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Quarzboote für die Halbleiterverarbeitung

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December 11, 2025
Kategorieverbindung: Fixierter Quarz-Platte
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Umbauten:
#Quarzsubstrat #optisches Fenster des Quarzes #Oblate des fixierten Silikons
Memorandum: Unser Team führt Sie durch die Leistung von kundenspezifischen Quarzbooten in gängigen Halbleiterprozessen. Dieses Video demonstriert ihren Einsatz zur sicheren Aufnahme von Siliziumwafern während Hochtemperaturprozessen wie Diffusion, Oxidation und CVD. Sie sehen die Präzisionstechnik, die Anpassungsmöglichkeiten und die wichtigsten Merkmale, die diese Quarzboote für Reinraumumgebungen unverzichtbar machen.
Zugehörige Produktmerkmale:
  • Hergestellt aus hochreinem geschmolzenem Quarz (SiO2) mit 99,99% Reinheit für minimale Kontamination.
  • Widerstandsfähig gegen extreme Temperaturen bis zu 1200 °C ohne Verformung oder Abbau.
  • Inert gegenüber den meisten Chemikalien und gewährleistet keine Kontamination bei hohen Temperaturen.
  • Eine geringe Wärmeausdehnung sorgt für Formstabilität bei schnellen Temperaturschwankungen.
  • Erhältlich in Standard- oder kundenspezifischen Größen mit verschiedenen Schlitzgeometrien und Hakendesigns.
  • Entwickelt für Langlebigkeit und Leistung in Halbleiter- und chemischen Verarbeitungsanwendungen.
  • Kompatibel mit verschiedenen Ofentypen und automatisierungsbereit für Roboter-Wafer-Handlingsysteme.
  • Bietet eine außergewöhnliche Temperaturwechselbeständigkeit und verhindert Risse bei schnellen Temperaturschwankungen.
FAQ:
  • Können Quarzboote wiederverwendet werden?
    Ja, bei richtiger Reinigung und Wartung können Quarzboote ohne Leistungseinbußen mehrfach wiederverwendet werden.
  • Wie sollten Quarzboote gereinigt werden?
    Quarzboote sollten unter Einhaltung der Reinraumstandards mit Säurebädern oder Ultraschallreinigungsverfahren gereinigt werden, wobei plötzliche Temperaturschwankungen während der Reinigung zu vermeiden sind.
  • Sind Quarzschiffchen mit allen Ofentypen kompatibel?
    Ja, Quarzboote sind mit den meisten horizontalen und vertikalen Ofensystemen kompatibel, die in der Halbleiter- und Photovoltaikverarbeitung verwendet werden.
  • Welche Größen sind für Sonderanfertigungen verfügbar?
    Quarzboote sind in Standardgrößen für 100-mm-, 150-mm-, 200-mm- und 300-mm-Wafer erhältlich. Für spezielle Anwendungen sind zusätzliche Anpassungen möglich.
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