- Ich weiß.
6 Zoll Durchmesser 150 mm Quarz Kristallglas Wafer 5N Reinheit SiO2
ZMSH ist spezialisiert auf die Herstellung von 6-Zoll-Quarz-Wafern und bietet:
Anpassung an verschiedene Größen: Standard-Wafer mit einer Größe von 6 Zoll sowie 4", 8" und 12" Varianten
Randbearbeitung: Möglichkeiten für geschrägte Kanten, Kerben und Orientierungsflächen
Oberflächenbehandlungen: Maßgeschneiderte Polierung, Beschichtung und Musterung
Parameter für 6Inch-Quarzwafer
| PArameter |
Spezifikation |
| Durchmesser |
6 Zoll (150 mm) |
| Dickenbereich |
0.5 mm bis 3,0 mm |
| Ausmaß der Abweichung |
±0,02 mm |
| Gesamtdickenvariation |
≤ 10 μm |
| Oberflächenrauheit (poliert) |
≤ 0,5 nm Ra |
| Parallelismus |
≤ 3 μm |
| CTE (20-300°C) |
00,55 × 10−6/°C |
| Übertragbarkeit @193nm |
> 92% |
| Widerstand |
> 1016 Ω·cm |
| Vakuumkompatibilität |
10−10 Torr |
| Flexuralstärke (verstärkt) |
500 bis 700 MPa |
- Ich weiß.Schlüsselmerkmalevon 6Inch-Quarzwafer
| Eigenschaften |
Technische Spezifikation |
| Hohe Reinheit |
≥ 99,999% SiO2-Gehalt |
| CTE (20-300°C) |
0.55×10−6/°C (ultra-niedrige thermische Ausdehnung) |
| Zugfestigkeit |
50-70 MPa (chemisch verstärkte Optionen verfügbar) |
| Optische Übertragung |
> 92% @ 190-3500 nm (UV bis NIR Spektrum) |
| Elektrische Eigenschaften |
Widerstand > 1016 Ω·cm, piezoelektrische Koeffizienten |
- Ich weiß.Strategische Anwendungenvon 6Inch-Quarzwafer
1. Halbleiterherstellung
6 Zoll Quarz-Wafer werden inHalbleiterverpackungen,Herstellung von Splittern, und verwandten Bereichen, insbesondere bei der Herstellung von:
- Speicherchips.(DRAM, NAND-Flash)
- Analog-/Leistungsgeräte(IGBT, MOSFET)
- Erweiterte Sensoren.(MEMS, CMOS-Bildsensoren)
2. Optische Komponenten
Aufgrund ihrerhohe optische Durchlässigkeitundextrem niedrige CTE, Quarzwafer sind ideal für:
- Präzisionslinsen(asphärische Mikrolinsen-Arrays)
- optische Filter(Bandpass, dichroisch)
- Wellenführer(photonische ICs, Faserkopplungselemente)
3. MEMS (mikroelektromechanische Systeme)
Quarzwafer dienen als erstklassige Substrate für MEMS-Geräte aufgrund ihrerAbmessungsstabilitätundmechanische Robustheit, einschließlich:
- Mikrosensoren(Druck, Trägheit, Biosensoren)
- Mikroaktoren(HF-Schalter, piezoelektrische Wandler)
- Resonatoren(5G-Filter, Zeitmessgeräte)
4. Hochtemperatur Poly-Si TFT-LCDs
Quarz-Wafer sind für die Herstellung von Wafers von großer BedeutungHochleistungsbildschirme, insbesondere:
- HTPS (Hochtemperatur-Poly-Si) TFT-Hintergrundflächen
- Mikrodisplays(AR/VR, LCoS)
- Erweiterte LCD-Panels(OLED-Verkapselungssubstrate)
- Ich weiß.
Dienstleistungen der individuellen Herstellung von6Inch-Quarzwafer
Wir bieten End-to-End-Lösungen:
1Materialwahl: JGS1/JGS2 Quarz, synthetisches geschmolzenes Kieselsäure
2. Präzisionsbearbeitung:
- Laserschneiden (Toleranz ± 5 μm)
- Ultraschallbohrungen (Aspektverhältnis 10:1)
3Oberflächentechnik:
- Nanopolieren (Ra < 0,3 nm)
- DUV/IR-Anti-Reflexionsbeschichtungen
4Qualitätssicherung:
- Verarbeitung in Reinräumen der Klasse 10
- Vollständige Messberichte (TTV, Warp, Bug)
Häufig gestellte Fragenvon 6Inch-Quarzwafer
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