Saphirröhre:Präzisions-Sekundärbearbeitung Fähigkeit Breitspektrum hohe Durchlässigkeit

Produktübersicht

   Saphirröhrchen sind röhrenförmige Einzelkristallkomponenten, die aus hochreinem synthetischem Einkristallalumin (α-Al2O3) hergestellt werden.Einkristalline Ingots werden durch Verfahren wie die Kyropoulos-Methode und Edge-defined Film-fed Growth (EFG) angebaut, und anschließend durch mehrere Verfahren verarbeitet, einschließlich Präzisionsschnitten, inner-/außenzylindrischem Schleifen und Polerieren der Endfläche.Sie erben alle hervorragenden Eigenschaften von Saphir-Einkristallmaterialien und integrieren fünf Hauptvorteile: hohe Temperaturbeständigkeit, hohe Härte, starke Korrosionsbeständigkeit,hohe elektrische Isolierung und Lichtübertragung mit breitem SpektrumSie können lange unter extremen Arbeitsbedingungen wie hoher Temperatur, hohem Druck, starker Korrosion und Plasmabombardement stabil arbeiten.mit einer Breite von mehr als 20 mm,, Borosilikatglasröhren und gewöhnliche Keramikröhren. Sie werden weit verbreitet in Halbleitern, Hochtemperaturindustrie, optischen Lasern, chemischen Flüssigkeiten,Instrumente für wissenschaftliche Forschung und andere BereicheDie Produkte unterstützen die volldimensionale Anpassung und die Sekundärpräzisionsbearbeitung und entsprechen den Installationsschnittstellen und Prozessanforderungen verschiedener Geräte.

Kerntechnische Merkmale

1.Hochreines Einkristallmaterialsystem

Einzelkristalle werden aus hochreinem Aluminiumoxid-Rohstoff von 4N5-Klasse (99,995%) und höher mit einer hexagonalen α-Phasenkristallstruktur hergestellt.Poren- und VerunreinigungstrennungDie Kristallintegrität und Gleichförmigkeit sind weit überlegen gegenüber polykristallinen Keramik- und Glasröhren und gewährleisten eine langfristige Leistungsstabilität unter extremen Arbeitsbedingungen.

2.Ultra-hohe Temperatur und Wärmeschlagbeständigkeit

Das Material hat einen Schmelzpunkt von bis zu 2050°C, eine langfristige Dauerarbeitstemperatur von bis zu 1600°C und eine kurzfristige Hochtemperaturverträglichkeit von 1900°C.Sein Wärmeausdehnungskoeffizient beträgt nur 5.8×10−6/°C, viel niedriger als gewöhnliches Glas, und es kann starken thermischen Schock ohne Riss widerstehen.mit einer Breite von mehr als 20 mm,.

3.Ultra-hohe mechanische Festigkeit und Verschleißfestigkeit

Mit einer Mohs-Härte von 9, nur hinter dem Diamanten, hat es eine Biegefestigkeit von ca. 400 MPa und eine Druckfestigkeit von ca. 2000 MPa.Verschleiß- und Kratzfestigkeit, und kann Hochdruck-Flüssigkeitsspülung und Hochgeschwindigkeits-Luftströmungs-Erosion standhalten.und seine Lebensdauer ist mehrmals so lang wie bei Quarzrohr.

4.Stärke chemische Trägheit und Korrosionsbeständigkeit

Es ist bei Raumtemperatur in allen starken Säuren, Alkalien und organischen Lösungsmitteln nahezu unlöslich und kann nur langsam durch Fluorwasserstoffsäure und heiße Phosphorsäure korrodiert werden.Es kann schwierigen Prozessumgebungen wie Plasma-Ätzen und Dampfdeposition bei der Halbleiterherstellung standhalten, ohne Partikelverlust und Materialalterung, wodurch die Prozessreinheit und der Produktertrag gewährleistet werden.

5.Exzellente Isolierung und dielektrische Eigenschaften

    Mit einer Raumtemperaturwiderstandsfähigkeit von mehr als 1014 Ω·cm weist es eine ausgezeichnete elektrische Isolierung, eine stabile Dielektrikkonstante und einen extrem geringen Dielektrikverlust auf.Es kann eine zuverlässige elektrische Isolierung unter Hochspannungs- und Hochfrequenzbedingungen ohne Leckage erreichen, Funken und Signalstörungen, und eignet sich für HF-Plasma, Hochspannung, Mikrowellen und andere Szenarien.

