3-Zoll-Quarzwafer optischer Güte Transmittance >92% Halbleiterglassubstrate
ZMSH ist spezialisiert auf kundenspezifisch gefertigte 3-Zoll-Quarzwafer und bietet maßgeschneiderte Lösungen für fortschrittliche optoelektronische, MEMS- und Halbleiteranwendungen. Im Gegensatz zu Standard-2-Zoll-Wafern bieten 3-Zoll-Quarzwafer eine erweiterte Oberfläche für die Integration mehrerer Komponenten und ermöglichen so hochpräzise Geräte mit verbesserter Leistung. Hauptmerkmale sind:
· Material: Hochreines Quarzglas (SiO₂) mit <50 ppm Hydroxylgehalt, was extrem geringe optische Verluste gewährleistet.
· Abmessungen: Kundenspezifische Durchmesser (3,00" ±0,02") und Dicken (0,525–1,200 mm, TTV ≤10 μm).
· Formen: Kreisförmige, quadratische oder unregelmäßige Geometrien mit nicht standardmäßigen Öffnungen, abgestuften Kanten oder Gradientendicke.
· Oberflächenbeschaffenheit: Ultra-glatte Oberflächen (Ra ≤1,0 nm) für minimale Lichtstreuung.
Spezifikation für 3-Zoll-Quarzwafer
| Parameter |
Spezifikation |
| Durchmesser |
3 Zoll (76,2 mm) |
| Dicken-Toleranz |
±0,02 mm |
| Oberflächenrauheit |
≤1 nm (polierte Güte) |
| Transmittance @193nm |
>92% |
| CTE (RT-300°C) |
0,55×10⁻⁶/°C |
| Parallelität |
≤5μm |
| Vakuumverträglichkeit |
10⁻⁹ Torr |
Hauptmerkmale von 3-Zoll-Quarzwafer
1. Optische Überlegenheit
- Breites Spektraltransmissionsvermögen: >92% Transmission von 185 nm (UV) bis 3500 nm (IR), ideal für UV-Lithographie und Quantensensorik.
- Geringe Wärmeausdehnung: CTE von 0,52×10⁻⁶/°C, wodurch die Dimensionsstabilität bis zu 1100°C erhalten bleibt.
2. Mechanische und chemische Beständigkeit
- Hohe Härte: Mohs-Skala 7, beständig gegen Abrieb und mechanische Stöße.
- Säurebeständigkeit: 30× höhere Haltbarkeit als Keramik, geeignet für aggressive chemische Umgebungen.
3. Elektrische Leistung
- Isolierung: Widerstand >10¹⁸ Ω·cm, wodurch die parasitäre Kapazität in Hochfrequenzschaltungen minimiert wird.
- SAW-Kompatibilität: Optimiert für Oberflächenwellenfilter (SAW) mit präzisen Schnittwinkeln (z. B. 34,33° für FC-Schnitt).
Strategische Anwendungen von 3-Zoll-Quarzwafer
1. Fortschrittliche MEMS-Geräte
- Drucksensoren, Gyroskope und Inkjet-Druckköpfe, die 3-Zoll-Wafer für die Mehrschichtintegration und thermische Stabilität nutzen.
2. Optoelektronische Systeme
- UV-Laserdioden, faseroptische Kollimatoren und LiDAR-Komponenten, die verlustarme optische Pfade erfordern.
3. Halbleiterverpackung
- Wafer-Level-Packaging (WLP)-Substrate für CMOS-Bildsensoren und RFICs, die TSV (Through-Silicon Via)-Technologie unterstützen.
4. Quantentechnologien
- Substrate für Diamant-Stickstoff-Vakanz (NV)-Zentren und supraleitende Qubits, die von einer extrem geringen Defektdichte profitieren.
Quarzglaskapillaren: Kurzübersicht
Die Quarzglaskapillaren von ZMSH sind für mikrofluidische und optische Anwendungen konzipiert und zeichnen sich aus durch:
- Kundenspezifische Größen: Innendurchmesser von 50 μm bis 5 mm, Längen bis zu 300 mm.
- Ultrahohe Reinheit: <1 ppm metallische Verunreinigungen für Biokompatibilität in Lab-on-a-Chip-Systemen.
- Verarbeitung: Laserbohren, thermisches Formen und chemisches Ätzen für die nahtlose Integration in Sensoren oder optische Fasern.
FAQ
Ihre Nachricht muss zwischen 20 und 3.000 Zeichen enthalten!
