Orientierung: | C-Achse (0001) bis A ((11-20) 5° ab | Matarial: | 99.999% Saphirkristall |
---|---|---|---|
TTV: | <15um> | Verbeugen: | <50um> |
Polstert: | dsp oder ssp | Durchmesser: | Individualisiert |
Hervorheben: | 3'' Saphirwafer Al2O3,Saphirwafer Al2O3 |
Saphirwafer Off-C-Achse in Richtung M-Ebene8°- Ich weiß nicht.2O₃, Durchmesser 2 "/3"/4"/6"/8", individuelle Dicke
Das hier.mit einer Breite von mehr als 20 mm,Ausstattung° ausC-Achse zur Orientierung der Ebene Mund99Reinheit von 0,999% (5N), optimiert für ein überlegenes epitaxielles Wachstum in fortschrittlichen optoelektronischen und Halbleiteranwendungen.Standarddurchmesser (2" bis 8")Mit anpassbaren Dicken bietet es eine außergewöhnliche kristallographische Einheitlichkeit, eine extrem geringe Defektdichte und eine hervorragende thermische/chemische Stabilität.Der kontrollierte 1° Off-Cut-Winkel erhöht die GaN- und AlN-Epitaxie durch Verringerung von Schritt-Bunching-Defekten, so dass es für Hochleistungs-LEDs, Laserdioden, Leistungselektronik und HF-Geräte ideal ist.
Wesentliche Merkmale der Saphirwafer
Präzisionsorientierung außerhalb des Schnitts
8° abC-Achse zur Ebene M, entwickelt, um die Epitaxialfilm-Einheitlichkeit zu verbessern und Defekte in GaN-basierten Geräten zu minimieren.
Ultra-hohe Reinheit (5N Al)2O3)
990,999% Reinheitmit Spurenverunreinigungen (Fe, Ti, Si) < 5 ppm, die eine optimale elektrische und optische Leistung gewährleisten.
Durchmesser:2", 3", 4", 6", 8" (Toleranz von ± 0,1 mm).
Stärke:mit einem Durchmesser von mehr als 20 μm,
spezifische Anwendungen.
Epi-bereite Poliermittel: Ra < 0,5 nm (Vorderseite) für defektfreie Dünnschichtdeposition.
Wärmestabilität:Schmelzpunkt ~ 2,050°C, geeignet für
Hochtemperaturprozesse (MOCVD, MBE).
Optische Transparenz:Übertragung von > 85% (UV bis mittlerer IR: 250 nm ∼ 5.000 nm).
Mechanische Robustheit: 9 Mohs-Härte, resistent gegen chemische Ätze und Abrieb.
Anwendungen von Saphirwafer
Optoelektronik
LEDs/Laserdioden auf GaN-Basis: Blaue/UV-LED, Mikro-LED und VCSEL.
Hochleistungslaserfenster: CO2- und Exzimerlaserkomponenten.
Leistungs- und HF-Elektronik
HEMT (Transistoren mit hoher Elektronenmobilität): 5G/6G Leistungsverstärker und Radarsysteme.
Schottky-Dioden und MOSFETs: Hochspannungsgeräte für Elektrofahrzeuge.
Industrie und Verteidigung
IR-Fenster und Raketenkuppeln: Hohe Transparenz in rauen Umgebungen.
mit einer Leistung von mehr als 10 W: Korrosionsbeständige Abdeckungen für die industrielle Überwachung.
Quanten- und Forschungstechnologien
Substrate für supraleitende Qubits(Quantenrechner).
SPDC-Kristalle (spontane parametrische Abwärtskonversion)für die Quantenoptik.
Halbleiter und MEMS
mit einer Breite von nicht mehr als 20 mm,für fortschrittliche Schaltungen.
MEMS-Drucksensorenchemische Trägheit erfordern.
Spezifikationen
Parameter |
Wert |
---|---|
Durchmesser | 2", 3", 4", 6", 8" (± 0,1 mm) |
Stärke | Zusammengestellte (100 ‰ 1500 μm ± 5 μm) |
Orientierung | abseits der C-Achse in Richtung M-Ebene 8° |
Reinheit | 990,999% (5N Al2O3) |
Oberflächenrauheit (Ra) | < 0,5 nm (epi-bereit) |
Ausrutschdichte | < 500 cm2 |
TTV (Gesamtdickenvariation) | < 10 μm |
Bogen/Warn | < 15 μm |
Optische Transparenz | 250 ‰ 5.000 nm (> 85%) |
Fragen und Antworten
Q1: Kann ich einen anderen Schnittwinkel verlangen (z. B. 0,5° oder 2°)?
A2: - Ja, das ist es.Ein spezifischer Abschnittwinkel ist mit einer Toleranz von ± 0,1° erhältlich.
F2: Wie groß ist die maximale verfügbare Dicke?
A6:Bis zu1,500 μm (1,5 mm)für die mechanische Stabilität bei Hochspannungsanwendungen.
F3: Wie sollten Wafer aufbewahrt werden, um eine Kontamination zu vermeiden?
A10:AufbewahrenKassetten, die für Reinräume geeignet sindoder Stickstoffschränke (20°C bis 25°C, Luftfeuchtigkeit < 40%).
Ansprechpartner: Mr. Wang
Telefon: +8615801942596