialien 3

 

 

 


 

Dienstleistungen der ZMSH

 

 

ZMSH ist spezialisiert auf Forschung und Entwicklung, Produktion und technische Dienstleistungen von mehrdrahtigen Diamantsägen,Bereitstellung von integrierten Lösungen von der Ausrüstung bis zur Materialverarbeitung für Kunden der HalbleiterindustrieUnsere hochleistungsfähigen Multi-Wire-Diamantsägen verfügen über modulare Designs, die ein hocheffizientes Multi-Wafer-Schneiden von ultraharten, zerbrechlichen Materialien ermöglichen, einschließlich SiC-Blöcke, Saphirstangen,und Quarzglas, mit einer maximalen Schneidgeschwindigkeit von 1500 m/min bei gleichzeitiger Präzision von ±0,02 mm durch intelligente Spannungskontrollsysteme und B&R-Servoantriebe.Wir bieten maßgeschneiderte Dienstleistungen an, die auf verschiedene Verarbeitungsanforderungen zugeschnitten sind, die die Optimierung von Ausrüstungsparametern, die Entwicklung von Schneidprozessen und die Auftragsverarbeitung für spezielle Materialien (z. B. großformatige SiC-Substrate oder unregelmäßige Saphirkomponenten) umfasst.Außerdem, unser technisches Support-Team bietet Unterstützung für den gesamten Zyklus, einschließlich der Installation/Inbetriebnahme von Geräten, der Ausbildung von Bedienern, der Optimierung von Prozessen,und die Wartung nach dem Verkauf, um einen nahtlosen Übergang von der Pilotproduktion zur Serienproduktion zu gewährleistenFür Halbleiterhersteller und Forschungseinrichtungen liefern wir professionelle Schneidlösungen, die an die Materialeigenschaften (z.B. Härte,CTE) zur Optimierung sowohl der Verarbeitungswirksamkeit als auch der Ertragsraten.

 

 

Mehrdraht-Diamantsägemaschine für SiC/Saphir/ultraharte spröde Materialien 4

 

 


 

Maschine zum Schneiden von Diamantsägen mit mehreren Drähten Fragen und Antworten

 

 

1F: Welche maximale Schneidgeschwindigkeit hat eine mehrdrahtige Diamantsäge für Siliziumcarbid?
A: Fortgeschrittene mehrdrahtige Diamantsägen erreichen für SiC-Wafer Schnittgeschwindigkeiten von bis zu 1500 m/min mit einer Genauigkeit von ±0,02 mm.

 

 

2F: Wie viele Wafer kann eine Mehrdrahtsäge im Vergleich zu einer Eindrahtsäge gleichzeitig schneiden?
A: Mehrdrahtsägen schneiden typischerweise 50-200 Wafer pro Lauf (materialabhängig) und bieten eine 5-10-mal höhere Produktivität als Eindrahtsysteme.

 

 


Tag: #Maschine zum Schneiden von Diamantsägen mit mehreren Drähten, # angepasst, #Verarbeitung von SiC/Saphir/ultraharten spröden Materialien