Markenbezeichnung: | ZMSH |
Modellnummer: | 6inch 4H-Semi sic |
MOQ: | 25pc |
Preis: | by case |
Lieferzeit: | in 30 Tagen |
Zahlungsbedingungen: | T/t |
6-Zoll 4H-SEMI SiC-Substrat für AR-Brillen
Das 6-Zoll 4H-SEMI Siliziumkarbid (4H-SiC)-Substrat ist ein Halbleitermaterial mit großer Bandlücke, das auf der hexagonalen Kristallstruktur (4H-Polytyp) basiert und für semi-isolierende Eigenschaften (Resistivität ≥1×10⁷ Ω·cm) entwickelt wurde. Hergestellt durch physikalische Dampfabscheidung (PVT) oder Flüssigphasenepitaxie (LPE), bietet es eine 3,26 eV breite Bandlücke, ein 3,5 MV/cm Durchbruchfeld, eine 4,9 W/cm·K Wärmeleitfähigkeit und Hochfrequenz-Low-Loss-Eigenschaften, was es ideal für Anwendungen in extremen Umgebungen wie 5G-Kommunikation, HF-Geräte und Luft- und Raumfahrtelektronik macht. Im Vergleich zu Materialien auf Siliziumbasis bietet es eine 10× höhere Durchbruchfeldstärke und eine 3× höhere Wärmeleitfähigkeit, was einen stabilen Betrieb von -200°C bis 1.600°C ermöglicht und als optimales Substrat für Hochspannungs-, Hochfrequenz- und Hochleistungsgeräte dient.
1. Elektrische Leistung
Breite Bandlücke (3,26 eV): 6-Zoll 4H-SEMI SiC-Substrat hält Spannungen von über 10 kV stand und eignet sich für Hochspannungsszenarien wie intelligente Stromnetze und EV-Wechselrichter.
Hohes Durchbruchfeld (3,5 MV/cm): 10× höher als Silizium, wodurch der Leckstrom minimiert und die Zuverlässigkeit erhöht wird.
Hohe Elektronenmobilität (900 cm²/V·s): 6-Zoll 4H-SEMI SiC-Substrat optimiert die Schaltgeschwindigkeit in HF-Geräten und reduziert die Verlustleistung.
2. Thermische und mechanische Eigenschaften
Hohe Wärmeleitfähigkeit (4,9 W/cm·K): 3× bessere Wärmeableitung als Silizium, unterstützt extreme Temperaturen (-200°C bis 1.600°C).
Hohe Härte (Mohs 9,2): 6-Zoll 4H-SEMI SiC-Substrat ist verschleißfest und mit Präzisionsprozessen wie CMP und Trockenätzen kompatibel.
3. Prozesskompatibilität
Geringe Mikropipetendichte (<1 cm⁻²): 6-Zoll 4H-SEMI SiC-Substrat minimiert Gitterdefekte für eine überlegene Qualität der Epitaxieschicht.
Oberflächenebenheit (Ra <0,2 nm): 6-Zoll 4H-SEMI SiC-Substrat gewährleistet die Kompatibilität mit Lithographie und Dünnschichtabscheidung.
1. 5G-Kommunikation & HF-Geräte
2. Elektrofahrzeuge (EVs)
3. Luft- und Raumfahrt & Verteidigung
4. Industrie- und Energiesysteme
Kristallparameter | |
Typ | 4H |
Brechungsindex a | >2,6 @550nm |
Absorptionsvermögen a | ≤0,5% @450-650nm |
MP-Transmission a (ohne Antireflexionsbedingungen) |
≥66,5% |
Trübung a | ≤0,3% |
Polymorphismus a | Keine zulässig |
Mikroröhrendichte | ≤0,5/cm² |
Hexagonale Leerdichte | Keine zulässig |
Verunreinigungskorn auf hexagonal a | Keine zulässig |
MP-Einschluss a | Keine zulässig |
Mechanische Parameter | |
Durchmesser (Zoll) | 6 |
Oberflächenorientierung | (0001)±0,3° |
Kerbbezugskante | Kerbe |
Kerbausrichtung | <1-100>±2° |
Kerbwinkel | 90±5°/1° |
Kerbtiefe | 1 mm ±0,25 mm (-0 mm) |
Oberflächenbehandlung | C-Si-Seite (CMP) |
Waferkante | Fase |
Oberflächenrauheit (AFM) | Ra≤0,2 nm (5×5 µm Scanbereich) |
Dicke a (Tropel) | 500,0 µm ±25,0 µm |
LTV (Tropel) | ≤2 µm |
TTV a (Tropel) | ≤3 µm |
Durchbiegung a (Tropel) | ≤5 µm |
Verzug a (Tropel) | <15 µm |
Q1: Was ist der Hauptunterschied zwischen N-Typ und semi-isolierenden 4H-SiC-Substraten?
A1:N-Typ-Substrate (dotiert mit Stickstoff) werden für Leistungsbauelemente (z. B. MOSFETs, Dioden) verwendet, die eine hohe Elektronenmobilität erfordern, während semi-isolierende Substrate (hoher Widerstand) ideal für HF-Geräte (z. B. GaN-on-SiC) sind, um parasitäre Kapazitäten zu minimieren.
Q2: Was sind die wichtigsten technischen Herausforderungen bei der Herstellung von 6-Zoll 4H-SEMI SiC-Substraten?
A2: Zu den wichtigsten Herausforderungen gehören die Reduzierung der Mikropipetendichte auf <0,5 cm⁻², die Kontrolle von Versetzungsdefekten und die Verbesserung der Gleichmäßigkeit des spezifischen Widerstands bei gleichzeitiger Senkung der Produktionskosten, um die Massenverbreitung in der Leistungselektronik zu beschleunigen.
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