| Markenbezeichnung: | ZMSH |
| Modellnummer: | Mikrofluidische Splitterglassubstrate |
| Lieferzeit: | in 30 Tage |
| Zahlungsbedingungen: | T/T |
| Spezifikation | Wert |
| Glasdicke | < 1,1 mm |
| Wafergrößen | Alle Standardbauteile bis zu 200 mm |
| Mindestdurchmesser des Mikroholls | 10 μm |
| Gleicher Durchmesser des Löchers | 99 Prozent |
| Positionsgenauigkeit | ±3 μm |
| Spaltungen | Keine |
| Superglatte Seitenwände | RA < 0,08 μm |
| Öffnungsarten | Durch den Weg (Wahrer Kreis oder Ellipse), den Blinden Weg (Wahrer Kreis oder Ellipse) |
| Form des Löchers | Sanduhr |
| Option | Isolierung aus durchlöchertem Großglas |