1 Zoll Einzel-Wafer-Kassette für ESD-sichere Wafer-Lagerung

1-Zoll-Einzel-Wafer-Kassette für ESD-sichere Wafer-Lagerung

Die 1-Zoll-Waferkassette ist ein spezieller Behälter, der für die Lagerung, den Transport und die automatisierte Handhabung von 1-Zoll-Wafern (25,4 mm) in der Halbleiterfertigung, bei optoelektronischen Bauelementen und in der Mikroelektronik-Forschung und -Entwicklung konzipiert ist. Hergestellt aus hochreinen Polymeren (wie PEEK oder PVDF) oder antistatischen Materialien, gewährleistet sie den Schutz der Wafer vor Kontamination, elektrostatischen Schäden und physischen Einwirkungen in Reinraumumgebungen. Die Kassette entspricht den SEMI-Standards und eignet sich für automatisierte Wafertransfersysteme in Prozessen wie MOCVD, PECVD, Lithografie und Ätzen.

1-Zoll-WaferkassetteHauptmerkmale

1. Ultra-Reine Leistung:

• 1-Zoll-Waferkassette zertifiziert für Reinraumklasse 100 mit extrem geringer Partikelgenerierung (<5 particlesft³ for>0,1μm)

• Glatte Oberflächenbeschaffenheit verhindert Kratzer auf den Wafern

2. ESD-Schutz:

• Kohlefaserverstärkung oder antistatische Beschichtung mit einem Oberflächenwiderstand von 10⁶-10⁹Ω/Quadrat

• 1-Zoll-Waferkassette verhindert effektiv die Anziehung von Partikeln und Schäden durch elektrostatische Entladung

3. Mechanische Zuverlässigkeit:

• Hohe Temperaturbeständigkeit (bis zu 150°C) und Chemikalienbeständigkeit (gegen Säuren, Laugen und organische Lösungsmittel)

• 1-Zoll-Waferkassette vibrationsgetestetes Design für sicheren Transport

4. Automatisierungskompatibilität:

• 1-Zoll-Waferkassette mit standardisierten Schnittstellen (SMIF/FOUP-kompatibel) für die Roboterhandhabung

• Kompatibel mit gängigen Halbleiteranlagen (ASML, Applied Materials usw.)

5. Präziser Waferschutz:

• 1-Zoll-Waferkassette mit einer Schlitzabstandsgenauigkeit von ±0,1 mm und einem Waferpositionierungsfehler von ≤0,05 mm

• Optionale RFID-Tag-Schlitze für die Waferrückverfolgbarkeit