6.Optische Leistung mit hoher Übertragbarkeit im Breitspektrum

Es hat eine hohe Lichtdurchlässigkeit in einem breiten Band von 190 nm Ultraviolett bis 4,5 μm mittleres Infrarot, und die Sichtlichtdurchlässigkeit kann mehr als 85% erreichen.Optische Rohre können Spiegelpolierung sowohl an den Innen- als auch an den Außenwänden erreichen, und die Lichtübertragungseffizienz kann durch antireflexive Beschichtungen weiter verbessert werden.mit einer Leistung von mehr als 50 W und mit einer Leistung von mehr als 50 W.

7.Vollparameter-Anpassung und Präzisionsbearbeitung

Es wird eine volldimensionale Anpassung von Außendurchmesser, Innendurchmesser, Wanddicke und Länge unterstützt.Schleifen und Flanschrohre können verarbeitet werden. Sekundäre Verarbeitung wie Spiegelpolieren, inner-/außenflächige feine Zylinderschleifen, Schrägen,Präzisionsbohrungen und Oberflächenmusterungen können durchgeführt werden, um die Anforderungen an die Ausrüstungsanlage genau zu erfüllen.

8Versiegelungsanordnung und Systemkompatibilität

Es ist möglich, Saphirröhrchen mit Metallgehäuse und Keramikbasis hochpräzise zu versiegeln. Unterstützende Komponenten wie kundenspezifische Flansche,Versiegelungsschnittstellen und Positionierungsstrukturen sind verfügbarDie Fertigprodukte können direkt mit Rohrleitungssystemen mit zuverlässigen Dichtungsleistungen verbunden werden, die den Dichtungsanforderungen bei hohem Vakuum entsprechen.Gaslieferung unter hohem Druck und hoher Reinheit.

Standardspezifikationen

Typische Anwendungen

1. Halbleiterfeld: Plasmageneratorröhren, Reaktionskammer-Linerröhren, Prozessgaslieferröhren, Schutzröhren für Ätzeinrichtungen, Prozessleitungen zur Reinigung von Halbleitern
2. Hochtemperaturindustrie: Rohröfen, Hochtemperatur-Sinterschutzrohre, Thermoelementenschutzhülsen, Einzelkristallöfen, metallurgische Hochtemperaturbeobachtungsrohre
3. Optisches Laserfeld: Festkörperlaser-Hohlraumröhren, Laser-Blitzschutzröhren, optische Detektionsstromzellen, UV/IR-optische Fensterröhren, Spektrometerprobenröhren
4. Chemische Flüssigkeitsfeld: Hochkorrosive Flüssigkeitsleitungen, chemische Reaktionsleitungen, Medienleitungen mit hoher Reinheit, Hochdruckflüssigkeitsbeobachtungsleitungen
5. Wissenschaftliche Forschung und medizinische Forschung: Labor-Hochtemperaturreaktionsröhren, biomedizinische Beobachtungsröhren, Verpackungsröhren für MEMS-Geräte, Fensterröhren zur Erkennung von Kernstrahlung

Qualitätskontrolle

Ein Qualitätssicherungssystem für Halbleiter wird eingerichtet, wobei jedes Saphirrohr einer strengen mehrdimensionalen Prüfung unterzogen wird.und ein vollständiges Analysezertifikat (COA) vorgelegt werden kannZu den wichtigsten Kontrollpunkten gehören: Durchmesserprüfung der Außendurchmesser und der Wandstärke, Koaxialitäts- und Geradheitskalibrierung, visuelle Fehlerprüfung des gesamten Rohres (Kratzer,Kantensplitterung, Blasen, Verunreinigungen), Oberflächenrauheit und Oberflächenbearbeitung, Druckwiderstands- und Luftdichtheitstests, optische Durchlässigkeitsprobenaufnahme,Überprüfung der Sauberkeit und Staubfreiheit der Verpackungen, um genaue Produktparameter und eine stabile Leistung zu gewährleisten, um die

die Anforderungen an hochwertige industrielle und wissenschaftliche Forschungs-Szenarien.

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