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Chemische Zusammensetzung:: | SiO₂ 99,9 %; 99,98 % | Dichte:: | 2.2 (g/cm3) |
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Schmelzpunkt:: | 1732 °C | Durchlässigkeit des sichtbaren Lichts:: | >93% |
UV Transmittance:: | 80% | Anwendungen:: | LED-Epitaxy, Präzisionsbrennen |
Hervorheben: | Quarzschiffe aus Quarzglas,Oberflächenrauheit Quarzschiffe,SiO₂≥99 |
Quarzglasboote sind spezielle Behälter, die aus hochreinem Siliziumdioxid (SiO2) durch Hochtemperaturschmelzverfahren hergestellt werden.chemische Stabilität, und optische Transparenz, sie dienen als unersetzliche Komponenten in der Halbleiterherstellung, Laborforschung und -entwicklung, medizinischen Geräten und industriellen Anwendungen bei hohen Temperaturen.Konstruktion zur Ausgleichung von Präzisionsstrukturen mit Materialleistungsgrenzen, diese Boote funktionieren stabil bei extremen Temperaturen (-270°C bis 1450°C) und widerstehen starken Säuren, Alkalien und elektromagnetischen Störungen.Sie werden weit verbreitet für Hochtemperaturprozessträger verwendetMit dem Aufstieg der Halbleiter der dritten Generation und der neuen Energieindustrie ist die Nachfrage nach Quarzglasbooten in der Chipherstellung gestiegen.Laserverpackungen, und Hochtemperaturreaktionssysteme wachsen weiter und festigen ihre Rolle als kritische Infrastruktur in fortschrittlichen Laboren und Produktionslinien.
Chemische Zusammensetzung: | SiO2 99,9%; 99,98% |
Dichte: | 2.2 (g/cm3) |
Mohs-Härte: | 6.6 |
Schmelzpunkt: | 1732 °C |
Betriebstemperatur: | 1100 °C |
Maximale Kurzzeittemperatur: | 1450 °C |
Säurebeständigkeit: | 30 × Keramik / 150 × Edelstahl |
Durchlässigkeit des sichtbaren Lichts: | > 93% |
UV-Übertragbarkeit: | 80% |
Elektrische Resistenz: | 10,000 × konventionelles Glas |
Aufgusspunkt: | 1215 °C |
Erweichungspunkt: | 1730 °C |
Typ | Eigenschaften | Anwendungen |
Durchsichtiges Quarzboot | JGS1-Grad (UV-Grad), OH-Gehalt < 5 ppm, Durchlässigkeit > 90% @ 185 nm | Lithographie, Epitaxie (optisch empfindliche Verfahren) |
Opaque Quarzboot | Milchartige Erscheinung, Porosität < 0,3%, 50% verbesserte Wärmeschlagfestigkeit | Diffusion, Glühen (Hochtemperaturverfahren) |
Kunstquarzboot | CVD-bearbeitet, Metallverunreinigungen < 0,1 ppm, überlegene Plasmakorrosionsbeständigkeit | Ätzen, Ionenimplantationen (Trocknungsverfahren) |
Doppiertes Quarzboot | Ti/Ce-Doped, kristallisierungsbeständig bis zu 1300°C | Einkristallisches Siliziumwachstum, MOCVD (ultra-hochtemperaturen Umgebungen) |
Industrie | Typische Anwendungsfälle | Hauptanforderungen |
Halbleiter | Waferdiffusion, Prozessträger für LPCVD | Verformungen bei hohen Temperaturen < 0,1 mm/300 mm |
Photovoltaik | P-Diffusion der PERC-Zelle, TOPCon-Tunneloxid-Schicht | Korrosionsbeständigkeit von POCl3 ≥ 200 Zyklen |
LED-Epitaxy | Modelle für die Verwendung von Modellen für die Berechnung der Reaktionszellen | Oberflächenrauheit ≤ 0,05 μm |
Präzisionsglühen | Magnetische Werkstoffe, spezielle Heizbehandlungen von Legierungen | Metalldampferosionsbeständigkeit |
Forschungseinrichtungen | Synchrotron-Stichprobenhalter, MBE-Substrate | Ultra-hohe Vakuumkompatibilität (<10−8Pa) |
1. Extreme thermische Leistung
· Langzeitbetriebstemperatur: 1100°C (kurzfristig bis 1450°C)
· 1000 thermische Zyklen (-196°C~1200°C) ohne Rissbildung
2Chemische Stabilität
· Widerstandsfähig gegen alle starken Säuren außer HF (98% H2SO4, 37% HCl usw.)
· 3x bessere Alkalibeständigkeit als herkömmliche Keramik
3. Physikalische Eigenschaften
· Wärmeleitfähigkeit: 1,4 W/m·K (verhindert die Anhäufung von Wärme)
· Dielektrische Festigkeit: 40 kV/cm (bei 20°C)
4. Reinheitskontrolle
· in Reinräumen der Klasse 10 hergestellt
· Oberflächenpartikel ≤ 5 Zählungen/cm2 (≥ 0,3 μm)
ZMSH ist auf maßgeschneiderte Quarzglasboote für Halbleiter, Photovoltaik und Optoelektronik spezialisiert. Ausgestattet mit einem Quarzforschungsinstitut und einem CNAS-zertifizierten Labor nutzen wir Laser-3D-Inspektionssysteme, um eine ±0,01mm-Bearbeitungsgenauigkeit und eine Oberflächenbehandlung auf atomarer Ebene zu erreichen. Unser Ingenieurteam bietet Unterstützung von Ende zu Ende, von der Konstruktion, der thermischen Simulation bis zur Prozessvalidierung.mit Fachwissen in Anwendungen bei extrem hohen Temperaturen (1600°C) und extremen thermischen Schocks (ΔT≥1200°C). Durch unseren Reinraum der Klasse 10 und unsere intelligente Fertigungslinie können wir Forschungs- und Entwicklungsprototypen aufnehmen.
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1F: Was ist ein Quarzboot?
A: Ein Quarzboot ist ein hochreiner Fusionssilikon-Behälter, der in Halbleiter- und Laboranwendungen zur Hochtemperaturverarbeitung von Wafern und Proben verwendet wird.
2F: Warum wird Quarz in Glas verwendet?
A: Quarz wird in Glas verwendet, weil es im Vergleich zu herkömmlichem Glas eine überlegene thermische Stabilität (bis zu 1100°C), optische Klarheit (Übertragung von UV auf IR) und chemische Beständigkeit aufweist.
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Ansprechpartner: Mr. Wang
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