SiC-keramischer End-Effektor für die Waferbehandlung - korrosions- und hitzebeständig für die Halbleiterverarbeitung

Produktübersicht:

UnsereHochreine SiC-Keramik-End-Effektorist für den präzisen und zuverlässigen Umgang mit Wafern in Halbleiterherstellungsprozessen aus Siliziumkarbid (SiC)Dieser End-Effektor ist so konzipiert, dass er den extremen Bedingungen standhält, die bei der Halbleiterverarbeitung üblich sindDer SiC-End-Effektor gewährleistet durch seine außergewöhnliche thermische und chemische Beständigkeit eine höhere Leistungsfähigkeit, Sicherheit,und Langlebigkeit beim Umgang mit empfindlichen Halbleiterwafern.

Dieser Endeffektor ist für verschiedene kritische Operationen, einschließlich Wafertransport, Ätzen, Ablagerung und Prüfung, unerlässlich.und geringe Partikelproduktion, die für die Aufrechterhaltung der Integrität der Halbleitervorrichtungen während der Produktion von entscheidender Bedeutung sind.

Hauptmerkmale:

• Material:hochreines Siliziumkarbid (SiC) mit einer Reinheit von ≥ 99%

• Wärmewiderstand:Widerstandsfähig bei Temperaturen bis zu1600°C(2900°F)

• Chemische Resistenz:Ausgezeichnete Beständigkeit gegen Säuren, Basen und Plasmaumgebungen

• Mechanische Festigkeit:Beugfestigkeit > 400 MPa, mit hoher Steifigkeit und Langlebigkeit

• Niedrige Partikelproduktion:Gewährleistet die Kompatibilität von Reinräumen und verringert das Risiko einer Kontamination

• Anpassbare Größen:Erhältlich für 4", 6", 8", 12" Wafer-Handling, mit Optionen für kundenspezifische Designs und Slots für Roboterarm-Kompatibilität

• Oberflächenbearbeitung:Erhältlich in polierter oder matter Oberfläche je nach Benutzeranforderungen

• Reinraumbereich:Geeignet für den Einsatz in Reinräumen der Klasse 1­100, um eine optimale Sauberkeit in Halbleiterverarbeitungsumgebungen sicherzustellen

Anwendungen:

• Waferbehandlung: Sichere und präzise Handhabung von Halbleiterwafern in verschiedenen Fertigungsstufen

• Halbleiterverarbeitung: Ideal für Umgebungen mit hoher Temperatur und chemisch intensiver Nutzung wie Ätzen, Ablagerungen und Prüfungen

• Roboterarm-Kompatibilität: Konzipiert für eine einfache Integration mit Roboterarmen, die beim Transport und der Manipulation von Wafern verwendet werden

• Paketprüfung und Chip-Sortierung: Bietet eine zuverlässige Leistung bei Wafer-Sortierung und -Prüfung

Spezifikationen des Produkts: