6-Zoll hitzebeständiges, transparentes einkristallines Quarzglassubstrat für SAW-Bauelemente

​​6-Zoll-Hitzebeständiges, transparentes einkristallines Quarzglassubstrat für SAW-Geräte​​

Der 6-Zoll-Quarzwafer (150 mm Durchmesser) wird aus hochreinem Quarzglas (Reinheit ≥99,999 %) mit einer Dicke von 50-500 μm hergestellt. Die Oberflächenrauheit wird durch CMP (chemisch-mechanisches Polieren) auf Ra ≤0,5 nm kontrolliert. Der Herstellungsprozess umfasst: ​​

· Rohmaterialreinigung​​:Extraktion von Silizium in Elektronikqualität aus Quarzsand durch Chlorierungs- und Reduktionsverfahren, wodurch eine Reinheit von 99,9999 % erreicht wird. ​​

· Einkristallwachstum​​:Züchtung von Einkristall-Siliziumstäben mit dem Czochralski-Verfahren (CZ), mit einer Defektdichte von <1 Defekt/cm². ​​

· Schneiden und Bearbeiten​​:Schneiden von Siliziumstäben in 150-mm-Wafer durch Mehrdrahtsägen, gefolgt von doppelseitigem Polieren und Laserätzen, um eine Dickentoleranz von ≤±15μm zu gewährleisten.

Parameter für 6Zoll-Quarzwafers

Kernmerkmale und Vorteile​​ des 6Zoll-Quarzwafers

Der 6-Zoll-Quarzwafer ist ein kreisförmiger Dünnfilm aus hochreinem Quarzmaterial, der in der Halbleiterherstellung, Optoelektronik und Präzisionsoptik weit verbreitet ist. Zu den Hauptmerkmalen gehören:

· ​​Hohe Reinheit und Hitzebeständigkeit​​:Quarzglasreinheit ≥99,999 %, Erweichungspunkt ~1730°C, kurzzeitige Toleranz bis zu 1450°C.

​​· Geringe Wärmeausdehnung​​:Wärmeausdehnungskoeffizient 0,5×10⁻⁶/°C (25-300°C), beständig gegen Temperaturschock (ΔT ≥800°C).

​​· Chemische Stabilität​​:Beständig gegen Korrosion durch alle Säuren außer Flusssäure, mit einer Korrosionsbeständigkeit, die 30× höher ist als bei Keramik und 150× höher als bei Edelstahl.

​​· Optische Leistung​​:Hohe Transmission im ultravioletten bis nahinfraroten Spektrum (sichtbares Licht >93 %, Nahinfrarot >95 %).

​​· Mechanische Festigkeit​​:Mohs-Härte von 7, Druckfestigkeit überlegen gegenüber Standardglas.

Anwendungen​ des 6Zoll-Quarzwafers

1. ​​Halbleiterherstellung​​: Wird in Dioden, Transistoren und MOSFETs verwendet und unterstützt die Automobilelektronik und Leistungshalbleiter.

​​2. Optoelektronik​​: Dient als Substrate für optische Fasern, Lasergeräte und Wellenleiter in 5G-Netzwerken und Rechenzentren.

3. ​​Präzisionsoptik​​: Wird in Infrarotbildgebungssystemen, Laseroptiken und hochtransmittierenden Linsen eingesetzt.

​​4. Sensoren und Instrumente​​: Kernkomponenten in MEMS-Sensoren und medizinischen Diagnosegeräten.

5. ​​Luft- und Raumfahrt​​: Hochtemperatur-Sichtfenster und hitzebeständige Komponenten für Raumfahrzeuge.

Einführung in Quarzröhren

Quarzröhren sind aus hochreinem Quarzglas gefertigte röhrenförmige Strukturen, die in Diffusions-/Oxidationsprozessen in der Halbleiterindustrie und in Photovoltaikanlagen weit verbreitet sind. Unsere Dienstleistungen umfassen:

· ​​Sonderanfertigung​​: Innendurchmesser (5-50 mm), Längen (100-1000 mm) und Wandstärken (0,5-3 mm). Komplexe Geometrien (gebogene, Mehrkammerröhren) werden unterstützt.

· ​​Technische Vorteile​​: Arbeitet langfristig bei 1100°C, geringer Hydroxylgehalt (<1 ppm) und hohe Kontaminationsbeständigkeit, die den Reinheitsanforderungen für Halbleiter entsprechen.