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Quarzboote SiO2≥99,99% Oberflächenrauheit Ra≤0,1μm Waferträger

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Quarzboote SiO2≥99,99% Oberflächenrauheit Ra≤0,1μm Waferträger

Quartz Boats Fused Silica Boat SiO₂≥99.99% Surface Roughness Ra≤0.1μm Wafer Carrier
Quartz Boats Fused Silica Boat SiO₂≥99.99% Surface Roughness Ra≤0.1μm Wafer Carrier Quartz Boats Fused Silica Boat SiO₂≥99.99% Surface Roughness Ra≤0.1μm Wafer Carrier Quartz Boats Fused Silica Boat SiO₂≥99.99% Surface Roughness Ra≤0.1μm Wafer Carrier

Großes Bild :  Quarzboote SiO2≥99,99% Oberflächenrauheit Ra≤0,1μm Waferträger

Produktdetails:
Herkunftsort: China
Markenname: ZMSH
Zertifizierung: rohs
Modellnummer: Quarzboote
Zahlung und Versand AGB:
Preis: by case
Lieferzeit: 2-4weeks
Zahlungsbedingungen: T/T
Ausführliche Produkt-Beschreibung
Chemische Zusammensetzung:: SiO₂ 99,9 %; 99,98 % Dichte:: 2.2 (g/cm3)
Schmelzpunkt:: 1732 °C Durchlässigkeit des sichtbaren Lichts:: >93%
UV Transmittance:: 80% Anwendungen:: LED-Epitaxy, Präzisionsbrennen
Hervorheben:

Quarzschiffe aus Quarzglas

,

Oberflächenrauheit Quarzschiffe

,

SiO₂≥99

 

Zusammenfassung vonQuarzboote

 

 

Quarzboote SiO2≥99,99% Oberflächenrauheit Ra≤0,1μm Waferträger

 

 

Quarzglasboote sind spezielle Behälter, die aus hochreinem Siliziumdioxid (SiO2) durch Hochtemperaturschmelzverfahren hergestellt werden.chemische Stabilität, und optische Transparenz, sie dienen als unersetzliche Komponenten in der Halbleiterherstellung, Laborforschung und -entwicklung, medizinischen Geräten und industriellen Anwendungen bei hohen Temperaturen.Konstruktion zur Ausgleichung von Präzisionsstrukturen mit Materialleistungsgrenzen, diese Boote funktionieren stabil bei extremen Temperaturen (-270°C bis 1450°C) und widerstehen starken Säuren, Alkalien und elektromagnetischen Störungen.Sie werden weit verbreitet für Hochtemperaturprozessträger verwendetMit dem Aufstieg der Halbleiter der dritten Generation und der neuen Energieindustrie ist die Nachfrage nach Quarzglasbooten in der Chipherstellung gestiegen.Laserverpackungen, und Hochtemperaturreaktionssysteme wachsen weiter und festigen ihre Rolle als kritische Infrastruktur in fortschrittlichen Laboren und Produktionslinien.

 

 


 

Spezifikation fürQuarzzboote

 

 

Chemische Zusammensetzung: SiO2 99,9%; 99,98%
Dichte: 2.2 (g/cm3)
Mohs-Härte: 6.6
Schmelzpunkt: 1732 °C
Betriebstemperatur: 1100 °C
Maximale Kurzzeittemperatur: 1450 °C
Säurebeständigkeit: 30 × Keramik / 150 × Edelstahl
Durchlässigkeit des sichtbaren Lichts: > 93%
UV-Übertragbarkeit: 80%
Elektrische Resistenz: 10,000 × konventionelles Glas
Aufgusspunkt: 1215 °C
Erweichungspunkt: 1730 °C

 

 


 

Materialarten vonQuarzzboote

 

 

