Saphir-Applikatorröhrchen sind spezielle Komponenten, die in Halbleiterplasma- und Prozessgeräten verwendet werden, bei denen das Rohr Mikrowellen- oder HF-Energie, reaktive Prozessgase,erhöhte Temperaturen und Plasma-generierte Spezies.

In Remote-Plasmasystemen kann Prozessgas durch ein Applikatorrohr gelangen, während Mikrowellenenergie in den Applikatorbereich gekoppelt wird, um reaktive Plasmaspezies zu erzeugen.Saphir eignet sich besonders für diese Art von Anwendungen aufgrund seiner Kombination aus thermischer Stabilität, elektrische Isolierung, chemische Widerstandsfähigkeit und Mikrowellen-/HF-Übertragungsmerkmale.

Unsere Saphir-Applikatorröhren können als einzelne Röhren oder als komplette Baugruppen mit Präzisionsmetallgehäusen, Gewindeanschlüssen,mit einer Breite von mehr als 20 mm, jedoch nicht mehr als 30 mm.

Das hier gezeigte Produkt kombiniert ein hochpräzises Saphirrohr mit einer bearbeiteten Metallmontageanlage und ist als Ersatzteil oder individuell angepasste Komponente für Halbleiterprozessgeräte zu verwenden.

Wesentliche Merkmale

Hochreines Saphirmaterial

Das Applikatorrohr ist aus synthetischem Saphir hergestellt und eignet sich für anspruchsvolle Umgebungen mit Halbleitergeräten.

Saphir bietet eine hervorragende Beständigkeit gegen hohe Temperaturen, Plasmabelastung und chemisch aggressive Prozessbedingungen und beibehält gleichzeitig eine hohe mechanische Festigkeit.

Für Plasmaanwendungen geeignet

Saphirröhrchen werden in der Halbleiterverarbeitung weit verbreitet, einschließlich Plasma-Applikatorröhren, Plasma-Containmentröhren,Prozessgas-Injektorkomponenten und zugehörige Plasmagenerationssysteme.

Mikrowellen- und HF-kompatibel

Saphir bietet ausgezeichnete dielektrische Eigenschaften und eine hohe Übertragungsfähigkeit für HF/Mikrowellen, was ihn für Komponenten geeignet macht, die in Mikrowellen- oder Remote-Plasmaerzeugungssystemen platziert sind.

Herstellung von Präzisionsröhren

Die Rohrdimensionen können nach den Anforderungen des Kunden gesteuert werden, einschließlich:

• Außendurchmesser
• Innerer Durchmesser
• Wandstärke
• Gesamtlänge
• Endgeometrie
• Schulterstruktur
• Grabenentwurf
• Oberflächenveredelung
• Montageoberfläche

Saphir + Metallkonstruktion

Neben der Herstellung von Saphirröhren können wir auch integrierte Baugruppen mit bearbeiteten Metallkomponenten liefern.

Zu den verfügbaren Dienstleistungen gehören:

• Präzisions-Metallgehäuse
• mit einer Breite von mehr als 50 mm
• Innere Befestigungsstrukturen
• mit einer Breite von nicht mehr als 15 mm
• Flanken
• Versiegelungsschnittstellen
• mit einer Breite von nicht mehr als 20 mm
• Herstellung von Ersatzteilen

Ersatzteile nach Maß

Wir unterstützen kundenspezifische Teile von Halbleitergeräten nach:

• Zeichnungen der Kunden
• Originalproben
• Abmessungen der Ausrüstung
• Bestehende Komponentenspezifikationen
• OEM-Referenznummern
• Anforderungen an das Reverse Engineering

Dadurch eignet sich das Produkt für Wartungs-, Ersatz- und Lokalisierungsprojekte von Halbleitergeräten.

Typische Anwendungen

Saphir-Applikatorröhren können in Ausrüstungen und Verfahren wie:

• Remote-Plasma-Quellsysteme
• Plasmakammerreinigung
• Erzeugung von Mikrowellenplasma
• Halbleiter-CVD-Ausrüstung
• PECVD-Ausrüstung
• HDP-CVD-Geräte
• Ausrüstung für die Plasma-Ätzung
• Systeme zur Trockeneitung
• Versorgung mit Prozessgas
• Anlagen zur Aktivierung von Plasmagas
• Ersatzteile für Halbleitergeräte

Saphirröhrchen werden bereits kommerziell für Halbleiter-Plasma-Applikatoren, Plasma-Einschränkungen und Prozessgas-Injektoranwendungen verwendet.

Produktspezifikationen

Anmerkung: Die Abmessungen und Baukörper werden nach der Ausrüstung, der Zeichnung oder der vorhandenen Probe des Kunden hergestellt.

Warum Saphir für Plasma-Applikatorröhrchen verwenden?

Die Applikatorröhre befindet sich in einem der anspruchsvollsten Bereiche eines Plasmagenerationssystems.

