4-Zoll-Quarzwafer-Durchmesser 100 mm Fused-Silica-Wafer für die Halbleiterherstellung

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4-Zoll-Quarzwafer, Durchmesser 100 mm, Quarzglasscheibe für die Halbleiterherstellung

Der 4-Zoll-Quarzwafer (100 mm) ist ein großformatiges, ultrareines Quarzglassubstrat, das für hochpräzise Anwendungen mit hoher Stabilität in der Halbleiterindustrie, Optoelektronik und fortschrittlichen Optiken entwickelt wurde. Im Vergleich zu 3-Zoll-Wafern bietet die 4-Zoll-Spezifikation eine deutlich größere nutzbare Fläche, was die Produktionseffizienz verbessert – insbesondere für die Chargenfertigung von IC-Fotolackmasken, Hochleistungslaseroptiken und MEMS-Sensoren.

ZMSH ist auf die Forschung und Entwicklung sowie die Produktion von 4-Zoll- und größeren Quarzwafern spezialisiert und bietet:

- Vollständige Größenanpassung: Unterstützt 4-Zoll-, 6-Zoll- und 8-Zoll-Wafer, wobei Sondergrößen (z. B. quadratisch, sektorförmig) verfügbar sind.

- Hochpräzisionsbearbeitung: Beinhaltet doppelseitiges Ultra-Polieren (Ra ≤ 0,5 nm), Laserschneiden (Toleranz ± 0,01 mm) und Mikroloch-/Sonderform-Via-Bohren.

- Funktionelle Behandlungen: Antireflexionsbeschichtungen (AR), IR-Antireflexion, diamantähnliche Kohlenstoffbeschichtungen (DLC) und mehr.

- Branchenlösungen: Sauberkeit auf Halbleiterniveau (Klasse 10), geringe Defektdichte (≤ 0,1/cm²), ideal für EUV-Lithografie und Quantencomputing.

Spezifikation für 4-Zoll-Quarzwafer

​​Wesentliche Merkmale​​ von 4-Zoll-Quarzwafer

1. Präzision in großer Größe: TTV ≤ 10 µm bei 100 mm Durchmesser gewährleistet Prozessgleichmäßigkeit.

2. Ultra-niedriger CTE: 0,55 × 10⁻⁶/°C, geeignet für Hochtemperaturprozesse (z. B. Tempern, Ionenimplantation).

3. Breitbandtransparenz: >93 % Transmission @193 nm (DUV), >90 % @3-5 µm (IR).

4. Überlegene Oberflächenqualität: Doppelseitig poliert mit Ra ≤ 0,5 nm für Nanometer-Lithografie.

5. Erhöhte Haltbarkeit: Optionale chemische Verstärkung erhöht die Biegefestigkeit auf 600 MPa; plasmaresistent.

​​Strategische Anwendungen​ von 4-Zoll-Quarzwafer

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Kundenspezifische Dienstleistungen

ZMSH bietet End-to-End-Anpassung für 4-Zoll-Quarzwafer, einschließlich:

- Materialauswahl: JGS1/JGS2 UV-Qualität oder IR-Qualität Quarzglas.

- Präzisionsbearbeitung: Nanopolieren (λ/20), Laser-Mikrostrukturierung (±1 µm Genauigkeit).

- Funktionelle Beschichtungen: AR (193-1064 nm), Hochleistungs-LIDT-Laserbeschichtungen (>5 J/cm²).

- QA-Unterstützung: Vollständige Inspektionsberichte (AOI, Interferometrie).