1- bis 6-Zoll-Einzelwaferkassetten bieten professionelle Lösungen für die Waferlagerung und -übertragung in der Halbleiterfertigung. Die 1-Zoll-Kassette eignet sich für Forschung und Entwicklung im Labor für GaAs-Materialien, die 2-Zoll-Kassette für die LED/MEMS-Verarbeitung, die 3-Zoll-Kassette für SiC/GaN-Leistungsbauelemente, die 4-Zoll-Kassette für Mainstream-Silizium-Halbleiter und die 6-Zoll-Kassette unterstützt die fortschrittliche IC-Produktion. Alle Größen erfüllen die SEMI-Standards für eine zuverlässige Übertragung in Reinraumumgebungen.
Memorandum: Entdecken Sie die 1 Zoll, 2 Zoll, 3 Zoll, 4 Zoll und 6 Zoll Single Wafer Cassette Wafer Carrier, wesentlich für die Halbleiterherstellung, Forschung und Entwicklung und Logistik.Verunreinigungsfreie Umgebungen, und die Kompatibilität mit automatisierten Systemen gewährleisten.
Zugehörige Produktmerkmale:
Antistatische Materialien wie PP, PC oder ESD-modifizierte Kunststoffe verhindern Schäden durch elektrostatische Entladung.
Hohe Transparenz ermöglicht die visuelle Inspektion von Wafern, ohne die Kassette zu öffnen.
Chemikalienbeständige Materialien wie PP und PFA halten hohen Temperaturen und ultra-höheren Reinheitsbedingungen stand.
Modulare Bauweisen ermöglichen eine Anpassung der Größe an unterschiedliche Waferdicken.
Integrierte Dichtungen und gefilterte Lüftungsöffnungen sorgen für die Reinheit nach ISO 14644 Klasse 1.
Die leichte Konstruktion unterstützt das Stapeln und die robotische Handhabung für eine optimierte Lagerung.
Eingebettete RFID-Tags und Umweltsensoren ermöglichen die Echtzeitverfolgung und Datenerfassung.
Standardisierte Schnittstellen sorgen für eine nahtlose Integration mit AMHS und Roboterarmen.
FAQ:
Welche Materialien eignen sich am besten für 1-Zoll- bis 6-Zoll-Waferkassetten?
PP (kostengünstig), PFA (hochreine/chemische Beständigkeit) und leitfähige PP (ESD-sicher) sind Standard, wobei Aluminium für Anwendungen bei hohen Temperaturen verwendet wird.
Unterstützen 4-Zoll-Waferträger die Automatisierung?
Ja, 4-Zoll-Kassetten mit AMHS-Kompatibilität und heliumdichten Dichtungen werden in automatisierten Halbleiter-Arbeitsflüssen weit verbreitet.
Was sind die Hauptanwendungen dieser Waferkassetten?
Sie werden in der Halbleiterfertigung, in Forschungs- und Entwicklungslaboren sowie in der Lieferkettenlogistik für die Waferbearbeitung, -lagerung und -transport eingesetzt.