Quarzboote für die Halbleiterverarbeitung

Produktübersicht:

Unsere Custom Design Quarz Boots sind präzise konstruiert, um die strengen Anforderungen der Halbleiter- und Chemieindustrie zu erfüllen.mit einer Breite von mehr als 20 mm,, Substrate oder andere Materialien durch Hochtemperaturprozesse wie Diffusion, Oxidation und chemische Dampfdeposition (CVD).und geringe thermische Ausdehnung machen es zum idealen Material für Hochleistungsanwendungen in Reinraumumgebungen.

Wir bieten mehr als 50 Arten und Variationen von Quarzbooten an, einschließlich maßgeschneiderter Designs, die den spezifischen Prozessanforderungen entsprechen.Unsere Quarzboote sind für Langlebigkeit und Leistung ausgelegt.Darüber hinaus bieten wir Reparaturdienstleistungen, einschließlich Brandreparatur, um die Lebensdauer Ihrer Quarzkomponenten zu verlängern.

Die Quarzmaterialspezifikationen:

Hauptmerkmale:

• Material: Hochreines geschmolzenes Quarz (SiO2)

• Reinheit: 99,99% für eine minimale Kontamination

• Wärmewiderstand: Widerstandsfähig gegen extreme Temperaturen bis zu 1200°C ohne Verformung oder Zerfall

• Chemische Resistenz: Inert gegenüber den meisten Chemikalien und gewährleistet keine Kontamination bei Hochtemperaturverfahren

• Niedrige thermische Expansion: Sicherstellung der Dimensionsstabilität bei schnellen Temperaturschwankungen

• Anpassung: Erhältlich in Standard- oder individuellen Größen (z. B. 4" Wafer oder individuell angepasste Größen)

• Funktion des Hakens: Erhältlich mit einem Haken an einem Ende für das einfache Einfügen und Entfernen der Wafer aus den Öfen

Anwendungen:

1. Herstellung von Halbleitern: hält und transportiert Siliziumwafer während kritischer Prozesse wie Diffusion, Oxidation und chemische Dampfdeposition (CVD).

2. Produktion von Solarzellen: unerlässlich für die Herstellung von Photovoltaikzellen zur Verarbeitung von Siliziumwafern, einschließlich Doping und Oxidation.

3. Forschung und Entwicklung: Ideal für akademische und industrielle Labore, wo hohe Reinheit und hohe Temperaturen erforderlich sind.

4. Chemische Verarbeitung: geeignet für den Einsatz in chemischen Verarbeitungsindustrien, in denen eine hohe thermische und chemische Stabilität erforderlich ist.

Entwurfsvariationen:

• Schleifen mit Rillen: Verschiedene Schlittengrößen für Wafer unterschiedlicher Dicke, mit individuellen Schlittenkonfigurationen.

• Geometrie: U-Typ, V-Typ oder andere individuell angepasste Formen, die Ihren Prozessanforderungen entsprechen.

• Konstruktion des Hakens: Ausgestattet mit Haken für das einfache Ein- und Entfernen von Wafern in Öfen.

• Größen: Standardgrößen für 100mm, 150mm, 200mm und 300mm Wafer.

Vorteile von Quarzbooten:

• Außergewöhnliche thermische Stabilität: Beständig bei Temperaturen über 1000°C, ideal für Hochtemperaturverfahren wie Diffusion und Glühen.

• Ultra-hohe Reinheit: Die niedrigen Verunreinigungswerte von Quarz sorgen für eine minimale Kontamination, die für die fortgeschrittene Halbleiterproduktion besonders wichtig ist.

• Dimensionelle Präzision: Die geringe thermische Ausdehnung des Quarzes sorgt dafür, daß das Boot seine Form und Ausrichtung bei Temperaturschwankungen beibehält.

• Vielseitigkeit: Kompatibel mit verschiedenen Halbleiterverfahren, einschließlich LPCVD, Oxidation und Glühen.

• Automatisierungsbereit: präzise konstruiert, um sich nahtlos in robotergestützte Wafer-Handhabungssysteme zu integrieren, wodurch die Risiken für die manuelle Handhabung minimiert werden.

Quarzboot FAQ:

F1: Können Quarzboote wiederverwendet werden?
Ja, wenn Quarzboote ordnungsgemäß gereinigt und gewartet werden, können sie mehrfach wiederverwendet werden, ohne dabei die Leistung zu beeinträchtigen.

F2: Wie sollten Quarzboote gereinigt werden?
Quarzboote sollten mit Säurebädern oder Ultraschallreinigungsmethoden gemäß den Standards der Reinräume gereinigt werden.

F3: Sind Quarzboote mit allen Ofenarten kompatibel?
Ja, Quarzboote sind kompatibel mit den meisten horizontalen und vertikalen Ofensystemen, die in der Halbleiter- und Photovoltaikverarbeitung verwendet werden.

F4: Welche Größen sind für kundenspezifische Bestellungen erhältlich?
Quarzboote sind in Standardgrößen für 100 mm, 150 mm, 200 mm und 300 mm Wafer erhältlich, mit zusätzlicher Anpassung für spezielle Anwendungen.

Verwandte Produkte:

SiO2≥99,99% Oberflächenrauheit Ra≤0,1μm Waferträger

Bitte um ein Angebot:

Für weitere Informationen oder eine Angebotsanfrage kontaktieren Sie uns bitte. Wir werden mit Ihnen zusammenarbeiten, um die perfekte Quarzbootlösung für Ihre spezifischen Anforderungen zu entwickeln.