2 Zoll Wafer Kassettenhalter 30*30mm 25-Slot Reinraum Klasse 100
Der 2-Zoll-Wafer-Kassettenhalter ist ein präzises Trägergergerät, das speziell für die Halbleiter-, Optoelektronik- und Mikro-/Nanofertigungsindustrie entwickelt wurde.Es wird hauptsächlich zum sicheren Halten verwendet, für die Lagerung und den Transport von 2-Zoll-Wafern oder Dünnschichtmaterialien.InspektionDie Standardisierung der Konstruktion gewährleistet die Kompatibilität mit verschiedenen Halbleitergeräten (z. B. Lithographie-Maschinen, Ätzsysteme,und Ablagerungsgeräte) und macht es sowohl in Forschungslabors als auch in industriellen Produktionslinien weit verbreitet..
2 Zoll Wafer CassetteWesentliche Merkmale
(1) Hohe Sauberkeit und Vermeidung von Kontamination
- 2 Zoll Wafer Cassette aus hochreinen Polymeren (z. B. PEEK, PTFE) oder anodierten Aluminiumlegierungen, um die Partikeladsorption zu minimieren,die den Standards für Reinräume der Klasse 100 oder sogar der Klasse 10 entsprechen.
- Einige Modelle verfügen über antistatische Beschichtungen, um die elektrostatische Anziehung von Partikeln zu verhindern, die die Oberfläche der Wafer beeinflussen könnten.
(2) Hochgenaue Positionierung und sichere Befestigung
- Die 2 Zoll Wafer Cassette verwendet V-Rohr- oder elastische Verschlussmechanismen, um eine zentrierte Waferfixierung zu gewährleisten und Fehlausrichtung oder Rutschvermeidung mit einer Positionierungsgenauigkeit von bis zu ± 0,05 mm zu verhindern.
- High-End-Modelle können Vakuumaussaugen oder magnetische Fixierung unterstützen, geeignet für Hochschwingungs- oder Hochgeschwindigkeitsübertragungsumgebungen.
(3) Modularität und Kompatibilität
- 2-Zoll-Wafer-Kassette, konfigurierbar mit Multi-Slot-Designs (z. B. 5-Slot, 25-Slot) für die Serienproduktion oder Versuchsanforderungen.
- Kompatibel mit automatisierten Roboterarmen (Robot Arm) und ermöglicht eine nahtlose Integration in Automationssysteme für Halbleiterproduktionslinien.
(4) Chemikalienbeständigkeit und Hochtemperaturverträglichkeit
- 2 Zoll Wafer Cassette verwenden Säure/Alkali-resistente Keramik oder spezielle Kunststoffe, so dass sie für nasse Ätzung oder chemische Dampfdeposition (CVD) Prozesse geeignet sind.
- Hochtemperaturvarianten können Umgebungen von mehr als 200°C standhalten, ideal für Glühen oder Hochtemperatur-Ablagerungen.
2 Zoll Wafer CassetteHauptanwendungen
(1) Herstellung von Halbleitern
- Waferverarbeitung: 2-Zoll-Waferkassette, die zur Fixierung und Übertragung von Wafern in Prozessen wie Lithographie, Ätzung und Ionenimplantation verwendet wird.
- Dünnschichtdeposition: 2 Zoll Wafer Cassette dient als Waferträger in physikalischen Dampfdeposition (PVD) und atomare Schichtdeposition (ALD) Ausrüstung.
(2) Optoelektronik und Herstellung von MEMS
- LED/Laser-Chip-Produktion: Die 2-Zoll-Wafer-Kassette enthält während der Herstellung zusammengesetzte Halbleiterwafer (z. B. GaAs, GaN).
- MEMS-Sensorfertigung: Unterstützt die Verarbeitung und Inspektion von siliziumbasierten mikroelektromechanischen Systemen.
(3) Forschung und Laborgebrauch
- Materialwissenschaftliche Forschung: Sicherung von Proben in analytischen Instrumenten wie Röntgendiffraktion (XRD) und Scanning-Elektronenmikroskopie (SEM).
- Neue Halbleiterentwicklung: Erleichtert experimentelle Prozesse für Perovskit und 2D-Materialien (z. B. Graphen).
(4) Industrieprüfungen und Verpackungen
- Waferproben: Die 2 Zoll Waferkassette bietet eine stabile Unterstützung bei elektrischen Leistungsprüfungen (z. B. IV/CV-Messungen).
- Chipverpackung: 2 Zoll Wafer-Kassette hält temporär Wafer für die Zerspanung oder die Bindung Prozesse.
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1.6 Zoll 8 Zoll Wafer Cassette Semi Standard Wafer Trägerbehälter 25 Stück
2 Zoll Wafer Cassette Fragen und Antworten
1. F: Wofür wird ein 2-Zoll-Wafer-Kassettenhalter verwendet?
A: Der 2-Zoll-Wafer-Kassettenhalter speichert und transportiert 25 kleine Wafer während der Halbleiterverarbeitung sicher und gewährleistet eine saubere und schadensfreie Handhabung in Umgebungen der Klasse 100.
2F: Aus welchem Material sind 2-Zoll-Waferkassetten hergestellt?
A: Sie bestehen in der Regel aus hochreinem PEEK, PTFE oder anodisiertem Aluminium zur Kontaminationskontrolle, wobei einige Modelle antistatische Beschichtungen für empfindliche Prozesse enthalten.
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