| Markenbezeichnung: | ZMSH |
| Modellnummer: | JGS1 JGS2 WAFERS |
| MOQ: | 25 |
| Preis: | by case |
| Lieferzeit: | 2-4 Wochen |
| Zahlungsbedingungen: | T/t |
JGS1 JGS2 Wafer optischer Qualität Quarz Wafer 2-12 Zoll
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JGS1 und JGS2 sind beide Arten von hochreinem synthetischem Quarzglas, das hauptsächlich aus Siliziumdioxid (SiO2) besteht.Der grundlegende Unterschied zwischen ihnen liegt in ihren Herstellungsverfahren und der daraus resultierenden Reinheit und optischen Eigenschaften..
•JGS1 wird mit Hilfe der chemischen Dampfdeposition (CVD) hergestellt.1 ppm) und sehr geringer Hydroxyl (OH) -Gehalt (< 5 ppm)Dies erlaubt ihm eine außergewöhnliche Durchlässigkeit im tiefen Ultraviolett (DUV) -Spektrum (z. B. mehr als 85% Durchlässigkeit bei einer Wellenlänge von 185 nm für ein 10 mm dickes Leerlicht).es hat nur minimale innere Blasen und Streifen, die eine äußerst hohe optische Homogenität bietet.
•JGS2 wird typischerweise mit Hilfe der Wasserstoff-Sauerstoff-Flammenfusionsmethode hergestellt.1 ppm) und einen höheren Hydroxylgehalt (typischerweise 30-50 ppm)Dies führt zu einer guten Leistung vom ultravioletten (UV) bis zum nahen Infrarot (NIR) Spektrum (typischerweise > 80% Übertragbarkeit bei 220 nm Wellenlänge),aber ein signifikantes Absorptionsband im Bereich von 2600-2800 nm aufweistDie innere Struktur kann kleine Blasen, granulare Strukturen oder Rotationsstreifen enthalten.
Einfach ausgedrückt, steht JGS1 für das Streben nach höchster UV-Übertragbarkeit und ultrahoher Leistung ("hohe Reinheit"),Während JGS2 eine kostengünstigere Wahl bietet und gleichzeitig den Bedürfnissen der meisten UV- und sichtbaren Lichtanwendungen entspricht .
Für einen intuitiven Vergleich werden die Kernmerkmale von JGS1 und JGS2 in der nachstehenden Tabelle zusammengefasst.
| Charakteristische Dimension | JGS1 (weit ultraviolettes optisches Quarzglas) | JGS2 (ultraviolettes optisches Quarzglas) |
| Reichweite der optischen Übertragung |
185 nm - 2500 nm
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220 nm - 2500 nm
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| Übertragbarkeit @185nm/220nm |
> 85% @ 185 nm (10 mm Dicke)
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> 80% @ 220 nm (10 mm Dicke)
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| 2600-2800 nm Absorption |
Vorhandensein eines starken Absorptionsbandes
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Vorhandensein eines starken Absorptionsbandes
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| Metallverunreinigungsanteil |
Sehr niedrig (ca. 0,1 ppm)
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Relativ niedrig (ca. 1 ppm)
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| Hydroxyl (OH) Gehalt |
Sehr niedrig (< 5 ppm)
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Höher (30-50 ppm)
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| Innere Defekte |
Sehr wenige Blasen und Streifen, extrem hohe optische Homogenität
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Kann kleine Blasen, granulare Strukturen oder Rotationsstreifen enthalten
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| Wärmeeffizient des Brechungsindex (dn/dT) | Relativ höher |
Niedrigere (z. B. ~1,2×10−6/°C @1550nm), höhere thermische Stabilität
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| Oberflächenmikro-Rohheit | Extrem niedrig (RMS kann 0,2 nm erreichen), geeignet für die Anforderungen der λ/20-Bearbeitung | Hohe Oberflächenhydroxyldichte nach HF-Behandlung, die eine ideale Schnittstelle zur Beschichtung bietet |
| Typischer Herstellungsprozess |
Chemische Dampfdeposition (CVD)
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Wasserstoff-Sauerstoff-Flammenfusion
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Neben den wesentlichen Merkmalen der obigen Tabelle haben sie auch einige hervorragende Gemeinsamkeiten:
•Hohe Wärmebeständigkeit:Erweichtungspunkt ca. 1683°C, kann kontinuierlichen Betriebstemperaturen von 1100°C standhalten.
