Was ist ein Quarzfokusring?




Ein Quarzfokusring ist eine kritische Verbrauchskomponente in Halbleiter-Plasma-Ätzungsprozessen.Es besteht typischerweise aus hochreinem geschmolzenem Quarz und spielt eine unentbehrliche Rolle in der ChipherstellungDie Kernfunktion besteht darin, das Plasma zu begrenzen und zu leiten, um eine hoch einheitliche Ätzerleistung auf der Waferoberfläche zu gewährleisten.


 

Kernfunktionen: Warum ist es für Ätzverfahren unerlässlich?

Bei der Plasma-Ätzung erfüllen Quarz-Fokusringe hauptsächlich folgende Schlüsselfunktionen:

• Plasma-Fokus für einheitliche ÄtzungDurch eine spezielle Konstruktion hält es das Plasma stabil und gleichmäßig, auch am Waferrand.es beseitigt den "Kanten-Effekt" und sorgt für eine sehr konstante Ätzrate und kritische Abmessungen (CD) auf der gesamten Waferoberfläche.
   
• Schutz von hochwertiger Ausrüstung und Verlängerung der Lebensdauer von Bauteilen: Der Fokusring dient als verbrauchbarer Schutzschild, der den direkten Plasmabombardement abwehrt und die zugrunde liegenden Kernpräzisionskomponenten wie den elektrostatischen Schalter (ESC) vor Schäden schützt.
   
• Verhinderung der Kontamination und Sicherung der Waferleistung: Quarz selbst enthält keine schädlichen Verunreinigungen wie Metalle und gibt langsam Sauerstoff freizusetzen.Dieser Sauerstoff reagiert mit Polymeren, die beim Ätzen entstehen, um leicht pumpebare Gase wie CO und CO2 zu bilden, wodurch eine Verunreinigung auf der Rückseite des Wafers wirksam verhindert wird.

Jingge Semiconductor ¢ Kundenspezifische Verarbeitung von hochreinen Quarzgeräten (5N, 6N Reinheit), einschließlich synthetischem Quarz, gasgefusionsem Quarz, elektrisch gefusionsem Quarz, Quarzkomponenten, Quarz-Etsringe,mit einer Breite von mehr als 20 mm,, Quarzwafer, optische Quarzplatten usw. Tel: 17826693981.



Warum Quarz?
 

Für Fokusringe gibt es verschiedene Materialien, aber Quarz zeichnet sich durch seine einzigartige Kombination von Eigenschaften aus:

• Ultra-hohe Reinheit: Quarz in Halbleiterqualität erreicht typischerweise eine Reinheit von 99,998% oder mehr, wodurch die Kontamination mit Metallverunreinigungen auf die Wafer minimiert wird.
• Überlegene chemische Korrosionsbeständigkeit: Der Quarz widersteht der Erosion durch hochkorrosive Ätzgase (wie CF4, SF6 und Cl2) und Plasmaangriffe.
• Ausgezeichnete thermische Stabilität: Der Quarz kann Temperaturen über 1000°C standhalten und hat einen extrem niedrigen Wärmeausdehnungskoeffizienten, der eine präzise Dimensionsstabilität bei hohen Temperaturen gewährleistet.
• günstige dielektrische Eigenschaften: Die dielektrische Konstante (rund 3,8) unterstützt die gewünschte Plasmafokussierung
  
  
  
  Fertigung und Markt: Präzisionsbearbeitung und globale Versorgung
  
  
   
• Präzisionsbearbeitung: Die Herstellung von Quarzfokusringe erfordert äußerst hohe Genauigkeitsanforderungen und erfordert fortschrittliche 5-Achsen-CNC-Bearbeitungs- und Poliertechnologien.Schlüsseldimensionstoleranzen können innerhalb von ±0 gesteuert werden.02 mm oder sogar ±0,001 mm mit einer Oberflächenrauheit (Ra) von weniger als 0,002 μm.
• Haupthersteller: Zu den wichtigsten Akteuren auf dem Weltmarkt gehören internationale Marktführer wie Entegris, CoorsTek, Heraeus Quartz und Tosoh Quartz sowie chinesische Unternehmen wie Dunyuan Juxin,Zhenbao Technology und Jingge SemiconductorDie Produkte sind im Allgemeinen mit den gängigen Ätzplattformen von Applied Materials (AMAT) wie der MXP+- und der Centura-Serie kompatibel.