Abhängig von der Ausrüstung kann das Rohr gleichzeitig auf reaktive Gase, energetische Plasmaspezies, Mikrowellenenergie und erhöhte Temperaturen stoßen.

Im Vergleich zu herkömmlichen Glasmaterialien bietet Saphir eine Kombination aus:

• Hochtemperaturbeständigkeit
• Hohe mechanische Festigkeit
• Ausgezeichnete chemische Stabilität
• Plasmawiderstand
• Gute dielektrische Eigenschaften
• Mikrowellen- und HF-Übertragung
• Langzeitdienstleistungspotenzial in anspruchsvollen Prozessumgebungen

Aus diesem Grund ist Saphir zu einem wichtigen technischen Werkstoff für Plasma-Applikatorröhren und andere Bauteile von Halbleiterprozessgeräten geworden.

Herstellung von Saphir-Applikatorröhren

Wir produzieren Saphirkomponenten für Halbleitergeräte mit Schwerpunkt auf kundenspezifischen Anwendungen.

Anstatt die Kunden auf Standardrohrmaße zu beschränken, können wir Teile nach den tatsächlichen Anforderungen an die Prozessgeräte herstellen.

Zu den Anpassungsmöglichkeiten gehören:

Saphirröhre

• Überdosierung und Identifizierung
• Rohrlänge
• Wandstärke
• Rohrenden
• Schritte und Schultern
• Schlitze und Rillen
• Oberflächenrauheit
• Anforderungen an das Polieren

Metallkomponenten

• Abmessungen des Gehäuses
• Spezifikationen für Gewinde
• Montageoberflächen
• Flanken
• mit einem Durchmesser von mehr als 20 mm
• Verbindungsstrukturen

Versammlung

Saphirröhren können auch mit entsprechenden Metallkomponenten als zusammengebaute Teile von Halbleitergeräten geliefert werden.

Ersatz- und Umkehrtechnikdienst

Für nicht mehr hergestellte, schwer zu beschaffende oder maßgeschneiderte Teile von Halbleitergeräten können die Kunden uns Folgendes zusenden:

1. Nummer des Originalgeräteteils
2. Technische Zeichnung
3. Fotos
4. Gebrauchte oder neue Probe
5. Kritische Abmessungen
6. Modell der Ausrüstung
7. Anwendungsdaten

Unser Ingenieurteam kann die Struktur und Fertigungsmöglichkeit vor dem Angebot bewerten.

Bei Teilen, die als Alternativen zu bestehenden Ausrüstungskomponenten hergestellt werden, sollte die endgültige Kompatibilität immer anhand der Ausrüstungskonfiguration und technischen Spezifikationen des Kunden bestätigt werden.

Qualitätskontrolle

Abhängig von den Kundenanforderungen kann die Inspektion Folgendes umfassen:

• Abmessungskontrollen
• OD / ID-Inspektion
• Messung der Wanddicke
• Längenkontrolle
• Oberflächenkontrolle
• Überprüfung der Gewinde
• Inspektion der Montage
• Sichtfehlerprüfung
• Inspektion der Verpackungen

Inspektionsberichte können je nach Projektanforderungen erstellt werden.

Welche Informationen sollten Sie für ein Angebot senden?

Für ein schnelleres Angebot:

• Zeichnung des Produkts
• Saphirröhre OD
• Identifizierung des Saphirrohrs
• Rohrlänge
• Wandstärke
• Oberflächenveredelung
• Metallgehäuse
• Spezifikationen für Gewinde
• Marke/Modell der Ausrüstung
• OEM-Teilnummer, falls vorhanden
• Notwendige Menge
• Anwendung oder Prozessumgebung

Wenn keine Zeichnung vorhanden ist, senden Sie bitte klare Fotos und eine physische Probe zur Bewertung.

Häufig gestellte Fragen

Wofür wird ein Saphir-Applikator-Rohr verwendet?

Ein Saphir-Applikatorrohr wird üblicherweise in Halbleiter-Plasma-Geräten verwendet, insbesondere in der Plasmageneration, der Remote-Plasma-Reinigung und bei Prozessgas-Aktivierungssystemen.

Können Sie die komplette Applikatorröhre herstellen?

Neben Saphirröhren können nach Zeichnungen oder Mustern auch kundenspezifische Metallgehäuse, Gewinde und mechanische Bauteile hergestellt werden.

Können Sie Ersatzteile für bestehende Halbleitergeräte herstellen?

Ja, wir unterstützen die Zeichnungs- und Musterfertigung für Ersatzteile von Halbleitergeräten.Informationen über Proben und Ausrüstung für die Bewertung.

Können die Saphirrohrmaße angepasst werden?

Ja, Außendurchmesser, Innendurchmesser, Länge, Wanddicke, Rohrende Geometrie und Oberflächenveredelung können alle angepasst werden.

Bieten Sie kleine Mengen an?

Prototypen, Wartungsarbeiten und Projekte für Halbleitergeräte in kleinen Chargen können anhand der erforderlichen Abmessungen und der Herstellungsschwierigkeit bewertet werden.