•Niedriger thermischer Expansionskoeffizient:Ungefähr 5,15×10−7/°C (bei 100°C), was auf eine gute thermische Stabilität hinweist.
•Gute chemische Stabilität:Widerstandsfähig gegen verschiedene Säuren und Alkalien.
•Verhältnismäßig hohe mechanische Festigkeit:Mohs-Härte von etwa 7.
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Aufgrund ihrer einzigartigen Eigenschaften werden JGS1 und JGS2 in verschiedenen High-End-Feldern verwendet.
JGS1 Anwendungen (Verfolgung ultimativer UV-Leistungen)
Aufgrund seiner extrem hohen UV-Übertragbarkeit und der sehr geringen Verunreinigungen wird JGS1 hauptsächlich in:
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JGS2 Anwendungen (Balancing Performance and Cost)
Die gute Leistung von JGS2 in der UV- bis NIR-Region gibt ihm eine breite Palette von Anwendungen:
| Mechanische Eigenschaften | |
| Dichte/g/cm3 | 2.2 |
| Mohs-Härte | 6 bis 7 |
| Druckfestigkeit | 1100 |
| Zugfestigkeit | 50 |
| Biegefestigkeit | 65 |
| Torsionsstärke | 30 |
| Young's Modulus | 7.5 * 104 GPa |
| Fischverhältnis | 0.17 |
| Elektrische Eigenschaften | |
| Dielektrische Konstante (10 GHz) | 3.74 |
| Verlustfaktor (10 GHz) | 0.0002 |
| Dielektrische Stärke (10 GHz) | 3.7 * 107 V·m |
| Widerstandsfähigkeit (20°C) | 1 * 1020 Ω·m |
| Widerstandsfähigkeit (1000°C) | 1 * 108 Ω·m |
| Thermische Eigenschaften | |
| Anspannungspunkt | 1080 |
| Glühpunkt | 1180 |
| Erweichungspunkt | 1630 |
| Wärmeleitfähigkeit ((20°C) | 1.4 |
| Spezifische Wärme (20 °C) | 670 |
| (20°C-320°C) Ausdehnungskoeffizient: 30°C-600°C |
5.5 * 10-7 |
1. Durch Glas Vi (TGV) JGS1 JGS2 Saphir BF33 Quarz Anpassbarer Abmessungen
2. Quarzglas geschmolzenes Silizium Strahlenschutzfenster JGS1/JGS2/JGS3 Transparent UV
1. F: Was ist der Unterschied zwischen JGS1- und JGS2-Geschmolzenes Silizium?
A: JGS1 bietet aufgrund seiner extrem niedrigen Metallverunreinigungen und seines Hydroxylgehalts eine überlegene Übertragung im tiefen Ultraviolett (DUV),während JGS2 kostengünstige Leistungen für UV- bis Nahinfrarot-Anwendungen bietet, jedoch mit einem höheren OH-Gehalt und einem signifikanten Absorptionsband bei 2600-2800 nm.
2. F: Welche Anwendungen eignen sich am besten für JGS1- oder JGS2-Wafer?
A: JGS1 ist ideal für tiefe UV-Anwendungen wie Halbleiterlithographie und Excimerlaser, während JGS2 häufig in der allgemeinen UV-Optik, Glasfaserkommunikation,und industrielle UV-Verarbeitung, bei denen extreme DUV-Leistungen nicht kritisch sind.
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