Verbindung zwischen Waferplatte und Kerbe
Waferplatte und -notch sind wichtige Merkmale, die bei der Waferherstellung zur Bestimmung der Waferorientierung verwendet werden, und sie spielen eine entscheidende Rolle bei der Waferverarbeitung, Ausrichtung und Inspektion.
1. Wafer Flat
Platte Wafer bezieht sich auf den flachen Teil der Außenkante der Wafer,mit einer Breite von mehr als 30 mm,Denken Sie daran wie an einen Kompasszeiger, der die richtige Platzierung der Wafer im Gerät anzeigt.
Funktion und Wirkung:
Richtungsanzeige: Der Positionsrand zeigt in der Regel die spezifische Kristallflächenorientierung der Wafer.die Positionskante kann helfen, seine Hauptorientierung anzuzeigenDies liegt daran, daß sich Silizium-Kristallstrukturen mit unterschiedlichen Kristallorientierungen in physikalischen und elektrischen Eigenschaften unterscheiden.und die Rolle der Wafer-Positionierungskante besteht darin, sicherzustellen, dass die Kristallorientierung während der Waferverarbeitung korrekt ermittelt wird.
Ausrichtungszeichen: Bei der Waferfertigung müssen mehrfache Ausrichtungsvorgänge durchgeführt werden, wie z. B. lithographische Ausrichtung, Ätzer-Ausrichtung usw.Die Positionskante ist wie ein Koordinatenkennzeichen auf einer Karte, um dem Gerät zu helfen, die Position der Wafer auszurichten und die Verarbeitungsgenauigkeit zu gewährleisten.
Beispielanalogie: Die Positionierungskante einer Wafer kann mit den Indikatorlinien eines Puzzles verglichen werden, die uns sagen, wie die verschiedenen Teile richtig zusammengesetzt werden sollen.Wir könnten das Puzzle nicht richtig lösen..
2Wafer Notch
Eine Wafer-Einschnitte ist ein kleiner Schnitt oder eine Einschnitte am äußeren Rand einer Wafer. Diese Rille ähnelt der Positionskante und hat auch die Rolle, die Richtung der Wafer zu markieren,Aber seine Form und Funktion sind anders.In der Regel ist die Kerbe eine physikalische Kerbe, während die Positionierkante flach ist.
Funktion und Wirkung:
Genaue Positionierung: Die Kerbe wird häufig verwendet, um eine genauere Richtungserkennung zu gewährleisten, insbesondere bei größeren Wafern wie 300 mm Wafern.die Fertigungsanlagen können die Orientierung der Wafer leichter erkennen, um Ausrichtungsschäden durch Drehung oder leichte Bewegung der Wafer zu vermeiden.
Vermeidung von Ausrichtungsschäden: Die Kerben dienen als Markierungen, die der Automatisierungsausrüstung helfen, die Wafer während des gesamten Prozesses stabiler auszurichten.
Ein Beispiel: Sie können die Kerbe mit der Ventilposition eines Autoreifens vergleichen, obwohl sie die Rotation des Reifens nicht beeinflusst,aber es ist ein wichtiger Punkt der Position des Reifens, um sicherzustellen, dass der Reifen genau installiert werden kann.
3. Verbindung zwischen Waferplatte und Kerbe
Die Platten und Kerben des Wafers ergänzen sich während der Waferfertigung.Während die Kerben einen physikalischen Marker für eine weitere genaue Positionierung bietenBeide sind in den meisten Anwendungen vorhanden, insbesondere in großen Wafern (z. B. 300 mm Wafern).
Zusammenarbeit bei der Waferverarbeitung:
Die Fläche hilft, die allgemeine Ausrichtung der Wafer zu bestimmen und sorgt für die anfängliche Ausrichtung der Wafer;Die Kerbe bietet außerdem ein physisches Merkmal, das dem Gerät hilft, die Orientierung genauer zu identifizieren, um die Genauigkeit während des gesamten Herstellungsprozesses zu gewährleisten.
4- Hinweise auf praktische Anwendungen
Die Präzision der Fläche und der Kerbe ist für die Bearbeitungsgenauigkeit der gesamten Wafer von entscheidender Bedeutung.Es kann dazu führen, dass die elektrischen Eigenschaften der gesamten Wafer instabil sind.Daher ist es im Produktionsprozess sehr wichtig, die Genauigkeit dieser Merkmale zu gewährleisten.
Unterschiede bei den Kennzeichnungsmethoden: Verschiedene Waferlieferanten können verschiedene Kennzeichnungsmethoden verwenden, zum Beispiel können einige Wafer nur flach und keine Kerbe haben; Einige können der Fläche eine Kerbe hinzufügen.Bei der Gestaltung dieser Markierungen, müssen die Kompatibilität der Ausrüstung und die Anforderungen des Produktionsprozesses berücksichtigt werden.
5Schlussfolgerung.
Die Waferflächen und -notches haben unterschiedliches Aussehen, spielen jedoch zusammen eine wichtige Rolle bei der Markierung der Waferorientierung und der Gewährleistung der Ausrichtungsgenauigkeit.Sie helfen uns, die allgemeine Richtung zu bestimmen.Die Kerbe ist ein präziseres physikalisches Merkmal, das bei der Herstellung zur Gewährleistung der Konsistenz der Richtung beiträgt.vor allem bei der Herstellung von großen Wafern, die eine entscheidende Rolle spielen.
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