Typ Eigenschaften Anwendungen
Durchsichtiges Quarzboot JGS1-Grad (UV-Grad), OH-Gehalt < 5 ppm, Durchlässigkeit > 90% @ 185 nm Lithographie, Epitaxie (optisch empfindliche Verfahren)
Opaque Quarzboot Milchartige Erscheinung, Porosität < 0,3%, 50% verbesserte Wärmeschlagfestigkeit Diffusion, Glühen (Hochtemperaturverfahren)
Kunstquarzboot CVD-bearbeitet, Metallverunreinigungen < 0,1 ppm, überlegene Plasmakorrosionsbeständigkeit Ätzen, Ionenimplantationen (Trocknungsverfahren)
Doppiertes Quarzboot Ti/Ce-Doped, kristallisierungsbeständig bis zu 1300°C Einkristallisches Siliziumwachstum, MOCVD (ultra-hochtemperaturen Umgebungen)

 

 


 

Hauptanwendungen vonQuarzzboote

 

 

Industrie Typische Anwendungsfälle Hauptanforderungen
Halbleiter Waferdiffusion, Prozessträger für LPCVD Verformungen bei hohen Temperaturen < 0,1 mm/300 mm
Photovoltaik P-Diffusion der PERC-Zelle, TOPCon-Tunneloxid-Schicht Korrosionsbeständigkeit von POCl3 ≥ 200 Zyklen
LED-Epitaxy Modelle für die Verwendung von Modellen für die Berechnung der Reaktionszellen Oberflächenrauheit ≤ 0,05 μm
Präzisionsglühen Magnetische Werkstoffe, spezielle Heizbehandlungen von Legierungen Metalldampferosionsbeständigkeit
Forschungseinrichtungen Synchrotron-Stichprobenhalter, MBE-Substrate Ultra-hohe Vakuumkompatibilität (<10−8Pa)

 

 


 

Die wichtigsten VorteileQuarzzboote

 

Quarzboote SiO2≥99,99% Oberflächenrauheit Ra≤0,1μm Waferträger 0

1. Extreme thermische Leistung

· Langzeitbetriebstemperatur: 1100°C (kurzfristig bis 1450°C)

· 1000 thermische Zyklen (-196°C~1200°C) ohne Rissbildung

 

 

2Chemische Stabilität

· Widerstandsfähig gegen alle starken Säuren außer HF (98% H2SO4, 37% HCl usw.)

· 3x bessere Alkalibeständigkeit als herkömmliche Keramik

 

 

3. Physikalische Eigenschaften

· Wärmeleitfähigkeit: 1,4 W/m·K (verhindert die Anhäufung von Wärme)

· Dielektrische Festigkeit: 40 kV/cm (bei 20°C)

 

 

4. Reinheitskontrolle

· in Reinräumen der Klasse 10 hergestellt

· Oberflächenpartikel ≤ 5 Zählungen/cm2 (≥ 0,3 μm)

 

 


 

Dienstleistungen der ZMSH

 

 

ZMSH ist auf maßgeschneiderte Quarzglasboote für Halbleiter, Photovoltaik und Optoelektronik spezialisiert. Ausgestattet mit einem Quarzforschungsinstitut und einem CNAS-zertifizierten Labor nutzen wir Laser-3D-Inspektionssysteme, um eine ±0,01mm-Bearbeitungsgenauigkeit und eine Oberflächenbehandlung auf atomarer Ebene zu erreichen. Unser Ingenieurteam bietet Unterstützung von Ende zu Ende, von der Konstruktion, der thermischen Simulation bis zur Prozessvalidierung.mit Fachwissen in Anwendungen bei extrem hohen Temperaturen (1600°C) und extremen thermischen Schocks (ΔT≥1200°C). Durch unseren Reinraum der Klasse 10 und unsere intelligente Fertigungslinie können wir Forschungs- und Entwicklungsprototypen aufnehmen.

 

 

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Fragen und Antworten

 

 

1F: Was ist ein Quarzboot?
A: Ein Quarzboot ist ein hochreiner Fusionssilikon-Behälter, der in Halbleiter- und Laboranwendungen zur Hochtemperaturverarbeitung von Wafern und Proben verwendet wird.

 


2F: Warum wird Quarz in Glas verwendet?
A: Quarz wird in Glas verwendet, weil es im Vergleich zu herkömmlichem Glas eine überlegene thermische Stabilität (bis zu 1100°C), optische Klarheit (Übertragung von UV auf IR) und chemische Beständigkeit aufweist.

 

 


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